Evaluation of threading dislocation densities in In-and N-face InN

Journal of Applied Physics

Volumn 107, Issue 5, 2010, Pages

  Gallinat, C S ^a   Koblmuller G ^a   Wu, Feng ^a   Speck, J S ^a  

^a University of California   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

INN FILMS; NON DESTRUCTIVE; OFF-AXIS; PLASMA-ASSISTED MOLECULAR BEAM EPITAXY; RICH CONDITIONS; ROCKING CURVES; SKEW-SYMMETRIC; SUBSTRATE TEMPERATURE; THREADING DISLOCATION; THREADING DISLOCATION DENSITIES;

CRYSTAL GROWTH; GALLIUM NITRIDE; MOLECULAR BEAM EPITAXY; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; THICK FILMS; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; X RAY DIFFRACTION;

MOLECULAR BEAMS;

EID: 77949676592     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.3319557     Document Type: Article

References (39)

1. A. H. Herzog, D. L. Keune, and M. G. Craford, J. Appl. Phys. 43, 600 (1972).
2. R. J. Roedel, A. R. V. Neida, R. Caruso, and L. R. Dawson, J. Electrochem. Soc. 126, 637 (1979).
3. W. A. Brantley, O. G. Lorimor, P. D. Dapkus, S. E. Haszko, and R. H. Saul, J. Appl. Phys. 46, 2629 (1975).
4. S. D. Lester, F. A. Ponce, M. G. Craford, and D. A. Steigerwald, Appl. Phys. Lett. 66, 1249 (1995).
5. S. J. Rosner, E. C. Carr, M. J. Ludowise, G. Girolami, and H. I. Erikson, Appl. Phys. Lett. 70, 420 (1997).
6. N. G. Weimann, L. F. Eastman, D. Doppalapudi, H. M. Ng, and T. D. Moustakas, J. Appl. Phys. 83, 3656 (1998).
7. H. M. Ng, D. Doppalapudi, T. D. Moustakas, N. G. Weimann, and L. F. Eastman, Appl. Phys. Lett. 73, 821 (1998).
8. D. Jena, Phys. Rev. B 70, 245203 (2004).
9. H. Tang, J. Webb, J. Bardwell, B. Leathem, S. Charbonneau, and S. Raymond, J. Electron. Mater. 29, 268 (2000).
10. D. C. Look and J. R. Sizelove, Phys. Rev. Lett. 82, 1237 (1999).
11. L. F. J. Piper, T. D. Veal, C. F. McConville, L. Hai, and W. J. Schaff, Appl. Phys. Lett. 88, 252109 (2006).
12. V. Lebedev, V. Cimalla, T. Baumann, O. Ambacher, F. M. Morales, J. G. Lozano, and D. Gonzalez, J. Appl. Phys. 100, 094903 (2006).
13. X. Wang, S.-B. Che, Y. Ishitani, and A. Yoshikawa, Appl. Phys. Lett. 90, 151901 (2007).
14. D. C. Look, H. Lu, W. J. Schaff, J. Jasinski, and Z. Liliental-Weber, Appl. Phys. Lett. 80, 258 (2002).
15. P. J. Hansen, Y. E. Strausser, A. N. Erickson, E. J. Tarsa, P. Kozodoy, E. G. Brazel, J. P. Ibbetson, U. Mishra, V. Narayanamurti, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 72, 2247 (1998).
16. J. S. Thakur, R. Naik, V. M. Naik, D. Haddad, G. W. Auner, H. Lu, and W. J. Schaff, J. Appl. Phys. 99, 023504 (2006).
17. K. Wang, Y. Cao, J. Simon, J. Zhang, A. Mintairov, J. Merz, D. Hall, T. Kosel, and D. Jena, Appl. Phys. Lett. 89, 162110 (2006).
18. C. S. Gallinat, G. Koblmüller, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 95, 022103 (2009).
19. C. S. Gallinat, G. Koblmüller, J. S. Brown, S. Bernardis, J. S. Speck, G. D. Chern, E. D. Readinger, H. Shen, and M. Wraback, Appl. Phys. Lett. 89, 032109 (2006).
20. C. S. Gallinat, G. Koblmüller, J. S. Brown, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 102, 064907 (2007).
21. G. Koblmüller, C. S. Gallinat, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 101, 083516 (2007).
22. G. Koblmüller, C. S. Gallinat, S. Bernardis, J. S. Speck, G. D. Chern, E. D. Readinger, H. Shen, and M. Wraback, Appl. Phys. Lett. 89, 071902 (2006).
23. G. Koblmüller, G. D. Metcalfe, M. Wraback, F. Wu, C. S. Gallinat, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 94, 091905 (2009).
24. G. Koblmüller, A. Hirai, F. Wu, C. S. Gallinat, G. D. Metcalfe, H. Shen, M. Wraback, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 93, 171902 (2008).
25. Y. F. Ng, Y. G. Cao, M. H. Xie, X. L. Wang, and S. Y. Tong, Appl. Phys. Lett. 81, 3960 (2002).
26. E. J. Tarsa, B. Heying, X. H. Wu, P. Fini, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 82, 5472 (1997).
27. C. Adelmann, J. Brault, D. Jalabert, P. Gentile, H. Mariette, G. Mula, and B. Daudin, J. Appl. Phys. 91, 9638 (2002).
28. X. H. Wu, P. Fini, E. J. Tarsa, B. Heying, S. Keller, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Cryst. Growth 189-190, 231 (1998).
29. B. Heying, X. H. Wu, S. Keller, Y. Li, D. Kapolnek, B. P. Keller, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 68, 643 (1996).
30. W. Qian, M. Skowronski, M. D. Graef, K. Doverspike, L. B. Rowland, and D. K. Gaskill, Appl. Phys. Lett. 66, 1252 (1995).
31. V. Srikant, J. S. Speck, and D. R. Clarke, J. Appl. Phys. 82, 4286 (1997).
32. S. R. Lee, A. M. West, A. A. Allerman, K. E. Waldrip, D. M. Follstaedt, P. P. Provencio, D. D. Koleske, and C. R. Abernathy, Appl. Phys. Lett. 86, 241904 (2005).
33. M. J. Hordon and B. L. Averbach, Acta Metall. 9, 237 (1961).
34. C. G. Dunn and E. F. Kogh, Acta Metall. 5, 548 (1957).
35. P. Gay, P. B. Hirsch, and A. Kelly, Acta Metall. 1, 315 (1953).
36. S. K. Mathis, A. E. Romanov, L. F. Chen, G. E. Beltz, W. Pompe, and J. S. Speck, Phys. Status Solidi A 179, 125 (2000).
37. G. Koblmüller, S. Fernandez-Garrido, E. Calleja, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 91, 161904 (2007).
38. V. Lebedev, V. Cimalla, J. Pezoldt, M. Himmerlich, S. Krischok, J. A. Schaefer, O. Ambacher, F. M. Morales, J. G. Lozano, and D. Gonzalez, J. Appl. Phys. 100, 094902 (2006).
39. X. Wang, S.-B. Che, Y. Ishitani, and A. Yoshikawa, Phys. Status Solidi B 243, 1456 (2006).