Ab Initio Study of Adsorption and Decomposition of NH3 on Si(100)-(2×1)

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 104, Issue 11, 2000, Pages 2527-2533

  Widjaja, Yuniarto ^a   Mysinger, Michael M ^a   Musgrave, Charles B ^a  

^a Stanford University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0034704875     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp9936998     Document Type: Article

References (40)

1. Kooi, E.; Vanlierop, J. G.; Appels, J. A. J. Electrochem. Soc. 1976, 123, 1117.
2. Hashimoto, A.; Kobayashi, M.; Kamijoh, T.; Takano, H.; Sakuta, M. J. Electrochem. Soc. 1986, 133, 1464.
3. Silicon Nitride in Electronics; Belyi, V. I., et al., Eds.; Elsevier: New York, 1988; Vol. 34.
4. Osenbach, J. W. J. Appl. Phys. 1988, 63, 4494.
5. Ma, Y.; Yasuda, T.; Lucovsky, G. J. Vac. Sci. Technol., B 1993, 11, 1533.
6. Ito, T.; Nakamura, T.; Ishikawa, H. IEEE Trans. Electron Dev. 1982, 29, 498.
7. Yoon, G. W.; Joshi, A. B.; Kim, J.; Lo, G. Q.; Kwong, D. L. IEEE Electron Device Lett. 1992, 13, 606.
8. Avouris, P.; Bozso, F.; Hamers, R. J. J. Vac. Sci. Technol., B 1987, 5, 1387.
9. Taylor, P. A.; Wallace, R. M.; Choyke, W. J.; Dresser, M. J.; Yates, J. T. Surf. Sci. 1989, 215, L286.
10. Bischoff, J. L.; Lutz, F.; Bolmont, D.; Kubler, L. Surf. Sci. 1991, 248, L240.
11. Dufour, G.; Rochet, F.; Roulet, H.; Sirotti, F. Surf. Sci. 1994, 304, 33.
12. Scheid, E.; Kouassi, L. K.; Henda, R.; Samitier, J.; Morante, J. R. Mater. Sci. Eng., B 1993, 17, 185.
13. Dresser, M. J.; Taylor, P. A.; Wallace, R. M.; Choyke, W. J.; Yates, J. T. Surf. Sci. 1989, 218, 75.
14. Hamers, R. J.; Avouris, P.; Bozso, F. Phys. Rev. Lett. 1987, 59, 2071.
15. Hamers, R. J.; Avouris, P.; Bozso, F. J. Vac. Sci. Technol., A 1988, 6, 508.
16. Fujisawa, M.; Taguchi, Y.; Kuwahara, Y.; Onchi, M.; Nishijima, M. Phys. Rev. B 1989, 39, 12918.
17. Fattal, E.; Radeke, M. R.; Reynolds, G.; Carter, E. A. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 8658.
18. Miotto, R.; Srivastava, G. P.; Ferraz, A. C. Phys. Rev. B 1998, 58, 7944.
19. Lee, S. H.; Kang, M. H. Phys. Rev. B 1998, 58, 4903.
20. Perdew, J. P.; Burke, K.; Ernzerhof, M. Phys. Rev. Lett. 1997, 78, 1396.
21. Hamers, R. J.; Wang, Y.J.; Shan, J. Appl. Surf. Sci. 1996, 107, 25.
22. Konecny, R.; Doren, D. J. J. Am. Chem. Soc. 1997, 119, 11098.
23. Stefanov, B. B.; Raghavachari, K. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 824.
24. Hohenberg, P.; Kohn, W. Phys. Rev. 1964, 136, B864.
25. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 1372.
26. Lee, C. T.; Yang, W. T.; Parr, R. G. Phys. Rev. B 1988, 37, 785.
27. Baerends, E. J.; Gritsenko, O. V. J. Phys. Chem. A 1997, 101, 5383.
28. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, B. H.; Gill, P. M. W.; Johnson, B. G.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Keith, T.; Petersson, G. A.; Montgomery, J. A.; Raghavachari, K.; Al-Laham, M. A.; Zakrzewski, V. G.; Ortiz, J. V.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Peng, C. Y.; Ayala, P. Y.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Replogle, E. S.; Gromperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Binkley, J. S.; Defrees, D. J.; Baker, J.; Stewart, J. P.; Head-Gordon, M.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 94, Revision E.2; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 1995.
29. Pople, J. A.; Head-Gordon, M.; Raghavachari, K. J. Chem. Phys. 1987, 87, 5968.
30. Mysinger, M. M.; Musgrave, C. B. 1999.
31. Paulus, B. Surf. Sci. 1998, 408, 195.
32. Nachtigall, P.; Jordan, K. D.; Smith, A.; Jonsson, H. J. Chem. Phys. 1996, 104, 148.
33. Landemark, E.; Karlsson, C. J.; Chao, Y. C.; Uhrberg, R. I. G. Phys. Rev. Lett. 1992, 69, 1588.
34. Bullock, E. L.; Gunnella, R.; Patthey, L.; Abukawa, T.; Kono, S.; Natoli, C. R.; Johansson, L. S. O. Phys. Rev. Lett. 1995, 74, 2756.
35. Over, H.; Wasserfall, J.; Ranke, W.; Ambiatello, C.; Sawitzki, R.; Wolf, D.; Moritz, W. Phys. Rev. B 1997, 55, 4731.
36. Franco, N.; Avila, J.; Davila, M. E.; Asensio, M. C.; Woodruff, D. P. J. Phys.; Condens. Matter 1997, 9, 8419.
37. Ricca, A.; Musgrave, C. B. Surf. Sci. 1999, 430, 116.
38. Defrees, D. J.; McLean, A. D. J. Chem. Phys. 1985, 82, 333.
39. Maier, G.; Glatthaar, J.; Reisenauer, H. P. Chem. Ber. 1989, 122, 2403.
40. Beach, D. B. Inorg. Chem. 1992, 31, 4174.