Electron beam-induced damage of alkanethiolate self-assembled monolayers adsorbed on GaAs (001): A static sims investigation

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 114, Issue 12, 2010, Pages 5400-5409

  Zhou, Chuanzhen ^a   Jones, Jason C ^b   Trionfi, Aaron ^b   Hsu, Julia W P ^b   Walker, Amy V ^a,b  

^a WASHINGTON UNIVERSITY   (United States)

^b SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALKANETHIOLATES; ALKANETHIOLS; BOND SCISSIONS; C-C BONDS; DEGRADATION MECHANISM; ELECTRON BEAM DAMAGE; ELECTRON DOSE; ELECTRON-BEAM EXPOSURE; EXPERIMENTAL CONDITIONS; GAAS(001); INDUCED DAMAGE; REACTION PATHWAYS; SAMS; STATIC SIMS; TERMINAL GROUPS; TIME OF FLIGHT SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY;

AROMATIC HYDROCARBONS; CHEMICAL BONDS; DEGRADATION; DESORPTION; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; ELECTRON BEAMS; ELECTRONS; GALLIUM ALLOYS; GALLIUM ARSENIDE; POLYCYCLIC AROMATIC HYDROCARBONS; SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY; SEMICONDUCTING GALLIUM;

SELF ASSEMBLED MONOLAYERS;

EID: 77950271983     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp905612p     Document Type: Article

References (69)

