Surface transamination reaction for tetrakis(dimethylamido)titanium with NH X-terminated Si(100) surfaces

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 111, Issue 44, 2007, Pages 16498-16505

  Rodríguez Reyes, Juan Carlos F ^a   Teplyakov, Andrew V ^a  

^a UNIVERSITY OF DELAWARE   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIMETHYLAMINE; TRANSAMINATION REACTION;

AMINES; DENSITY FUNCTIONAL THEORY; INFRARED SPECTROSCOPY; TEMPERATURE PROGRAMMED DESORPTION;

SURFACE STRUCTURE;

EID: 36348932674     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp074656r     Document Type: Article

References (82)

1. Wolkow, R. A. Annu. Rev. Phys. Chem. 1999, 50, 413.
2. Bent, S. F. J. Phys. Chem. B 2002, 106, 2830.
3. Kim, H. J. Vac. Sci. Technol., B 2003, 21, 2231.
4. Lim, B. S.; Rahtu, A.; Gordon, R. G. Nat. Mater. 2003, 2, 749.
5. Puurunen, R. L. J. Appl Phys. 2005, 97, 121301.
6. Niinisto, L.; Paivasaari, J.; Niinisto, M.; Putkonen, M.; Nieminen, M. Phys. Status Solidi A 2004, 201, 1443.
7. Wong, H.; Iwai, H. Microelectron. Eng. 2006, 83, 1867.
8. International Technology Roadmap for Semiconductors, 2005 ed.; Semiconductor Industry Association (SIA).
9. Kaloyeros, A. E.; Eisenbraun, E. Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 363.
10. van der Straten, O.; Zhu, Y.; Dunn, K.; Eisenbraun, E.; Kaloyeros, A. E. J. Mater. Res. 2004, 19, 447.
11. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1990, 2, 235.
12. Hoffman, D. M. Polyhedron 1994, 13, 1169.
13. Shin, H.-K.; Shin, H.-J.; Lee, J.-G.; Kang, S.-W.; Ahn, B.-T. Chem. Mater. 1997, 9, 76.
14. Min, J.-S.; Son, Y.-W.; Kang, W.-G.; Chun, S.-S.; Kang, S.-W. Jpn. J. Appl. Phys. 1998, 37, 4999.
15. Lee, J.; Kim, J.; Shin, H. Thin Solid Films 1998, 320, 15.
16. Kim, D.-H.; Lim, G. T.; Kim, S.-K. J. Vac. Sci. Technol., B 1999, 17, 2197.
17. Panda, S.; Kim, J.; Weiller, B. H.; Economou, D. J.; Hoffman, D. M. Thin Solid Films 1999, 357, 125.
18. Yun, J.-Y.; Park, M.-Y.; Rhee, S.-W. J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 1804.
19. Kim, D.-J.; Jung, Y.-B.; Lee, M.-B.; Lee, Y.-H.; Lee, J.-H.; Lee, J.-H. Thin Solid Films 2000, 372, 276.
20. Kim, J.-Y.; Choi, G. H.; Kim, Y. D.; Kim, Y.; Jeon, H. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 4245.
21. Becker, J.; Gordon, R. G. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 2239.
22. Becker, J.; Kim, E.; Gordon, R. G. Chem. Mater. 2004, 16, 3497.
23. Park, S.-G.; Kim, D.-H. Jpn. J. Appl. Phys. 2004, 43, 303.
24. Corneille, J. S.; Chen, P. J.; Truong, C. M.; Oh, W. S.; Goodman, D. W. J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 1116.
25. Dubois, L. H.; Zegarski, B. R. J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3603.
26. Truong, C. M.; Chen, P. J.; Corneille, J. S.; Oh, W. S.; Goodman, D. W. J. Phys. Chem. 1995, 99, 8831.
27. Elam, J. W.; Schuisky, M.; Ferguson, J, D.; George, S. M. Thin Solid Films 2003, 436, 145.
28. Okada, L. A.; George, S. M. Appl. Surf. Sci. 1999, 137, 113.
29. Berry, A.; Mowery, R.; Turner, N. H.; Seitzman, L.; Dunn, D.; Ladouceur, H. Thin Solid Films 1998, 323, 10.
30. Dubois, L. H. Polyhedron 1994, 13, 1329.
31. Kim, J.-Y.; Seo, S.; Kim, D.-Y.; Jeon, H. J. Vac. Sci. Technol., A 2004, 22.
32. Kim, J.-Y.; Kim, D.-Y.; Park, H.-O.; Jeon, H. J. Electrochem. Soc. 2005, 152, G29.
33. Min, J.-S.; park, H.-S.; Kang, S.-W. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 1521.
34. Musher, J. N.; Gordon, R. G. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 736.
35. Prybyla, J. A.; Chiang, C.-M.; Dubois, L. H. J. Electrochem. Soc. 1993, 140, 2695.
36. Ruhl, G.; Rehmet, M.; Knizova, M.; Merica, R.; Veprek, S. Chem. Mater. 1996, 8, 2712.
37. Bradley, D. C.; Torrible, E. G. Can. J. Chem. 1963, 41, 134.
38. Brown, G. M.; Maya, L. J. Am. Ceram. Soc. 1988, 71, 78.
39. Koyama, S.; Iizuka, D.; Sugahara, Y.; Kuroda, K. Appl. Organomet. Chem. 1998, 12, 787.
40. Fan, M.; Duesler, E. N.; Janik, J. F.; Paine, R. T. J. Inorg. Organomet. Polym. Mater. 2007, 17, 423.
41. Jackson, A. W.; Hector, A. L. J. Mater. Chem. 2007, 17, 1016.
42. Prybyla, J. A.; Chiang, C.-M.; Dubois, L. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1993, 282, 287.
