Deep levels created by low energy electron Irradiation in 4H-SiC

Journal of Applied Physics

Volumn 96, Issue 9, 2004, Pages 4909-4915

  Storasta, L ^a   Bergman, J R ^a   Janzen, E ^a   Henry, A ^a   Lu, J ^b  

^a LINKÖPING UNIVERSITY   (Sweden)

^b UPPSALA UNIVERSITY   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CONCENTRATION (PROCESS); ELECTRON IRRADIATION; PARAMAGNETIC RESONANCE; PHOTOLUMINESCENCE; POSITRON ANNIHILATION SPECTROSCOPY; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

ANNEALING KINETICS; DEVICE SIMULATION; INTRINSIC DEFECTS; LOW ENERGY ELECTRON IRRADIATION;

SILICON CARBIDE;

EID: 9744279016     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1778819     Document Type: Article

References (39)

1. T. Dalibor, Inst. Phys. Conf. Ser. 142, 517 (1996).
2. C. Hemmingsson, N. T. Son, O. Kordina, J. P. Bergman, E. Janzén, J. L. Lindström, S. Savage, and N. Nordell, J. Appl. Phys. 81, 6155 (1997).
3. T. Dalibor, G. Pensl, T. Kimoto, H. Matsunami, S. Sridhara, R. P. Devaty, and W. J. Choyke, Diamond Relat. Mater. 6, 1333 (1997).
4. J. Zhang, L. Storasta, J. P. Bergman, N. T. Son, and E. Janzén, J. Appl. Phys. 93, 4708 (2003).
5. I. Pintilie, L. Pintilie, K. Irmscher, and B. Thomas, Appl. Phys. Lett. 81, 4841 (2003).
6. T. Kimoto, S. Nakazawa, K. Hashimoto, and H. Matsunami, Appl. Phys. Lett. 79, 2761 (2001).
7. K. Fujihira, T. Kimoto, and H. Matsunami, Appl. Phys. Lett. 80, 1586 (2002).
8. J. W. Steeds, F. Carosella, G. A. Evans, M. M. Ismail, L. R. Danks, and W. Voegeli, Mater. Sci. Forum 353-356, 381 (2001).
9. S. G. Sridhara, P. O. A. Persson, F. H. C. Carlsson, J. P. Bergman, E. Janzén, G. Evans, and J. W. Steeds, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 640, H6.5.1 (2001).
10. A. A. Rempel, W. Sprengel, K. Blaurock, K. J. Reichle, J. Major, and H.-E. Schaefer, Phys. Rev. Lett. 89, 185501 (2002).
11. H. J. von Bardeleben, J. L. Cantin, L. Henry, and M. F. Barthe, Phys. Rev. B 62, 10841 (2003).
12. A. L. Barry, B. Lehmann, D. Fritsch, and D. Braunig, IEEE Trans. Nucl. Sci. 38, 1111 (1991).
13. D. V, Lang, J, Appl. Phys. 45, 3023 (1974).
14. R. Brunwin, B. Hamilton, P. Jordan, and A. R. Peaker, Electron. Lett. 15, 349 (1979).
15. T. Kimoto, et al. Inst. Phys. Conf. Ser. 142, 393 (1996).
16. C. G. Hemmingsson, N. T. Son, A. Ellison, J. Zhang, and E. Janzén, Phys. Rev. B 58, R10119 (1998).
17. A. Kawasuso, et al. Appl. Phys. Lett. 79, 3950 (2001).
18. T. A. G. Eberlein, R. Jones, and P. R. Briddon, Phys. Rev. Lett. 90, 225502 (2003).
19. L. Storasta, A. Henry, J. P. Bergman, and E. Janzén, Mater. Sci. Forum 457-460469 (2004).
20. M. L. David, G. Alfieri, E. V. Monakhov, A. Hallén, J. F. Barbot, and B. G. Svensson, Mater. Sci. Forum 433-436, 371 (2003).
21. D. Åberg, L. Storasta, A. Hallén, and B. G. Svensson, Mater. Sci. Forum 353-356, 443 (2001).
22. L. Storasta, F. H. C. Carlsson, S. G. Sridhara, D. Åberg, J. P. Bergman, A. Hallén, and E. Janzén, Mater. Sci. Forum 353, 431 (2001).
23. D. Åberg, A. Hallén, and B. G. Svensson, Physica B 273, 672 (1999).
24. L. Storasta, F. H. C. Carlsson, S. G. Sridhara, J. P. Bergman, A. Henry, T. Egilsson, A. Hallén, and E. Janzén, Appl. Phys. Lett. 78, 46 (2001).
25. P. Blood and J. W. Orton, The Electrical Characterization of Semiconductors: Majority Carriers and Electron States (Academic, London, 1992).
26. K. Dmowski, Rev. Sci. Instrum. 61, 1319 (1990).
27. B. Massarani and J. C. Bourgoin, Phys. Rev. B 34, 2470 (1986).
28. T. A. G. Eberlein, C. J. Fall, R. Jones, P. R. Briddon, and S. Oberg, Phys. Rev. B 65, 184108 (2002).
29. A. Gali, P. Deak, E. Rauls, N. T. Son, I. G, Ivanov, F. H. C. Carlsson, E. Janzén, and W. J. Choyke, Phys. Rev. B 67, 155203 (2003).
30. M. Bockstedte and O. Pankratov, Mater. Sci. Forum 338-342, 949 (2000).
31. E. Rauls, T. Lingner, Z. Hajnal, S. Greulich-Weber, T. Frauenheim, and J.-M. Spaeth, Phys. Status Solidi B 217, R1 (2000).
32. Charles Evans & Associates.
33. E. Rauls, T. E. M. Staab, Z, Hajnal, and T. Frauenheim. Physica B 308-310, 645 (2001).
34. T. Egilsson, A. Henry, I. G. Ivanov, J. L. Lindstrom, and E. Janzén, Phys. Rev. B 59, 8008 (1999).
35. A. O. Evwaraye and E. Sun, J. Appl. Phys. 47, 3776 (1976).
36. L. Torpo and M. Mario, J. Phys.: Condens. Matter 13, 6203 (2001).
37. N. T. Son, B. Magnusson, and E. Janzén, Appl. Phys. Lett. 81, 3945 (2002).
38. N. T. Son, P. N. Hai, and E, Janzén, Phys. Rev. B 63, 201201 (2001).
39. Z. Zolnai, N. T. Son, B. Magnusson, C. Hallín, and E. Janzén, Mater. Sci. Forum (in press).