1. Ulman, A. Chem. Rev. 1996, 96, 1533-1554.
2. Schreiber, F. Prog. Surf. Sci. 2000, 65, 151-256.
3. Zharnikov, M.; Grunze, M. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 1793-1807.
4. Lercel, M. J.; Tiberio, R. C.; Chapman, P. F.; Craighead, H. G.; Sheen, C. W.; Parikh, A. N.; Allara, D. L. J. Vac. Sci. Technol., B 1993, 11, 2823-2828.
5. Lercel, M. J.; Redinbo, G. F.; Pardo, F. D.; Rooks, M.; Tiberio, R. C.; Simpson, P.; Craighead, H. G.; Sheen, C. W.; Parikh, A. N.; Allara, D. L. J. Vac. Sci. Technol., B 1994, 12, 3663-3667.
6. Lercel, M. J.; Rooks, M.; Tiberio, R. C.; Craighead, H. G.; Sheen, C. W.; Parikh, A. N.; Allara, D. L. J. Vac. Sci. Technol., B 1995, 13, 1139-1143.
7. Lercel, M. J.; Craighead, H. G.; Parikh, A. N.; Seshadri, K.; Allara, D. L. J. Vac. Sci. Technol. A 1996, 14, 1844-1849.
8. Ballav, N.; Schilp, S.; Zharnikov, M. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 2008, 120, 1421-1424.
9. Tiberio, R. C.; Craighead, H. G.; Lercel, M.; Lau, T.; Sheen, C. W.; Allara, D. L. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 476-478.
10. Smith, R. K.; Lewis, P. A.; Weiss, P. S. Prog. Surf. Sci. 2004, 75, 1-68.
11. Love, J. C.; Estroff, L. A.; Kriebel, J. K.; Nuzzo, R. G.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 2005, 105, 1103-1169.
12. Tarlov, M. J.; Burgess, D. R. F., Jr.; Gillen, G. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 5305-5306.
13. Cooper, E.; Leggett, G. J. Langmuir 1999, 15, 1024-1032.
14. Sun, S.; Chong, K. S. L.; Leggett, G. J. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 2414-2415.
15. Sun, S.; Leggett, G. J. Nano Lett. 2002, 2, 1223-1227.
16. Sun, S.; Leggett, G. J. Nano Lett. 2004, 4, 1381-1384.
17. Zhou, C.; Walker, A. V. Langmuir 2006, 22, 11420-11425.
18. Zhou, C.; Walker, A. V. Langmuir 2007, 23, 8876-8881.
19. Piner, R. D.; Zhu, J.; Xu, F.; Hong, S. H.; Mirkin, C. A. Science 1999, 283, 661-663.
20. Salaita, K.; Wang, Y.; Mirkin, C. A. Nat. Nanotechnol. 2007, 2, 145-155.
21. Geyer, W.; Stadler, V.; Eck, W.; Zharnikov, M.; Gölzhäuser, A.; Grunze, M. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 2401-2403.
22. Seshadri, K.; Froyd, K.; Parikh, A. N.; Allara, D. L.; Lercel, M. J.; Craighead, H. G. J. Phys. Chem. 1996, 100, 15900-15909.
23. Tanii, T.; Hosaka, T.; Miyake, T.; Ohdomari, I. Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 2004, 43, 4396-4397.
24. Ballav, N.; Shaporenko, A.; Krakert, S.; Terfort, A.; Zharnikov, M. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 7772-7782.
25. Sondag-Huethorst, J. A. M.; van Helleputte, H. R. J.; Fokkink, L. G. J. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 285-287.
26. Schmelmer, U.; Jordan, R.; Geyer, W.; Eck, W.; Gölzhäuser, A.; Grunze, M.; Ulman, A. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 2003, 42, 559-563.
27. Gölzhäuser, A.; Eck, W.; Geyer, W.; Stadler, V.; Weimann, T.; Hinze, P.; Grunze, M. Adv. Mater. 2001, 13, 806-809.
28. Rightor, E. G.; Hitchcock, A. P.; Ade, H.; Leapman, R. D.; Urqhart, S. G.; Smith, A. P.; Mitchell, G.; Fischer, D.; Shin, H. J.; Warwick, T. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 1950-1960.
29. Völkel, B.; Gölzhäuser, A.; Müller, H. U.; David, C.; Grunze, M. J. Vac. Sci. Technol., B 1997, 15, 2877-2881.
30. Perry, C. C.; Wagner, A. J.; Fairbrother, D. H. Chem. Phys. 2002, 280, 111-118.
31. Shaporenko, A.; Zharnikov, M.; Feulner, P.; Menzel, D. J. Phys.: Condens. Matter 2006, 18, S1677-S1689.
32. Zharnikov, M.; Geyer, W.; Gölzhäuser, A.; Frey, S.; Grunze, M. Phys. Chem. Chem. Phys. 1999, 1, 3163-3171.
33. Zharnikov, M.; Frey, S.; Heister, K.; Grunze, M. Langmuir 2000, 16, 2697-2705.
