Direct observation of different equilibrium Ga adlayer coverages and their desorption kinetics on GaN (0001) and (0001-) surfaces

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 69, Issue 3, 2004, Pages

  Koblmüller, Gregor ^a   Averbeck, Robert ^a   Riechert, Henning ^a   Pongratz, Peter ^b  

^a INFINEON TECHNOLOGIES AG   (Germany)

^b VIENNA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Austria)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GALLIUM; NITROGEN;

ARTICLE; DESORPTION; ENERGY TRANSFER; KINETICS; MASS SPECTROMETRY; MEASUREMENT; TEMPERATURE DEPENDENCE;

EID: 1442288216     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.69.035325     Document Type: Article

References (45)

1. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Appl. Phys. Lett. 64, 1687 (1994).
2. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwada, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, and Y. Sugimoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L74 (1996).
3. H. Tews, R. Averbeck, A. Graber, and H. Riechert, Electron. Lett. 32, 2004 (1996).
4. R. P. Vaudo, I. D. Goepfert, T. D. Moustakas, D. M. Beyea, T. J. Frey, and K. Meehan, J. Appl. Phys. 79, 2779 (1996).
5. U. K. Mishra, Y.-F. Wu, B. P. Keller, S. Keller, and S. P. DenBaars, in Physics of Semiconductor Devices, edited by V. Kumar and S. K. Agarwal (Narosa, New Delhi, 1998).
6. P. Fini, X. Wu, E. J. Tarsa, Y. Golan, V. Srikant, S. Keller, S. P. Denbaars, and J. S. Speck, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 4460 (1998).
7. A. Munkholm, G. B. Stephenson, J. A. Eastman, C. Thompson, P. Fini, J. S. Speck, O. Auciello, P. H. Fuoss, and S. P. DenBaars, Phys. Rev. Lett. 83, 741 (1999).
8. H. Riechert, R. Averbeck, A. Graber, M. Schiele, U. Strauß, and H. Tews, in III-V Nitridas, edited by F. A. Ponce, T. D. Moustakas, I. Akasaki, and B. A. Monemar, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. No. 449 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1997), p. 149.
9. N. Grandjean, M. Leroux, J. Massies, M. Mesrine, and M. Laügt, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 38, 618 (1999).
10. B. Heying, E. J. Tarsa, C. R. Elsass, P. Fini, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 85, 6470 (1999).
11. B. Heying, R. Averbeck, L. F. Chen, E. Haus, H. Riechert, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 88, 1855 (2000).
12. C. Adelmann, J. Brault, D. Jalabert, P. Gentile, H. Mariette, G. Mula, and B. Daudin, J. Appl. Phys. 91, 9638 (2002).
13. R. Held, B. E. Ishaug, A. Parkhomovsky, A. M. Dabiran, and P. I. Cohen, J. Appl. Phys. 87, 1219 (2000).
14. P. Hacke, G. Feuillet, H. Okumura, and S. Yoshida, Appl. Phys. Lett. 69, 2507 (1996).
15. T. Zywietz, J. Neugebauer, and M. Scheffler, Appl. Phys. Lett. 73, 487 (1998).
16. E. J. Tarsa, B. Heying, X. H. Wu, P. Fini, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 82, 5472 (1997).
17. A. R. Smith, R. M. Feenstra, D. W. Greve, J. Neugebauer, and J. E. Northrup, Phys. Rev. Lett. 79, 3934 (1997).
18. J. E. Northrup, J. Neugebauer, R. M. Feenstra, and A. R. Smith, Phys. Rev. B 61, 9932 (2000).
19. J. Neugebauer, T. Zywietz, M. Scheffler, J. E. Northrup, H. Chen, and R. M. Feenstra, Phys. Rev. Lett. 90, 056101 (2003).
20. B. Heying, I. Smorchkova, C. Poblenz, C. Elsass, P. Fini, S. P. DenBaars, U. Mishra, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 77, 2885 (2000).
21. A. R. Smith, R. M. Feenstra, D. W. Greve, M.-S. Shin, M. Skowronski, J. Neugebauer, and J. E. Northrup, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 2242 (1998).
22. G. Mula, C. Adelmann, S. Moehl, J. Oullier, and B. Daudin, Phys. Rev. B 64, 195406 (2001).
23. C. Kruse, S. Einfeldt, T. Böttcher, D. Hommel, D. Rudloff, and J. Christen, Appl. Phys. Lett. 78, 3827 (2001).
24. C. Adelmann, J. Brault, G. Mula, B. Daudin, L. Lymperakis, and J. Neugebauer, Phys. Rev. B 67, 165419 (2003).
25. G. Koblmüller, P. Pongratz, R. Averbeck, and H. Riechert, Appl. Phys. Lett. 80, 2281 (2002).
26. G. Koblmüller, P. Pongratz, R. Averbeck, and H. Riechert, Phys. Status Solidi A 194, 515 (2002).
27. A. R. Smith, R. M. Feenstra, D. W. Greve, M.-S. Shin, M. Skowronski, J. Neugebauer, and J. E. Northrup, Appl. Phys. Lett. 72, 2114 (1998).
28. N. Grandjean, J. Massies, F. Semond, S. Y. Karpov, and R. A. Talalaev, Appl. Phys. Lett. 74, 1854 (1999).
29. M. Zinke-Allmang, L. C. Feldman, and M. H. Grabow, Surf. Sci. Rep. 16, 377 (1992).
30. G. Koblmüller, R. Averbeck, L. Geelhaar, H. Riechert, W. Hösler, and P. Pongratz, J. Appl. Phys. 93, 9591 (2003).
31. G. Koblmüller, J. S. Brown, R. Averbeck, H. Riechert, P. Pongratz, and J. S. Speck (unpublished).
32. J. R. Arthur, J. Appl. Phys. 39, 4032 (1968).
33. S. Guha, N. A. Bojarczuk and D. W. Kisker, Appl. Phys. Lett. 69, 2879 (1996).
34. K. L. Chopra, Thin Film Phenomena (McGraw-Hill, New York, 1969).
35. L. X. Zheng, M. H. Xie, and S. Y. Tong, Phys. Rev. B 61, 4890 (2000).
36. P. I. Cohen, G. S. Petrich, P. R. Pukite, G. J. Whaley, and A. S. Arrott, Surf. Sci. 216, 222 (1989).
37. B. Daudin, J. L. Rouviere, and M. Arlery, Appl. Phys. Lett. 69, 2480 (1996).
38. M. Seelmann-Eggebert, J. L. Weyher, H. Obloh, H. Zimmermann, A. Rar, and S. Porowski, Appl. Phys. Lett. 71, 2635 (1997).
39. J. L. Rouviere, J. L. Weyher, M. Seelmann-Eggebert, and S. Porowski, Appl. Phys. Lett. 73, 668 (1998).
40. L. K. Li, M. J. Jurkovic, W. I. Wang, J. M. Van Hove, and P. P. Chow, Appl. Phys. Lett. 76, 1740 (2000).
41. M. Sumiya, K. Yoshimura, K. Ohtsuka, and S. Fuke, Appl. Phys. Lett. 76, 2098 (2000).
42. D. E. Crawford, R. Held, A. M. Johntson, A. M. Dabiran, and P. I. Cohen, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 1, 12 (1996).
43. K. R. Evans, T. Lei, and C. R. Jones, Solid-State Electron. 41, 339 (1997).
44. J. Speck (private communication).
45. I. Barin, Thermochemical Data of Pure Substances (VCH, Weinheim, 1993).