Decomposition pathways for a model TiN chemical vapor deposition precursor

Chemistry of Materials

Volumn 8, Issue 1, 1996, Pages 189-196

  Cundari, Thomas R ^a   Morse Jr , James M ^a  

^a UNIVERSITY OF MEMPHIS   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0003239439     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm950314z     Document Type: Article

References (50)

1. Winter, C. H.; Sheridan, P. H.; Lewkebandra, T. S.; Heeg, M. J.; Proscia, J. W. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 1095.
2. (a) Dubois, L. H.; Zegarski, B. R.; Girolami, G. S. J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3603.
3. (b) Prybala, J. A.; Chaing, C. M ; Dubois, L. H. J. Electrochem. Soc. 1993, 140, 2695.
4. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1994, 334, 379. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc Symp. Proc 1994, 335, 159. Weiller, B. H.; Partido, B. V. Chem. Mater. 1994, 6, 260.
5. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1994, 334, 379. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc Symp. Proc 1994, 335, 159. Weiller, B. H.; Partido, B. V. Chem. Mater. 1994, 6, 260.
6. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1994, 334, 379. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc Symp. Proc 1994, 335, 159. Weiller, B. H.; Partido, B. V. Chem. Mater. 1994, 6, 260.
7. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. J. Am. Chem. Soc. 1990, 112, 7833.
8. Fix, R. M.; Gordon, R. G ; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1991, 3, 1138.
9. Juza, R. Adv Inorg Chem. Radiochem. 1966, 9, 81.
10. Gordon, M. S ; Schlegel, H. B.; Francisco, J. Adv. Silicon Chem. 1993, 2, 137.
11. (a) Cundari, T. R. Int. J. Quantum Chem., Quantum Chem. Symp. 1992, 26, 793.
12. (b) Cundari, T. R J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 10557.
13. Cundari, T. R., Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 4210.
14. Schmidt, M. W.; Ealdridge, K. K.; Boatz, J. A.; Elbert, S. T.; Gordon, M. S.; Jensen, J. H.; Koseki, S.; Matsunaga, N.; Nguyen, K. A.; Su, S ; Windus, T. L.; Dupuis, M.; Montgomery, J. A., Jr. J. Comput. Chem. 1993, 14, 1347.
15. (a) Krauss, M.; Stevens, W. J.; Basch, H.; Jasien, P. G. Can. J. Chem. 1992, 70, 612.
16. (b) Stevens, W. J.; Basch, H.; Krauss, M. J. Chem. Phys. 1984, 81, 6026.
17. Baker, J. J. Comput. Chem. 1986, 7, 385.
18. (a) Cundari, T. R.; Gordon, M. S. Coord. Chem. Rev , in press.
19. (b) Cundari, T. R. Rev. Comput Chem., in press.
20. Cundari, T. R. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 7879.
21. Gonzalez, C.; Schlegel, H. B. J. Chem. Phys. 1989, 90, 2154.
22. Møller, C.; Plesset, M. S. Phys. Rev. 1934, 46, 618.
23. Cundari, T. R. Organometallics 1994, 13, 2987.
24. Cundari, T. R. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 10557.
25. Lappert, M. F.; Power, P. P.; Sangerand, A. R.; Srivasta, R. C. Metal and Metalloid Amides; Ellis Horwood: Chichester, 1980; p 475.
26. (a) Bennett, J. L.; Wolczanski, P. T. (Cornell), personal communication.
27. (b) Schaller, C. P ; Cummins, C. C., Bonanno, J. B.; Wolczanski, P. T.; Cundari, T R.; Matsunaga, N. J. Am. Chem. Soc., submitted.
28. (a) Hill, J. E.; Profilet, E. D.; Fanwick, P. E.; Rothwell, I. P. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1990, 29, 664.
29. (b) Duchateau, R.; Williams, A. J.; Gambarotta, S., Chaing, M Inorg. Chem. 1991, 30, 4863.
30. (a) Chan, D. M. T.; Fultz, W. C.; Nugent, W A.; Roe, D. C.; Tulip, T. H. J. Am. Chem. Soc. 1985, 107, 251.
31. (b) Cummins, C. C.; Schaller, C. P.; Van Duyne, G. D.; Wolczanski, P. T.; Chan, A. W. E.; Hoffmann, R. J. Am. Chem. Soc. 1991, 113, 2985.
32. (c) Walsh, P. J.; Hollander, F. J.; Bergman, R. G. J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 8729.
33. (a) Goddard, W. A.; Steigerwald, M. L. J. Am. Chem. Soc. 1984, 106, 308.
34. (b) Hoffmann, R.; Saillard, J. Y.; Rabaa, H. J. Chem. Soc. 1986, 108, 4327.
35. Rothwell, I. P. In Activation and Functionalization of Alkanes; Hill, C. L., Ed.; Wiley: New York, 1989.
36. Cummins, C. C.; Baxter, S. M.; Wolczanski, P. T. J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 8731.
37. Elschenbroich, C.; Salzer, A Organometallics; VCH: Weinheim, 1992
38. (a) Diamond, S. E., Mares, F. J. Organomet. Chem. 1977, 142, C55.
39. (b) Bryndza, H. E.; Tam, W. Chem. Rev. 1988, 88, 1163 and references therein,
40. Koga, N.; Morokuma, K. Chem. Mater. 1991, 91, 823.
41. Durfee, L D.; Fanwick, P. E.; Rothwell, I. P.; Folting, K.; Huffman, K. J. Am. Chem. Soc. 1987, 109, 4770.
42. Willoughby, C. A.; Buchwald, S. L. J. Am. Chem. Soc. 1994, 116, 11711.
43. (a) Schauer, C. P.; Wolczanski, P. T. Inorg. Chem. 1993, 32, 131.
44. (b) de With, J.; Horton, A. D. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1993, 32, 903.
45. (c) Cundari, T. R. Organometallics 1994, 13, 2987.
46. (d) Cundari, T. R. Organometallics 1993, 12, 4971.
47. -1.
48. Shriver, D. F.; Atkins, P W.; Langford, C. H. Inorganic Chemistry; Freeman: New York, 1990; p 316.
49. Thompson, M. E.; Baxter, S. M.; Bulls, A. R.; Burger, B.; Nolan, M. C.; Santarsiero, B. D.; Sehaefer, W. P.; Bercaw, J. E. J. Am. Chem. Soc. 1987, 109, 203.
50. Substituent (Z) effects on model CVD reactions will be published in due course. Cundari, T. R.; Curtiss, S. Int. J. Quantum Chem., in press.