High K nanophase zinc oxide on biomimetic silicon nanotip array as supercapacitors

Nano Letters

Volumn 13, Issue 4, 2013, Pages 1422-1428

  Han, Hsieh Cheng ^a   Chong, Cheong Wei ^a   Wang, Sheng Bo ^a,b   Heh, Dawei ^c   Tseng, Chi Ang ^d   Huang, Yi Fan ^e   Chattopadhyay, Surojit ^e   Chen, Kuei Hsien ^a,d   Lin, Chi Feng ^f   Lee, Jiun Haw ^a   Chen, Li Chyong ^a  

^a NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY   (Taiwan)

^b NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

^c NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES   (Taiwan)

^d INSTITUTE OF ATOMIC AND MOLECULAR SCIENCES   (Taiwan)

^e NATIONAL YANG MING UNIVERSITY   (Taiwan)

^f NATIONAL UNITED UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

equivalent planar capacitance; nanophase; silicon nanotip array; supercapacitors; Zinc oxide

Indexed keywords

LARGE SURFACE AREA; METAL INSULATOR METALS; METAL-INSULATOR-SEMICONDUCTORS; NANO-PHASE; SILICON NANOTIP ARRAYS; SUPER CAPACITOR; SUPPORT MATERIALS; ULTRA-HIGH DIELECTRIC CONSTANT;

ATOMIC LAYER DEPOSITION; BIOMIMETIC PROCESSES; CAPACITANCE; CAPACITORS; MIS DEVICES; NANOTIPS; SILICON; ZINC OXIDE;

MIM DEVICES;

BIOMIMETIC MATERIAL; METAL; NANOMATERIAL; SILICON; ZINC OXIDE;

ARTICLE; CHEMISTRY; ELECTRIC CAPACITANCE; PARTICLE SIZE; POROSITY;

BIOMIMETIC MATERIALS; ELECTRIC CAPACITANCE; METALS; NANOSTRUCTURES; PARTICLE SIZE; POROSITY; SILICON; ZINC OXIDE;

EID: 84876054060     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl304303p     Document Type: Article

References (42)