34. Frey, S.; Heister, K.; Zharnikov, M.; Grunze, M. Phys. Chem. Chem. Phys. 2000, 2, 1979-1987.
35. Müller, H. U.; Zharnikov, M.; Völkel, B.; Schertel, A.; Harder, P.; Grunze, M. J. Phys. Chem. B 1998, 102, 7949-7959.
36. Olsen, C.; Rowntree, P. A. J. Chem. Phys. 1998, 108, 3750-3764.
37. Rowntree, P.; Dugal, P.-C.; Hunting, D.; Sanche, L. J. Phys. Chem. 1996, 100, 4546-4550.
38. Huels, M. A.; Dufal, P.-C.; Sanche, L. J. Chem. Phys. 2003, 118, 11168-11178.
39. Cyganik, P.; Vandeweert, E.; Postawa, Z.; Bastiaansen, J.; Vervaecke, F.; Lievens, P.; Silverans, R. E.; Winograd, N. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 5085-5094.
40. Ballav, N.; Shaporenko, A.; Terfort, A.; Grunze, M. Adv. Mater. 2007, 19, 998-1000.
41. Hutt, D. A.; Leggett, G. J. J. Mater. Chem. 1999, 9, 923-928.
42. Rading, D.; Liebing, V.; Becker, G.; Fuchs, H.; Benninghoven, A. J. Vac. Sci. Technol., A 1998, 16, 3449-3454.
43. Baer, D. R.; Engelhard, M. H.; Schulte, D. W.; Guenther, D. E.; Wang, L.-Q.; Rieke, P. C. J. Vac. Sci. Technol., A 1994, 12, 2478-2485.
44. McGuiness, C. L.; Shaporenko, A.; Mars, C. K.; Uppili, S.; Zharnikov, M.; Allara, D. L. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 5231-5243.
45. McGuiness, C. L.; Blasini, D.; Masejewski, J. P.; Uppili, S.; Cabarcos, O. M.; Smilgies, D.; Allara, D. L. ACS Nano 2007, 1, 30-49.
46. Zhou, C.; Walker, A. V. J. Phys. Chem. C 2008, 112, 797-805.
47. Vickerman, J. C.; Briggs, D. TOF-SIMS: Surface Analysis by Mass Spectrometry; IM Publications/Surface Spectra: Chichester, U. K., 2001.
48. McGuiness, C. L.; Shaporenko, A.; Mars, C. K.; Uppili, S.; Zharnikov, M.; Allara, D. L. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 5231-5243.
49. Bordoli, R. S.; Vickerman, J. C. Surf. Sci. 1979, 85, 244-262.
50. Brown, A.; Vickerman, J. C. Vacuum 1981, 31, 429-433.
51. Leggett, G. J.; Vickerman, J. C.; Briggs, D.; Hearn, M. J. J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1992, 88, 297-309.
52. McLafferty, F. W.; Tureček, F. Interpretation of Mass Spectra, 4th ed.; University Science Books: Sausilito, 1993.
53. Cooper, E.; Leggett, G. J. Langmuir 1998, 14, 4795-4801.
54. http://webbook.nist.gov/chemistry/form-ser.html, February 1st, 2009, 4:02 pm.
55. Gorham, J. M.; Smith, B.; Fairbrother, D. H. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 374-382.
56. Gorham, J. M.; Stover, A. K.; Fairbrother, D. H. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 18663-18671.
57. Briggs, D.; Hearn, M. J. Vacuum 1986, 36, 1005-1010.
58. Leggett, G. J.; Ratner, B. D.; Vickerman, J. C. Surf. Interface Anal. 1995, 23, 22-28.
59. Cheng, C.; Gross, M. L. Mass Spectrom. Rev. 2000, 19, 398-420.
60. Yamada, R.; Sakai, H.; Uosaki, K. Chem. Lett. 1999, 667-668.
61. Zhou, C.; Nagy, G.; Walker, A. V. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 12160-12161.
62. Lu, P.; Demirkan, K.; Opila, R. L.; Walker, A. V. J. Phys. Chem. C 2007, 112, 2091-2098.
63. Lu, P.; Walker, A. V. ACS Nano 2009, 3, 370-378.
64. Harnett, C. K.; Satyalakshmi, K. M.; Craighead, H. G. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 2466-2468.
65. Prabhakaran, K.; Götzinger, S.; Shafi, K. V. P. M.; Mazzei, A.; Schietinger, S.; Benson, O. Nanotechnology 2006, 17, 3802-3805.
66. Rieke, P. C.; Tarasevich, B. J.; Wood, L. L.; Engelhard, M. H.; Baer, D. R.; Fryxell, G. E.; John, C. M.; Laken, D. A.; Jaehing, M. C. Langmuir 1994, 10, 619-622.
67. Zhou, C.; Qi, K.; Wooley, K. L.; Walker, A. V. Colloids Surf. B 2008, 65, 85-91.
68. He, Q.; Kller, A.; Grunze, M.; Li, J. Langmuir 2007, 23, 3981-3987.
69. Steenackers, M.; Küller, A.; Ballav, N.; Zharnikov, M.; Grunze, M.; Jordan, R. Small 2007, 3, 1764-1773.