Rate equation analysis of hydrogen uptake on Si (100) surfaces

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 23, Issue 5, 2005, Pages 1471-1478

  Inanaga, S ^a   Rahman, F ^a   Khanom, F ^a   Namiki, A ^a  

^a KYUSHU INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADSORPTION; CHEMICAL BONDS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CORRELATION METHODS; DESORPTION; HYDROGEN; MATHEMATICAL MODELS; RATE CONSTANTS;

ANTI-CORRELATION; BOND DENSITY; REACTION SYSTEM; UPTAKE PROCESS;

SILICON;

EID: 27744516234     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2013320     Document Type: Article

References (50)

1. E. Srinivasan and G. N. Parsons, J. Appl. Phys. 81, 2847 (1997).
2. J. Perrin, M. Shiratani, P. Kae-Nune, H. Videlot, J. Jolly, and J. Guillon, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 278 (1998).
3. M. C. M. van de Sanden, W. M. M. Kessels, R. J. Severens, and D. C. Schram, Plasma Phys. Controlled Fusion 41, A365 (1999).
4. A. M. Ali, T. Inokuma, Y. Kurata, and S. Hasegawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 38, 6047 (1999).
5. C. C. Tsai, G. B. Anderson, R. Thompsdon, and B. Wacker, J. Non-Cryst. Solids 114, 151 (1989).
6. H. Shirai, J. Hanna, and I. Shimizu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L679 (1999).
7. S. Agarwal, S. Sriraman, A. Takano, M. C. M. van de Sanden, E. S. Aydil, and D. Maroudas, Surf. Sci. 515, L469 (2002).
8. A. Gupta, H. Yang, and G. N. Parsons, Surf. Sci. 496, 307 (2001).
9. A. Dinger, C. Lutterloh, and J. Küppers, Chem. Phys. Lett. 311, 202 (1999).
10. S. Shimokawa, A. Namiki, T. Ando, Y. Sato, and J. Lee, J. Chem. Phys. 112, 356 (2000).
11. F. Khanom, A. Aoki, F. Rahman, and A. Namiki, Surf. Sci. 536, 191 (2003).
12. D. D. Koleske, S. M. Gates, and J. A. Schultz, J. Chem. Phys. 99, 5619 (1993).
13. D. D. Koleske, S. M. Gates, and B. Jackson, J. Chem. Phys. 101, 3310 (1994).
14. W. Widdra, S. I. Yi, R. Maboudian, G. A. Briggs, and W. H. Weinberg, Phys. Rev. Lett. 74, 2074 (1995).
15. S. A. Buntin, J. Chem. Phys. 105, 2066 (1996).
16. M. C. Flowers, N. B. H. Jonathan, A. Morris, and S. Wright, Surf. Sci. 396, 227 (1998).
17. M. McEllistrem, E. J. Buehler, B. S. Itchkawitz, and J. J. Boland, J. Chem. Phys. 108, 7384 (1998).
18. F. Khanom, S. Shimokawa, S. Inanaga, A. Namiki, M. N. Gamo, and T. Ando, J. Chem. Phys. 113, 3792 (2000).
19. E. Hayakawa, F. Khanom, T. Yoshifuku, S. Shimokawa, A. Namiki, and T. Ando, Phys. Rev. B 65, 033405 (2001).
20. A. Dinger, C. Lutterloh, and J. Küppers, J. Chem. Phys. 114, 5338 (2001).
21. A. Kubo, Y. Ishii, and M. Kitajima, J. Chem. Phys. 117, 11336 (2002).
22. F. Rahman, M. Kuroda, T. Kiyonaga, F. Khanom, H. Tsurumaki, S. Inanaga, and A. Namiki, J. Chem. Phys. 121, 3221 (2004).
23. S. A. Buntin, Chem. Phys. Lett. 278, 71 (1997).
24. S. A. Buntin, J. Chem. Phys. 108, 1601 (1998).
25. P. Kratzer, J. Chem. Phys. 106, 6752 (1997).
26. P. Kratzer, Chem. Phys. Lett. 288, 396 (1998).
27. U. Hansen and P. Vogl, Phys. Rev. B 57, 13295 (1998).
28. J. Harris and B. Kasemo, Surf. Sci. 105, L281 (1981).
29. P. Kisliuk, J. Phys. Chem. Solids 3, 95 (1957).
30. M. C. Flowers, N. B. H. Jonathan, Y. Liu, and A. Morris, J. Chem. Phys. 99, 7038 (1993).
31. P. Gupta, V. L. Colvin, and S. M. George, Phys. Rev. B 37, 8234 (1988).
32. E. S. Tok, J. R. Engstrom, and H. C. Kang, J. Chem. Phys. 118, 3294 (2003).
33. Z. Hu, A. Biedermana, E. Knoesel, and T. F. Heinz, Phys. Rev. B 68, 155418 (2003).
34. A. Kutana, B. Makarenko, and J. W. Rabalas, J. Chem. Phys. 119, 11906 (2003).
35. U. Höfer, L. Li, and T. F. Heinz, Phys. Rev. B 45, 9485 (1992).
36. K. Sinniah, M. G. Shermann, L. B. Lewis, W. H. Weinberg, J. T. Yares, Jr., and K. C. Janda, Phys. Rev. Lett. 62, 567 (1989).
37. G. S. Lin and R. P. Chen, Phys. Rev. B 60, R8461 (1999).
38. M. L. Wise, B. G. Koehler, L. B. Lewis, P. Gupta, P. A. Koon, and S. M. George, Surf. Sci. 258, 166 (1991).
39. H. N. Waltenburg and J. T. Yates, Jr., Chem. Rev. (Washington, D.C.) 95, 1589 (1995).
40. K. Oura, V. G. Lifshits, A. A. Saranin, A. V. Zotov, and M. Katayama, Surf. Sci. Rep. 35, 1 (1999).
41. J. J. Boland, Phys. Rev. Lett. 65, 3325 (1990).
42. Surf. Sci. 261, 17 (1992)].
43. F. Rahman, N. Ohnishi, F. Khanom, S. Inanaga, and A. Namiki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 43, 726 (2004).
44. G. Ganguly and A. Matsuda, J. Non-Cryst. Solids 164-166, 31 (1993).
45. A. Matsuda, Oyo Butsuri 68, 57 (1999), in Japanese.
46. J. Robertson, J. Appl. Phys. 87, 2608 (2000).
47. C. Lutterloh, M. Wicklein, A. Dinger, J. Biener, and J. Küppers, Surf. Sci. 498, 123 (2002).
48. D. C. Marra, W. M. M. Kessels, M. C. M. van de Sanden, K. Kashefizadeh, and E. S. Aydil, Surf. Sci. 530, 1 (2003).
49. S. K. Jo, B. Gong, G. Hess, J. M. White, and J. G. Ekerdt, Surf. Sci. 394, L162 (1997).
50. A. W. Zangwill, Physics at Surfaces (Cambridge University Press, Cambridge, 1988).