1. Suh, D. H.; Cho, J. H.; Jeong, Y. C.; Chi, S. Y.; Park, J. G.; Kim, Y. J.; Lee, J. H. J. Electrochem. Soc. 2005, 152 (1) G107
2. Boscke, T.; Kudelka, S.; Sanger, A.; Muller, J.; Krautschneider, W. Solid-State Device Res. Conf., 2006, Proc. 36th Eur. 2006, 391
3. Kemell, M.; Ritala, M.; Leskela, M.; Osseiwusu, E.; Carstensen, J.; Foll, H. Microelectron. Eng. 2007, 84, 313
4. Sinnamon, L. J.; Bowman, R. M.; Gregg, J. M. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 1724
5. Parag, B.; Israel, P.; Laurent, H. L.; Lee, S. B.; Rubloff, G. W. Nat. Nanotechnol. 2009, 4, 292
6. Tohge, N.; Takahashi, S.; Minami, T. J. Am. Ceram. Soc. 1991, 74, 67
7. Bai, Y.; Cheng, Z. Y.; Bharti, V.; Xu, H. S.; Zhang, Q. M. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 3804
8. Dang, Z. M.; Lin, Y. H.; Nan, C. W. Adv. Mater. 2003, 15, 1625
9. Cao, Y. IEEE. Trans. Dielectr. Electr. Insul. 2004, 11, 797
10. Moore, D. R.; Cervenka, A. K. Pure Appl. Chem. 2002, 74, 601
11. Puurunen, R. J. Appl. Phys. 2005, 97, 121301
12. Ritala, M.; Leskela, M. Nanotechnology 1999, 10, 19
13. Bradley, D. Chem. Rev. 1989, 89, 1317
14. George, S. M.; Ott, A. W.; Klaus, J. W. J. Phys. Chem. 1996, 100, 13121
15. George, S. M. Chem. Rev. 2010, 110, 111
16. Levinson, L. M.; Phillip, H. P. J. Appl. Phys. 1975, 46, 1332
17. Matsuoka, M. J. Appl. Phys. 1970, 10, 736
18. Bhattacharrya, S.; Saha, S. K.; Chakravorty, D. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 3896
19. Gupta, M. K.; Sinha, N.; Singh, B. K.; Singh, N.; Kumar, K. Mater. Lett. 2009, 63, 1910
20. Pan, T.; Hsieh, C.; Huang, T.; Yang, J.; Kuo, P. IEEE Electron Device Lett. 2007, 28, 954
21. Hoogeland, D.; Jinesh, K. B.; Roozeboom, F.; Besling, W. F. A.; van de Sanden, M. C. M.; Kessels, W. M. M. J. Appl. Phys. 2009, 106, 114107
22. Morris, J. E., Ed. Nanopackaging; Nanotechnologies and Electronics Packaging; Springer-Verlag: New York, 2008.
23. Chen, K. H.; Hwang, J. H.; Lo, H. C.; Das, D.; Chen, L. C. U.S. Patent 6,960,528 B2, Nov. 1, 2005.
24. Hsu, C. H.; Lo, H. C.; C.F. Chen, C. T.; Wu, J. S.; Hwang, D. D.; Tsai, J.; Chen, L. C.; Chen, K. H. Nano Lett. 2004, 4, 471
25. Hsu, C. H.; Huang, Y. F.; Chen, L. C.; Chattopadhyay, S.; Chen, K. H.; Lo, H. C.; Chen, C. F. J. Vac. Sci. Technol., B 2006, 24, 308
26. Huang, Y. F.; Chattopadhyay, S.; Liu, T. A.; Pan, C. L.; Hsu, Y. K.; Jen, Y. J.; Peng, C. Y.; Lee, C. S.; Chang, Y. H.; Lo, H. C.; Hsu, C. H.; Chen, K. H.; Chen, L. C. Nat. Nanotechnol. 2007, 2, 770
27. Lo, H. C.; Huang, Y. F.; Chattopadhyay, S.; Hsu, C. H.; Chen, C. F.; Chen, K. H.; Chen, L. C. Nanotechnology 2009, 17, 2542
28. Hsieh, Y. P.; Chen, H. Y.; Lin, M. Z.; Shiu, S. C.; Hofmann, M.; Chern, M. Y.; Jia, X.; Yang, Y. J.; Chang, H. J.; Huang, H. M.; Tseng, S. C.; Chen, L. C.; Chen, K. H.; Lin, C. F.; Liang, C. T.; Chen, Y. F. Nano Lett. 2009, 9, 1839
29. Chong, C. W.; Hsu, D.; Chen, W. C.; Li, C. C; Huang, Y. F.; Han, H. C.; Lin, J. G.; Chen, L. C.; Chen, K. H.; Chen, Y. F. Nanotechnology 2011, 22, 125701
30. Puurunen, R. L. J. Appl. Phys. 2004, 96, 7686
31. Francisco, S. P.; Martínez, E.; Meléndrez, M. F.; Eduardo, P. T. Nanoscale Res. Lett. 2011, 6, 524
32. Satta, A.; Schuhmacher, J.; Whelan, C. M.; Vandervorst, W.; Brongersma, S. H.; Beyer, G. P.; Maex, K.; Vantomme, A.; Viitanen, M. M.; Brongersma, H. H.; Besling, W. F. A. J. Appl. Phys. 2002, 92, 7641
33. de Ridder, M.; van de Ven, P. C.; van Welzenis, R. G.; Brongersma, H. H.; Helfensteyn, S.; Creemers, C.; Van Der Voort, P.; Baltes, M.; Mathieu, M.; Vansant, E. F. J. Phys. Chem. B 2002, 106, 13146
34. Alexander, T. P.; Bukowski, T. J.; Uhlmann, D. R.; Teowee, G.; McCarthy, K. C.; Dawley, J.; Zelinski, B. J. J. ISAF '96 Proc. Tenth IEEE Int. Symp. Appl. Ferroelectrics 1996, 2, 585
35. Biju, V.; Khadar, M. A. J. Mater. Sci. 2003, 38, 4055
36. Jose, J.; Khadar, M. A. Acta Mater. 2001, 49, 729
37. Jose, J.; Khadar, M. A. Nanostruct. Mater. 1999, 11, 1091
38. Mo, C. M.; Zhang, L.; Wang, G. Z. Nanostruct. Mater. 1995, 6, 823
39. Bonard, J. M.; Weiss, N.; Kind, H.; Stöckli, T.; Forró, L.; Kern, K.; Chaîtelain, A. Adv. Mater. 2001, 13, 184
40. Roozeboom, F.; Dekkers, W.; Jinesh, K.; Besling, W.; Lamy, Y.; Klootwijk, J.; Verheijen, M.; Kim, H. D.; Blin, D. Workshop on Power Supply On Chip (PowerSoC08), Cork, Ireland, 2008; p 22.
41. Klootwijk, J. H.; Jinesh, K. B.; Dekkers, W.; Verhoeven, J. F. C.; Heuvel, F. C.; van den, Kim, H. D.; Blin, D.; Verheijen, M. A.; Weemaes, R. G. R.; Kaiser, M.; Ruigrok, J. J. M.; Roozeboom, F. IEEE Electron Device Lett. 2008, 29, 740
42. Haspert, L. C.; Lee, S. B.; Rubloff, G. W. ACS Nano 2012, 6, 3528