Uniform and Repeatable Cold-Wall Chemical Vapor Deposition Synthesis of Single-Layer MoS2

Crystal Growth and Design

Volumn 16, Issue 2, 2016, Pages 988-995

  Lunceford, Chad ^a   Borcean, Emanuel ^a   Drucker, Jeff ^a  

^a ARIZONA STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; DEPOSITION; ELECTRON SPECTROSCOPY; FLOW OF GASES; MOLYBDENUM COMPOUNDS; MOLYBDENUM DEPOSITS; RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SUBSTRATES;

AUGER ELECTRON SPECTROSCOPIES (AES); CARRIER GAS FLOW RATES; COLD WALL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; DEPOSITION PARAMETERS; ELEMENTAL COMPOSITIONS; INDEPENDENT CONTROL; RUTHERFORD BACK-SCATTERING SPECTROMETRY; SUBSTRATE TEMPERATURE;

VAPOR DEPOSITION;

EID: 84957573916     PISSN: 15287483     EISSN: 15287505     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/acs.cgd.5b01540     Document Type: Article

References (49)

1. Radisavljevic, B.; Whitwick, M. B.; Kis, A. ACS Nano 2011, 5, 9934-9938 10.1021/nn203715c
2. Radisavljevic, B.; Radenovic, A.; Brivio, J.; Giacometti, V.; Kis, A. Nat. Nanotechnol. 2011, 6, 147-150 10.1038/nnano.2010.279
3. Zeng, H.; Dai, J.; Yao, W.; Xiao, D.; Cui, X. Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 490-493 10.1038/nnano.2012.95
4. Wu, S.; Huang, C.; Aivazian, G.; Ross, J. S.; Cobden, D. H.; Xu, X. ACS Nano 2013, 7, 2768-2772 10.1021/nn4002038
5. Mak, K. F.; He, K.; Lee, C.; Lee, G. H.; Hone, J.; Heinz, T. F.; Shan, J. Nat. Mater. 2012, 12, 207-211 10.1038/nmat3505
6. Kang, K.; Xie, S.; Huang, L.; Han, Y.; Huang, P. Y.; Mak, K. F.; Kim, C.; Muller, D.; Park, J. Nature 2015, 520, 656-660 10.1038/nature14417
7. Najmaei, S.; Liu, Z.; Zhou, W.; Zou, X.; Shi, G.; Lei, S.; Yakobson, B. I.; Idrobo, J.; Ajayan, P. M.; Lou, J. Nat. Mater. 2013, 12, 754-759 10.1038/nmat3673
8. Ionescu, R.; Wang, W.; Chai, Y.; Mutlu, Z.; Ruiz, I.; Favors, Z.; Wickramaratne, D.; Neupane, M.; Zavala, L.; Lake, R.; Ozkan, M.; Ozkan, C. S. IEEE Trans. Nanotechnol. 2014, 13, 749-754 10.1109/TNANO.2014.2319081
9. Lin, Y.-C.; Zhang, W.; Huang, J.; Liu, K.; Lee, Y.; Liang, C.; Chu, C.; Li, L. Nanoscale 2012, 4, 6637-6641 10.1039/c2nr31833d
10. Azizi, A.; Eichfeld, S.; Geschwind, G.; Zhang, K.; Jiang, B.; Mukherjee, D.; Hossain, L.; Piasecki, A. F.; Kabius, B.; Robinson, J. A.; Alem, N. ACS Nano 2015, 9, 4882-4890 10.1021/acsnano.5b01677
11. Docherty, C. J.; Parkinson, P.; Joyce, H. J.; Chiu, M.; Chen, C.; Lee, M.; Li, L.; Herz, L.; Johnston, M. B. ACS Nano 2014, 8, 11147-11153 10.1021/nn5034746
12. Ly, T. H.; Chiu, M.; Li, M.; Zhao, J.; Perello, D.; Cichocka, M. O.; Oh, H. M.; Chae, S. H.; Jeong, H. Y.; Yao, F.; Li, L.; Lee, Y. H. ACS Nano 2014, 8, 11401-11408 10.1021/nn504470q
