Computational study of the gas phase reactions of isopropylimido and allylimido tungsten precursors for chemical vapor deposition of tungsten carbonitride films: implications for the choice of carrier gas

Chemistry of Materials

Volumn 20, Issue 23, 2008, Pages 7246-7251

  Won, Yong Sun ^a,b   Kim, Young Seok ^a   Anderson, Timothy J ^a   McElwee White, Lisa ^c  

^a University of Florida   (United States)

^b Samsung Electro Mechanics   (South Korea)

^c NONE   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BOND CLEAVAGES; BOND METATHESES; BOUND LIGANDS; CARBONITRIDE; CARRIER GASSES; CHOICE OF CARRIERS; COMPUTATIONAL CHEMISTRIES; COMPUTATIONAL STUDIES; DEPOSITION EXPERIMENTS; FILM PROPERTIES; GAS PHASE; GAS PHASE REACTIONS; MASS SPECTROMETRIC DATUMS; REACTION PATHWAYS; REACTIVE SPECIES; UNIMOLECULAR;

ACETONITRILE; ACTIVATION ENERGY; CARBON NITRIDE; CHEMICAL BONDS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CHLORINE COMPOUNDS; CIVIL AVIATION; FILM GROWTH; GAS DYNAMICS; HYDROGEN; LIGANDS; NITRIDES; REACTION KINETICS; TUNGSTEN;

GASES;

EID: 57949097464     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm802173e     Document Type: Article

References (45)

