Gallium nitride metal-semiconductor-metal photodetectors prepared on silicon substrates

Journal of Applied Physics

Volumn 102, Issue 7, 2007, Pages

  Chuang, R W ^a   Chang, S P ^a   Chang, S J ^a   Chiou, Y Z ^b   Lu, C Y ^a   Lin, T K ^a   Lin, Y C ^a   Kuo, C F ^a   Chang, H M ^a  

^a NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

^b SOUTHERN TAIWAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DARK CURRENTS; PHOTODETECTORS; QUANTUM EFFICIENCY; SAPPHIRE; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SILICON COMPOUNDS; WAVELENGTH;

METAL PHOTODETECTORS; MSM PHOTODETECTORS; SILICON SUBSTRATES; ULTRAVIOLET METAL-SEMICONDUCTOR;

GALLIUM NITRIDE;

EID: 35348850789     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2786111     Document Type: Article

References (28)

1. Y. Z. Chiou, Y. K. Su, S. J. Chang, J. Gong, Y. C. Lin, S. H. Liu, and C. S. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 39, 681 (2003).
2. E. Monroy, E. Muoz, F. J. Sánchez, F. Calley, E. Calleja, B. Beaumont, P. Gibart, J. A. Muoz, and F. Cussó, Semicond. Sci. Technol. 13, 1042 (1998).
3. G. Y. Xu, A. Salvador, W. Kim, Z. Fan, C. Lu, H. Tang, H. Morko̧ G. Smith, M. Estes, B. Goldenberg, W. Yang, and S. Krishnankutty, Appl. Phys. Lett. 71, 2154 (1997).
4. M. Mosca, J. L. Reverchon, N. Grandjean, and J. Y. Duboz, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 10, 752 (2004).
5. N. Biyikli, I. Kimukin, O. Aytur, and E. Ozbay, IEEE Photonics Technol. Lett. 16, 1718 (2004).
6. N. Biyikli, I. Kimukin, T. Tut, T. Kartaloglu, O. Aytur, and E. Ozbay, Semicond. Sci. Technol. 19, 1259 (2004).
7. G. Parish, S. Keller, P. Kozodoy, J. P. Ibbetson, H. Marchand, P. T. Fini, S. B. Fleischer, S. P. DenBaars, U. K. Mishra, and E. J. Tarsa, Appl. Phys. Lett. 75, 247 (1999).
8. A. Osinsky, S. Gangopadhyay, R. Gaska, B. Williams, M. A. Khan, D. Kuksenkov, and H. Temkin, Appl. Phys. Lett. 71, 2334 (1997).
9. V. Adivarahan, G. Simin, J. W. Yang, A. Lunev, M. A. Khan, N. Pala, M. Shur, and R. Gaska, Appl. Phys. Lett. 77, 863 (2000).
10. S. J. Chang, M. L. Lee, J. K. Sheu, W. C. Lai, Y. K. Su, C. S. Chang, C. J. Kao, G. C. Chi, and J. M. Tsai, IEEE Electron Device Lett. 24, 212 (2003).
11. O. Katz, V. Garber, B. Meyler, G. Bahir, and J. Salzman, Appl. Phys. Lett. 79, 1417 (2001).
12. E. Monroy, T. Palacios, O. Hainaut, F. Omǹs, F. Calle, and J. F. Hochedez, Appl. Phys. Lett. 80, 3198 (2002).
13. J. L. Pau, C. Rivera, E. Muoz, E. Calleja, U. Schühle, E. Frayssinet, B. Beaumont, J. P. Faurie, and P. Gibart, J. Appl. Phys. 95, 8275 (2004).
14. C. F. Shih, N. C. Chen, C. A. Chang, and K. S. Liu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 44, L140 (2005).
15. H. Ishikawa, K. Asano, B. Zhang, T. Egawa, and T. Jimbo, Phys. Status Solidi A 201, 2653 (2004).
16. S. Iwakami, M. Yanagihara, O. Machida, E. Chino, N. Kaneko, H. Goto, and K. Ohtsuka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 43, L831 (2004).
17. A. Curutchet, N. Malbert, N. Labat, A. Touboul, C. Gaquiere, A. Minko, and M. Uren, Microelectron. Reliab. 43, 1713 (2003).
18. P. Javorka, A. Alam, A. Marso, M. Wolter, J. Kuzmik, A. Fox, M. Heuken, and P. Kordos, Microelectron. J. 34, 435 (2003).
19. V. Hoel, Y. Guhel, B. Boudart, C. Gaquiere, J. C. De Jaeger, H. Lahreche, and P. Gibart, Electron. Lett. 37, 1095 (2001).
20. Y. P. Hsu, S. J. Chang, W. S. Chen, J. K. Sheu, J. Y. Chu, and C. T. Kuo, J. Electrochem. Soc. 154, H191 (2007).
21. S. J. Chang, W. C. Lai, Y. K. Su, J. F. Chen, C. H. Liu, and U. H. Liaw, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 8, 278 (2002).
22. S. J. Chang, C. S. Chang, Y. K. Su, R. W. Chuang, Y. C. Lin, S. C. Shei, H. M. Lo, H. Y. Lin, and J. C. Ke, IEEE J. Quantum Electron. 39, 1439 (2003).
23. S. J. Chang, C. H. Kuo, Y. K. Su, L. W. Wu, J. K. Sheu, T. C. Wen, W. C. Lai, J. F. Chen, and J. M. Tsai, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 8, 744 (2002).
24. S. J. Chang, C. S. Chang, Y. K. Su, C. T. Lee, W. S. Chen, C. F. Shen, Y. P. Hsu, S. C. Shei, and H. M. Lo, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 273 (2005).
25. Y.-Z. Chiou, IEEE Electron Device Lett. 26, 172 (2005).
26. C. K. Wang, S. J. Chang, Y. K. Su, Y. Z. Chiou, S. C. Chen, C. S. Chang, T. K. Lin, H. L. Liu, and J. J. Tang, IEEE Trans. Electron Devices 53, 38 (2006).
27. A. Osinsky, S. Gangopadhyay, J. W. Yang, and R. Gaska, Appl. Phys. Lett. 72, 551 (1998).
28. Y. K. Su, P. C. Chang, C. H. Chen, S. J. Chang, C. L. Yu, C. T. Lee, H. Y. Lee, J. Gong, P. C. Chen, and C. H. Wang, Solid-State Electron. 49, 459 (2005).