Formation of diamond-like carbon films by plasma-based ion implantation and their characterization

New Diamond and Frontier Carbon Technology

Volumn 16, Issue 1, 2006, Pages 1-32

  Ensinger, Wolfgang ^a  

^a DARMSTADT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

Author keywords

Aluminum; Corrosion; Diamond like carbon; Plasma immersion ion implantation; Plasma based ion implantation; Steel; Titanium; Wear

Indexed keywords

ALUMINUM; CORROSION; ION IMPLANTATION; PLASMA APPLICATIONS; STEEL; TITANIUM; WEAR OF MATERIALS;

BONDING CHARACTERISTICS; PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION; PLASMA-BASED ION IMPLANTATION; TRIBOLOGICAL PROPERTIES;

DIAMOND LIKE CARBON FILMS;

EID: 33646844294     PISSN: 13449931     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Review

References (46)

1. A. Anders (Ed.): Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition (John Wiley, New York, 2000).
2. J. R. Conrad and T. Castagna: Bull. Am. Phys. Soc. 31 (1986) 1479.
3. W. Ensinger: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 120 (1996) 270.
4. W. Ensinger: Surf. Coat. Technol. 100-101 (1998) 341.
5. W. Ensinger, J. Hartmann, J. Klein, P. Usedom, B. Stritzker and B. Rauschenbach: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 396 (1996) 521.
6. J. R. Conrad: J. Appl. Phys. 62 (1987) 777.
7. I. G. Brown, X. Godechot and K. M. Yu: Appl. Phys. Lett. 58 (1991) 1392.
8. I. G. Brown, A. Anders, S. Anders, M. R. Dickinson, I. C. Ivanov, R. A. McGill, X. Y. Yao and K. M. Yu: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 80/81 (1993) 1281.
9. J. Chen, J. Blanchard, J. R. Conrad and R. A. Dodd: Surf. Coat. Technol. 53 (1992) 267.
10. J. Chen, J. R. Conrad and R. A. Dodd: J. Mater. Eng. Perf. 2 (1993) 839.
11. J. Chen, J. R. Conrad and R. A. Dodd: J. Mater. Process. Technol. 49 (1995) 115.
12. C. P. Munson, R. J. Faehl, I. Henins, M. Nastasi, W. A. Reass, D. J. Rei, J. T. Scheuer, K. C. Walter and B. P. Wood: Surf. Coat. Technol. 84 (1996) 528.
13. D. H. Lee, X. M. He, K. C. Walter, M. Nastasi, J. R. Tesmer, M. Tuszewski and D. R. Tallant: Appl. Phys. Lett. 73 (1998) 2423.
14. K. Volz, W. Ensinger, W. Reiber, B. Rauschenbach and B. Stritzker: J. Mater. Res. 13 (1998) 1765
15. K. Volz, Ch. Klatt and W. Ensinger: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 609 (2000) 271.
16. K. Volz, K. Baba, R. Hatada and W. Ensinger: Surf. Coat. Technol. 136 (2001) 197.
17. S. Miyagawa, S. Nakao, K. Saitoh, K. Baba and S. Miyagawa: Surf. Coat. Technol. 128-129 (2000) 260.
18. K. Baba and R. Hatada: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 206 (2003) 708.
19. J. X. Liao, W. M. Liu, T. Xu and Q. J. Xue: Appl. Surf. Sci. 226 (2004) 387.
20. H. Tojo, Y. Mokuno, A. Chayahara, S. Iura, H. Kasai, N. Toyohara, T. Hidaka, S. Isogawa, M. Hijino and Y. Horino: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 206 (2003) 717.
21. M. Ueda, H. Reuther, R. Günzel, A. F. Beloto, E. Abramof and L. A. Berni: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 175-177 (2001) 715.
22. Z. An, R. K. Y. Fu, P. Chen, W. Liu, P. K. Chu and C. Lin: Thin Solid Films 447-448 (2004) 153.
23. S. M. Malik, R. P. Fetherston and J. R. Conrad: J. Vac. Sci. Technol. A 15 (1997) 2875.
24. K. Baba and R. Hatada: Mater. Chem. Phys. 54 (1998) 135.
25. K. Baba and R. Hatada: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res, B 148 (1999) 69.
26. K. Baba and R. Hatada: Surf. Coat. Technol. 128-129 (2000) 112.
27. K. Baba and R. Hatada: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 206 (2003) 704.
28. Y. Nishimura, R. Ohkawa, H. Oka, H. Akamatsu, K. Azuma and M. Yatsuzuka: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 206 (2003) 696.
29. T. Watanabe, K. Yamamoto, Y. Koga and A. Tanaka: Jpn. J. Appl. Phys. 40 (2001) 4684.
30. T. Watanabe, K. Yamamoto, O. Tsuda, A. Tanaka, Y. Koga and O.Takai: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 206 (2003) 726.
31. M. Nastasi, A. A. Elmoursi, R. J. Faehl, A. H. Hamdi, I. Henins, G. W. Malaczynski, J. V. Mantese, C. Munson, X. Qui, W. E. Reass, D. J. Rei, J. T. Scheuer, C. E. Speck, K. C. Walter and B. P. Wood: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 396 (1996) 455.
32. G.W. Malaczynski, A. H. Hamdi, A. A. Elmoursi and X. H. Qiu: Surf. Coat. Technol. 93 (1997) 280.
33. G. W. Malaczynski, A. A. Elmoursi, C. H. Leung, A. H. Hamdi and A. B. Campbell: J. Vac. Sci. Technol. B 17 (1999) 813.
34. L. H. Li, X. B. Tian, P. K. Chu, Y. H. Zhang, X. M. Cui and H. Q. Zhang: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 206 (2003) 691
35. Z. M. Zeng, T. Zhang, X. B. Tian, B. Y. Tang, T. K. Kwok and P. K. Chu: Surf. Coat. Technol. 128-129 (2000) 236
36. H. Shinno, K. Ishioka and M. Kitajima: Vacuum 66 (2002) 335.
37. A. Matthews, A. Leyland and A. Wilson: Vacuum 68 (2003) 57.
38. L. F. Xia, H. B. Ji, M. G. Sun, Y. Sun and X. X. Ma: Wear 225-229 (1999) 835.
39. F. Ma, G. Li, H. Li, H. Ma and X. Cai: Mater. Lett. 57 (2002) 82.
40. L.F. Xia, Z.H. Yan and J.X. Liao: Wear 257 (2004) 599.
41. R. S. Lillard, D. P. Butt, T. N. Taylor, K. C. Walter and M. Nastasi: Corros. Sci. 39 (1997) 1605.
42. D. P. Butt, K. C. Walter, M. Nastasi, A. L. Campusano, P. S. Martin, B. P. Wood, D. J. Rej and G. G. Miller: Philos. Mag. Lett. 70 (1994) 385.
43. R. S. Lillard, D. P. Butt, N. P. Baker, K. C. Walter and M. Nastasi: p. 122 in: Surface Modification Technologies XII, Eds. T.S. Sudarshan, K. A. Khor and M. Jeandin (ASM International, Materials Park, Ohio, 1998).
44. M. Tonosaki, E. Kato, M. Yajima and Y. Takei: Vacuum 74 (2004) 693.
45. S. Watanabe, M. Shinohara, H. Kodama, T. Tanaka, M. Yoshida and T. Takagi: Thin Solid Films 420-421 (2002) 253.
46. M. Yoshida, S. Watanabe, T. Tanaka, T. Takagi, M. Shinohara and J. W. Lee: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 206 (2003) 712.