1. Nakajima, K.; Akasaka, Y.; Miyano, K.; Takahashi, M.; Suehiro, S.; Suguro, K Appl. Surf. Sci. 1997, 117/118, 312-316.
2. Nakajima, T.; Watanabe, K.; Watanabe, N. J. Electrochem. Soc. 1987, 134, 3175-3178.
3. Ivanova, A. R.; Galewski, C. J.; Sans, C. A.; Seidel, T. E.; Grunow, S.; Kumar, K.; Kaloyeros, A. E. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1999, 564, 321-326.
4. Shaw, M. J.; Grunow, S.; Duquette, D. J. J. Electron. Mater. 2001, 30, 1602-1608.
5. Uekubo, M.; Oku, T.; Nii, K.; Murakami, M.; Takahiro, K.; Yamaguchi, S.; Nakano, T.; Ohta, T. Thin Solid Films 1996, 286, 170-175.
6. Kaloyeros, A. E.; Eisenbraun, E. Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 363-385.
7. Kim, S.-H.; Oh, S. S.; Kim, K.-B.; Kang, D.-H.; Li, W.-M.; Haukka, S.; Tuominen, M. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 4486-4488.
8. Kim, S.-H.; Oh, S. S.; Kim, H.-M.; Kang, D.-H.; Kim, K.-B.; Li, W.-M.; Haukka, S.; Tuominen, M. J. Electrochem. Soc. 2004, 151, C272-C282.
9. Li, W.-M.; Tuominen, M.; Haukka, S.; Sprey, H.; Raaijmakers, I. J. Solid State Technol. 2003, 46, 103-104 and 106.
10. Bchir, O. J.; Green, K. M.; Hlad, M. S.; Anderson, T. J.; Brooks, B. C.; Wilder, C. B.; Powell, D. H.; McElwee-White, L. J. Organomet. Chem. 2003, 684, 338-350.
11. Bchir, O. J.; Johnston, S. W.; Cuadra, A. C.; Anderson, T. J.; Ortiz, C. G.; Brooks, B. C.; Powell, D. H.; McElwee-White, L. J. Cryst. Growth 2003, 249, 262-274.
12. Bchir, O. J.; Green, K. M.; Ajmera, H. M.; Zapp, E. A.; Anderson, T. J.; Brooks, B. C.; Reitfort, L. L.; Powell, D. H.; Abboud, K. A.; McElwee-White, L. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 7825-7833.
13. Won, Y. S.; Kim, Y. S.; Anderson, T. J.; Reitfort, L. L.; Ghiviriga, I.; McElwee-White, L. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 13781-13788.
14. Bchir, O. J.; Kim, K. C; Anderson, T. J.; Craciun, V.; Brooks, B. C.; McElwee-White, L. J. Electrochem. Soc. 2004, 151, G697-G703.
15. Ajmera, H. M.; Heitsch, A. T.; Bchir, O. J.; Anderson, T. J.; Reitfort, L. L.; McElwee-White, L. J. Electrochem. Soc. 2008, 155, H829-H835.
16. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J. J. A.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S. S.; Tomasi, J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.; Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.; Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.; Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H. P.; Cross, J. B.; Bakken, V.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts, R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli, C.; Ochterski, J. W.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G. A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich, S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.; Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox, D. J; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 03, Revision B.04; Gaussian, Inc.: Wallingford, CT, 2004.
17. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 1372-1377.
18. Stephens, P. J.; Devlin, F. J.; Chabalowski, C. F.; Frisch, M. J. J. Phys. Chem. 1994, 98, 11623-11627.
19. Amato, C. C.; Hudson, J. B.; Interrante, L. V. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1990, 168, 119-124.
20. Lewkebandara, T. S.; Sheridan, P. H.; Heeg, M. J.; Rheingold, A. L.; Winter, C. H. Inorg. Chem. 1994, 33, 5879-5889.
21. Chunggaze, M.; Malik, M. A.; O'Brien, P. J. Mater. Chem. 1999, 9, 2433-2437.
22. Nomura, R.; Seki, Y.; Konishi, K.; Matsuda, H. Appl. Organomet. Chem. 1992, 6, 685-691.
23. Cundari, T. R.; Morse, J. M. Chem. Mater. 1996, 8, 189-196.
24. Cross, J. B.; Schlegel, H. B. Chem. Phys. Lett. 2001, 340, 343-347.
25. Bchir, O. J. Ph.D. Dissertation, Department of Chemical Engineering, University of Florida, 2004.
26. Winter, C. H. Aldrichim. Acta 2000, 33, 3-12.
27. Norton, E. T.; Amato-Wierda, C. Chem. Mater. 2001, 13, 4655-4660.
28. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1990, 2, 235-241.
29. DuBois, L. H. Polyhedron 1994, 13, 1329-1336.
30. Beaudoin, M.; Scott, S. L. Organometatlics 2001, 20, 237-239.
31. Cai, H.; Chen, T. N.; Wang, X. P.; Schultz, A. J.; Koetzle, T. F.; Xue, Z. L. Chem. Commun. 2002, 230-231.
32. Yang, Y. W.; Wu, J. B.; Wang, J. L.; Lin, Y. F.; Chiu, H. T. Surf. Sci. 2006, 600, 743-754.
33. Cundari, T. R.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 4210-4217.
34. Timoshkin, A. Y.; Siodmiak, M.; Korkin, A. A.; Frenking, G. Comput. Mater. Sci. 2003, 27, 109-116.
35. Benson, S. W. Thermochemical Kinetics, 2nd ed.; Wiley-Interscience: New York, 1976.
36. Luo, Y.-R.; Holmes, J. L. J. Phys. Chem. 1994, 98, 303-312.
37. Coles, M. P.; Dalby, C. I.; Gibson, V. C.; Clegg, W.; Elsegood, M. R. J. Polyhedron 1995, 14, 2455-2459.
38. Blake, A. J.; Collier, P. E.; Dunn, S. C.; Li, W.-S.; Mountford, P.; Shishkin, O. V. J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1997, 1549-1558.
39. Chiu, H.-T.; Chuang, S.-H.; Lee, G.-H.; Peng, S.-M. Polyhedron 1994, 13, 2443-2445.
40. Mukhopadhyay, A. B.; Musgrave, C. B Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 173120-173123.
41. Siodmiak, M.; Frenking, G.; Korkin, A. J. Mol. Model. 2000, 6, 413-424.
42. Cross, J. B.; Schlegel, H. B. Chem. Mater. 2000, 12, 2466-2474.
43. Baboul, A. G.; Schlegel, H. B. J. Phys. Chem. B 1998, 102, 5152-5157.
44. Widjaja, Y.; Musgrave, C. B. Surf. Sci. 2000, 469, 9-20.
45. Tiznado, H.; Bournan, M.; Kang, B. C.; Lee, K.; Zaera, F. J. Mol. Catal. A: Chem. 2008, 281, 35-43.