Chemisorption of tetrakis(dimethylamido)titanium on Si(100)-2 × 1: C-H and C-N bond reactivity leading to low-temperature decomposition pathways

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 112, Issue 26, 2008, Pages 9695-9705

  Rodríguez Reyes, Juan Carlos F ^a   Teplyakov, Andrew V ^a  

^a UNIVERSITY OF DELAWARE   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

C-N BOND; LOW-TEMPERATURE DECOMPOSITION; SI(1 0 0); TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)TITANIUM;

CHEMISORPTION; SILICON; TERNARY SYSTEMS; TITANIUM;

DECOMPOSITION;

EID: 53549093568     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp800436w     Document Type: Article

References (63)

1. Rodríguez-Reyes, J. C. F.; Teplyakov, A. V. Chem.-Eur. J. 2007, 13, 9165.
2. Ieong, M.; Doris, B.; Kedzierski, J.; Rim, K.; Yang, M. Science 2004, 306, 2057.
3. International Technology Roadmap for Semiconductors, 2005 Edition, Semiconductor Industry Association (SIA), http://www.itrs.net/ Links/2005ITRS/Home2005.htm.
4. Dube, A.; Chadeayne, A. R.; Sharma, M.; Wolczanski, P. T.; Engstrom, J. R. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 14299.
5. Killampalli, A. S.; Ma, P. F.; Engstrom, J. R. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 6300.
6. Kim, H. J. Vac. Sci. Technol., B 2003, 21, 2231.
7. Puurunen, R. L. J. Appl. Phys. 2005, 97, 121301.
8. Paranjpe, A.; IslamRaja, M. J. Vac. Sci. TechnoL, A 1995, 13, 2105.
9. Kaloyeros, A. E.; Eisenbraun, E. Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 363.
10. Becker, J.; Gordon, R. G. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 2239.
11. Kelsey, J. E.; Goldberg, C.; Nuesca, G.; Peterson, G.; Kaloyeros, A. E. J. Vac. Sci. Technol., B 1999, 17, 1101.
12. van der Straten, O.; Zhu, Y.; Dunn, K.; Eisenbraun, E.; Kaloyeros, A. E. J. Mater. Res. 2004, 19, 447.
13. Koh, W. K.; Li, D.; Sprey, W. M.; Raaijmakers, I. J. M. M. Solid State Technol. 2005, 48, 54.
14. Eizenberg, M.; Littau, K.; Ghanayem, S.; Mak, A.; Maeda, Y.; Chang, M.; Sinha, A. K. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 2416.
15. Bocharov, S.; Zhang, Z.; Beebe, T. P., Jr.; Teplyakov, A. V. Thin Solid Films 2005, 471, 159.
16. Dubois, L. H.; Zegarski, B. R. J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3603.
17. Corneille, J. S.; Chen, P. J.; Truong, C. M.; Oh, W. S.; Goodman, D. W. J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 1116.
18. Truong, C. M.; Chen, P. J.; Corneille, J. S.; Oh, W. S.; Goodman, D. W. J. Phys. Chem. 1995, 99, 8831.
19. Tong, J.; Magtoto, N.; Kelber, J. Appl. Surf. Sci. 2003, 220, 203.
20. Okada, L. A.; George, S. M. Appl. Surf. Scl. 1999, 137, 113.
21. Elam, J. W.; Schuisky, M.; Ferguson, J. D.; George, S. M. Thin Solid Films 2003, 436, 145.
22. Endle, J. P.; Sun, Y.-M.; White, J. M.; Ekerdt, J. G. J. Vac. Sci. Technol., A 1998, 16, 1262.
23. Lim, B. K.; Park, H.-S.; See, A. K. H.; Liu, E. Z.; Wu, S. H. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 2219.
24. Kim, J.-Y.; Seo, S.; Kim, D.-Y.; Jeon, H. J. Vac. Sci. Technol., A 2004, 22, 8.
25. Kim, J.-Y.; Kim, D.-Y.; Park, H.-O.; Jeon, H. J. Electrochem. Soc. 2005, 152, G29.
26. Janovska, M.; Bastl, Z. Collect. Czech. Chem. Commun. 1995, 60, 372.
27. Ruhl, G.; Rehmet, R.; Knizova, M.; Merica, R.; Veprek, S. Chem. Mater. 1996, 8, 2712.
28. Rodríguez-Reyes, J. C. F.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 4800.
29. Pirolli, L.; Teplyakov, A. V. Surf. Sci. 2006, 600, 3313.
30. Pirolli, L.; Teplyakov, A. V. Surf. Sci. 2007, 601, 155.
31. Leftwich, T.; Teplyakov, A. V. Surf. Sci. Rep. 2008, 63, 1.