13. Wu, W.; De, D.; Chang, S.; Wang, Y.; Peng, H.; Bao, J.; Pei, S. Appl. Phys. Lett. 2013, 102, 142106 10.1063/1.4801861
14. Zhang, J.; Yu, H.; Chen, W.; Tian, X.; Liu, D.; Cheng, M.; Xie, G.; Yang, W.; Yang, R.; Bai, X.; Shi, D.; Zhang, G. ACS Nano 2014, 8, 6024-6030 10.1021/nn5020819
15. Song, Y.; Peng, Y.; You, S.; Sun, K.; Chen, J.; Qian, Z. AIP Adv. 2015, 5, 067119 10.1063/1.4922419
16. Li, W.; Birdwell, A. G.; Amani, M.; Burke, R. A.; Ling, X.; Lee, Y.; Liang, X.; Peng, L.; Richter, C. A.; Kong, J.; Gundlach, D. J.; Nguyen, N. V. Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2014, 90, 195434 10.1103/PhysRevB.90.195434
17. Chiu, M.; Li, M.; Zhang, W.; Hsu, W.; Chang, W.; Terrones, M.; Terrones, H.; Li, L. ACS Nano 2014, 8, 9649-9656 10.1021/nn504229z
18. Kim, I. S.; Sangwan, V. K.; Jariwala, D.; Wood, J. D.; Park, S.; Chen, K.; Shi, F.; Ruiz-Zepeda, F.; Ponce, A.; Jose-Yacaman, M.; Dravid, V. P.; Marks, T. J.; Hersam, M. C.; Lauhon, L. J. ACS Nano 2014, 8, 10551-10558 10.1021/nn503988x
19. Wang, S.; Rong, Y.; Fan, Y.; Pacios, M.; Bhaskaran, H.; He, K.; Warner, J. H. Chem. Mater. 2014, 26, 6371-6379 10.1021/cm5025662
20. OBrien, M.; McEvoy, N.; Hallam, T.; Kim, H.; Berner, N. C.; Hanlon, D.; Lee, K.; Coleman, J. N.; Duesberg, G. S. Sci. Rep. 2014, 4, 7374 10.1038/srep07374
21. Liu, Y.; Ghosh, R.; Wu, D.; Ismach, A.; Ruoff, R.; Lai, K. Nano Lett. 2014, 14, 4682-4686 10.1021/nl501782e
22. Tongay, S.; Fan, W.; Kang, J.; Park, J.; Koldemir, U.; Suh, J.; Narang, D. S.; Liu, K.; Ji, J.; Li, J.; Sinclair, R.; Wu, J. Nano Lett. 2014, 14, 3185-3190 10.1021/nl500515q
23. van der Zande, A. M.; Huang, P. Y.; Chenet, D. A.; Berkelbach, T. C.; You, Y.; Lee, G.; Heinz, T.; Reichman, D. R.; Muller, D. A.; Hone, J. C. Nat. Mater. 2013, 12, 554-561 10.1038/nmat3633
24. Cao, D.; Shen, T.; Liang, P.; Chen, X.; Shu, H. J. Phys. Chem. C 2015, 119, 4294-4301 10.1021/jp5097713
25. Ling, X.; Lee, Y.; Lin, Y.; Fang, W.; Yu, L.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2014, 14, 464-472 10.1021/nl4033704
26. Lee, Y.; Zhang, X.; Zhang, W.; Chang, M.; Lin, C.; Chang, K.; Yu, Y.; Wang, J. T.; Chang, C.; Li, L.; Lin, T. Adv. Mater. 2012, 24, 2320-2325 10.1002/adma.201104798
27. McCreary, K. M.; Hanbicki, A. T.; Robinson, J. T.; Cobas, E.; Culbertson, J. C.; Friedman, A. L.; Jernigan, G. G.; Jonker, B. T. Adv. Funct. Mater. 2014, 24, 6449-6454 10.1002/adfm.201401511
28. Yu, Y.; Li, C.; Liu, Y.; Su, L.; Zhang, Y.; Cao, L. Sci. Rep. 2013, 3, 1866 10.1038/srep01866