43. Cundari, T. R.; Morse, J. M., Jr. Chem. Mater. 1996, 8, 189.
44. Amato-Wierda, C. C.; Norton, E. T., Jr.; Wierda, D. E. Chem. Mater. 1999, 11, 2775.
45. Yun, J.-H.; Choi, E.-S.; Jang, C.-M.; Lee, C.-S. Jpn. J. Appl. Phys. 2002, 41, L418.
46. Kelly, M. J.; Han, J. H.; Musgrave, C. B.; Parsons, G. N. Chem. Mater. 2005, 17, 5305.
47. Beaudoin, M.; Scott, S. L. Organometallics 2001, 20, 237.
48. Killampalli, A. S.; Ma, P. F.; Engstrom, J. R. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 6300.
49. Haran, M.; Engstrom, J. R.; Clancy, P. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 836.
50. Dube, A.; Chadeayne, A. R.; Sharma, M.; Wolczanski, P. T.; Engstrom, J. R. J. Am Chem. Soc. 2005, 127, 14299.
51. Xu, Y.; Musgrave, C. B. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 192110.
52. Rodríguez-Reyes, J. C. F.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 4800.
53. Rodríguez-Reyes, J. C. F.; Teplyakov, A. V. Phys. Rev. B 2007, 76, 075348.
54. Jung, Y.; Shao, Y.; Gordon, M. S.; Doren, D. J. J. Chem. Phys. 2003, 119, 10917.
55. Dresser, M. J.; Taylor, P. A.; Wallace, R. M.; Choyke, W. J.; Yates, J. T., Jr. Surf Sci. 1989, 218, 75.
56. Fujisawa, M.; Taguchi, Y.; Kuwahara, Y.; Onchi, M.; Nishijima, M. Phys. Rev. B 1989, 39, 12918.
57. Larsson, C. U. S.; Flodstrom, A. S. Surf. Sci. 1991, 241, 353.
58. Bischoff, J. L.; Lutz, F.; Bolmont, D.; Kubler, L. Surf. Sci. 1991, 248, L240.
59. Franco, N.; Avila, J.; Davila, M. E.; Asensio, M. C.; Woodruff, D. P.; Schaff, O.; Fernandez, V.; Schindler, K. M.; Bradshaw, A. M. J. Phys. Condens. Matter 1997, 9, 8419.
60. Miotto, R.; Srivastava, G. P.; Ferraz, A. C. Phys. Rev. B 1998, 58, 7944.
61. Widjaja, Y.; Mysinger, M. M.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2000 104 2527.
62. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648.
63. Lee, C.; Yang, W.; Parr, R. G. Phys. Rev. B 1988, 37, 785.
64. Hay, P. J.; Wadt, W. R. J. Chem. Phys. 1985, 82, 270.
65. Wadt, W. R.; Hay, P. J. J. Chem, Phys. 1985, 82, 284.
66. Hay, P. J.; Wadt, W. R. J. Chem. Phys. 1985, 82, 299.
67. Pirolli, L.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. B 2006, 110, 4708.
68. Pirolli, L.; Teplyakov, A. V. Surf. Sci. 2006, 600, 3313.
69. Pirolli, L.; Teplyakov, A. V. Surf. Sci. 2007, 601, 155.
70. Watras, M. J.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 8928.
71. Dmitrenko, O.; Huang, W.; Polenova, T. E.; Francesconi, L. C.; Wingrave, J. A.; Teplyakov, A. V. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 7747.
72. Widjaja, Y.; Musgrave, C. B. Surf. Sci. 2000, 469, 9.
73. Raghavachari, K.; Halls, M. D. Mol. Phys. 2004, 102, 381.
74. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J. A., Jr.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S. S.; Tomasi, J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.; Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.; Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.; Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H. P.; Cross, J, B.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts, R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli, C.; Ochterski, J. W.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G. A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich, S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.; Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 03, revision G 02; Gaussian, Inc.: Wallingford, CT, 2004.
75. Bater, C.; Sanders, M.; Craig, J. H. J. Surf. Interface Anal. 2000, 29, 208.
76. Mulcahy, C. P. A.; Carman, A. J.; Casey, C. M. Surf Sci. 2000, 459, 1.
77. Carman, A. J.; Zhang, L.; Liswood, J. L.; Casey, S. M. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 5491.
78. Xia, Y.; Mokaya, R. Angew. Chem., Int. Ed. 2003, 42, 2639.
79. Xia, Y.; Mokaya, R. J. Mater. Chem. 2004, 14, 2507.
80. Deng, X.; Baker, T. A.; Friend, C. M. Angew. Chem., Int. Ed. 2006, 45, 7075.
81. Dooley, R.; Milfeld, K.; Guiang, K.; Pamidighantam, S.; Allen, G. J. Grid. Comput. 2006, 4, 195.
82. Milfeld, K.; Guiang, C.; Pamidighantam, S.; Giuliani, J. Cluster computing through an Application-Oriented Computational Chemistry Grid. Proceedings of the 2005 Linux Clusters: The HPC revolution, April 2005.