32. Palma, A.; Alavi, A. Comput. Mater. Sci. 2005, 33, 244.
33. Ni, C.; Zhang, Z.; Wells, M.; Beebe, T. P., Jr.; Pirolli, L.; Méndez de Leo, L. P.; Teplyakov, A. V. Thin Solid Films 2007, 575, 3030.
34. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648.
35. Lee, C.; Yang, W.; Parr, R. G. Phys. Rev. B 1988, 37, 785.
36. Hay, P. J.; Wadt, W. R. J. Chem. Phys. 1985, 82, 270.
37. Hay, P. J.; Wadt, W. R. J. Chem. Phys. 1985, 82, 299.
38. Wadt, W. R.; Hay, P. J. J. Chem. Phys. 1985, 82, 284.
39. Frisch, M J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J. A., Jr.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S. S.; Tomasi, J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.; Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.; Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.; Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H. P.; Cross, J. B.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts, R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli, C.; Ochterski, J. W.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G. A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich, S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.; Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 03, revision C.02; Gaussian, Inc.: Wallingford, CT, 2004.
40. Pirolli, L.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. B 2006, 110, 4708.
41. Watras, M. J.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 8928.
42. Rodríguez-Reyes, J. C. F.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 16498.
43. Olliero, D.; Solladie-Cavallo, A.; Sollaide, G. Tetrahedron 1975, 31, 1911.
44. Foresman, J. B.; Frisch, A. Exploring chemistry with electronic structure methods, Second ed.; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, 1995-1996.
45. Driessen, J. P. A. M.; Schoonman, J.; Jensen, K. F. J. Electrochem. Soc. 2001, 148, G178.
46. Dubois, L. H. Polyhedron 1994, 13, 1329.
47. Mui, C.; Wang, G. T.; Bent, S. F.; Musgrave, C. B. J. Chem. Phys. 2001, 114, 10170.
48. Cao, X.; Hamers, R. J. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 1614.
49. Rodríguez-Reyes, J. C. F.; Teplyakov, A. V. Phys. Rev. B. 2007, 76, 075348.
50. Fan, J.; Trenary, M. Langmuir 1994, 10, 3649.
51. Lee, M.-S.; Bent, S. F. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 9195.
52. Bulanin, K. M.; Shah, A. G.; Teplyakov, A. V. J. Chem. Phys. 2001, 115, 7187.
53. Carman, A. J.; Zhang, L.; Liswood, J. L.; Casey, S. M. J. Phys. Chem. 5 2003, 107, 5491.
54. Norton, E. T., Jr.; Amato-Wierda, C. C. Proc.-Electrochem. Soc. 2001, 2001-13, 9.
55. Norton, E. T., Jr.; Amato-Wierda, C. C. Chem. Mater. 2001, 13, 4655.
56. Bradley, D. C.; Torrible, E. G. Can. J. Chem. 1963, 41, 134.
57. Bradley, D. C.; Chisholm, M. H. Acc. Chem. Res. 1976, 9, 273.
58. Fix, R. M.; Gordon, M. S.; Hoffman, D. M. J. Am. Chem. Soc. 1990, 112, 7833.
59. Cao, X.; Hamers, R. J. J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 10988.
60. Karlsson, P. C.; Richter, J. H.; Andersson, M. P.; Blomquist, J.; Siegbahn, H.; Uvdal, P.; Sandell, A. Surf. Sci. 2005, 580, 207.
61. Karlsson, P. G.; Richter, J. H.; Blomquist, J.; Uvdal, P.; Grehk, T. M.; Sandell, A. Surf. Sci. 2007, 601, 1008.
62. Dooley, R.; Milfeld, K.; Guiang, K.; Pamidighantam, S.; Allen, G. Int. J. Grid Utility Comput. 2006, 4, 195.
63. Milfeld, K.; Guiang, C.; Pamidighantam, S.; Giuliani, J. Cluster Computing through an Application-Oriented Computational Chemistry Grid. Proceedings of the 2005 Linux Clusters: The HPC revolution, April 2005.