29. Gurarslan, A.; Yu, Y.; Su, L.; Yu, Y.; Suarez, F.; Yao, S.; Zhu, Y.; Ozturk, M.; Zhang, Y.; Cao, L. ACS Nano 2014, 8, 11522-11528 10.1021/nn5057673
30. Browning, R.; Padigi, P.; Solanki, R.; Tweet, D. J.; Schuele, P.; Evans, D. Mater. Res. Express 2015, 2, 035006 10.1088/2053-1591/2/3/035006
31. Matsunaga, M.; Homma, T.; Tanaka, A. ASLE Trans. 1982, 25, 323-328 10.1080/05698198208983097
32. Seah, M. P.; Dench, W. A. Surf. Interface Anal. 1979, 1, 2-11 10.1002/sia.740010103
33. Rasband, W. S. ImageJ; U. S. National Institutes of Health: Bethesda, Maryland, USA, 1997-2014; http://imagej.nih.gov/ij/.
34. Lee, C.; Yan, H.; Brus, L. E.; Heinz, T. F.; Hone, J.; Ryu, S. ACS Nano 2010, 4, 2695-2700 10.1021/nn1003937
35. Li, H.; Zhang, Q.; Yap, C. C. R.; Tay, B. K.; Edwin, T. H. T.; Olivier, A.; Baillargeat, D. Adv. Funct. Mater. 2012, 22, 1385-1390 10.1002/adfm.201102111
36. Wang, X.; Feng, H.; Wu, Y.; Jiao, L. J. Am. Chem. Soc. 2013, 135, 5304 10.1021/ja4013485
37. Zhan, Y.; Liu, Z.; Najmaei, S.; Ajayan, P. M.; Lou, J. Small 2012, 8, 966-971 10.1002/smll.201102654
38. Splendiani, A.; Sun, L.; Zhang, Y.; Li, T.; Kim, J.; Chim, C.; Galli, G.; Wang, F. Nano Lett. 2010, 10, 1271-1275 10.1021/nl903868w
39. Mak, K. F.; Lee, C.; Hone, J.; Shan, J.; Heinz, T. F. Phys. Rev. Lett. 2010, 105, 136805 10.1103/PhysRevLett.105.136805
40. Conley, H. J.; Wang, B.; Ziegler, J. I.; Haglund, R. F.; Pantelides, S. T.; Bolotin, K. I. Nano Lett. 2013, 13, 3626-3630 10.1021/nl4014748
41. Lin, Y.; Lu, N.; Perea-Lopez, N.; Li, J.; Lin, Z.; Peng, X.; Lee, C. H.; Sun, C.; Calderin, L.; Browning, P. N.; Bresnehan, M. S.; Kim, M. J.; Mayer, T. S.; Terrones, M.; Robinson, J. A. ACS Nano 2014, 8, 3715-3723 10.1021/nn5003858
42. Eda, G.; Yamaguchi, H.; Voiry, D.; Fujita, T.; Chen, M.; Chhowalla, M. Nano Lett. 2011, 11, 5111-5116 10.1021/nl201874w
43. Tsai, M.; Su, S.; Chang, J.; Tsai, D.; Chen, C.; Wu, C.; Li, L.; Chen, L.; He, J. ACS Nano 2014, 8, 8317-8322 10.1021/nn502776h
44. Zhang, W.; Huang, J.; Chen, C.; Chang, Y.; Cheng, Y.; Li, L. Adv. Mater. 2013, 25, 3456-3461 10.1002/adma.201301244
45. Fromm, E. Metall. Trans. A 1978, 9, 1835-1838 10.1007/BF02663416
46. Chickos, J. S.; Acree, W. E. J. Phys. Chem. Ref. Data 2003, 32, 519-878 10.1063/1.1529214
47. Bollinger, M. V.; Lauritsen, J. V.; Jacobsen, K. W.; Norskov, J. K.; Helveg, S.; Besenbacher, F. Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 196803 10.1103/PhysRevLett.87.196803
48. Du, G.; Zhou, Y.; Xu, B. Mater. Charact. 2010, 61, 427-432 10.1016/j.matchar.2010.01.009
49. Ostinelli, O.; Bolognesi, C. R. Appl. Phys. Express 2011, 4, 085501 10.1143/APEX.4.085501