Structures and energetics of some potential intermediates in titanium nitride chemical vapor deposition: TiClm(NH2)n, TiClm(NH2)nNH, and TiClm(NH2)nN. An ab initio molecular orbital study

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 102, Issue 26, 1998, Pages 5152-5157

  Baboul, Anwar G ^a,b   Schlegel, H Bernhard ^a  

^a WAYNE STATE UNIVERSITY   (United States)

^b ARGONNE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001326025     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp9810668     Document Type: Article

References (54)

1. Refractory Materials; Margrave, J. L., Ed. Academic Press: New York, 1971.
2. Schintlmeister, W.; Pacher, O.; Pfaffinger, K.; Raine, T. J. Electrochem. Soc. 1974, 123, 924.
3. Kurtz, S. R.; Gordon, R. G. Thin Solid Films 1986, 140, 277.
4. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1990, 2, 235.
5. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1990, 168, 357.
6. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1991, 3, 1138. Musher, J. N.; Gordon, R. G. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 736-44. Shin, H. K.; Shin, H. J.; Lee, J. G.; Kang, S. W.; Ahn, B. T. Chem. Mater. 1997, 9, 76-80.
7. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1991, 3, 1138. Musher, J. N.; Gordon, R. G. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 736-44. Shin, H. K.; Shin, H. J.; Lee, J. G.; Kang, S. W.; Ahn, B. T. Chem. Mater. 1997, 9, 76-80.
8. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1991, 3, 1138. Musher, J. N.; Gordon, R. G. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 736-44. Shin, H. K.; Shin, H. J.; Lee, J. G.; Kang, S. W.; Ahn, B. T. Chem. Mater. 1997, 9, 76-80.
9. Weiller, B. H. Chem. Mater. 1995, 7, 1609-11. Weiller, B. H. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 4975-83. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. USLI 1996, 11, 409-15.
10. Weiller, B. H. Chem. Mater. 1995, 7, 1609-11. Weiller, B. H. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 4975-83. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. USLI 1996, 11, 409-15.
11. Weiller, B. H. Chem. Mater. 1995, 7, 1609-11. Weiller, B. H. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 4975-83. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. USLI 1996, 11, 409-15.
12. Winter, C. H.; Sheridan, P. H.; Lewkebandara, T. S.; Heeg, M. J.; Prosica, J. W. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 1095. Winter, C. H.; Lewkebandara, T. S.; Sheridan, P. H.; Prosica, J. W. Mater. Res. Soc. Proc. 1993, 282, 293.
13. Winter, C. H.; Sheridan, P. H.; Lewkebandara, T. S.; Heeg, M. J.; Prosica, J. W. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 1095. Winter, C. H.; Lewkebandara, T. S.; Sheridan, P. H.; Prosica, J. W. Mater. Res. Soc. Proc. 1993, 282, 293.
14. Chase, M. W.; Davies, C. A.; Downey, J. R.; Frurip, D. J.; McDonald, R. A.; Szverud, A. N. JANAF Thermochemical Tables, In J. Phys. Chem. Ref. Data 1985, 14.
15. Hawkins, N. M.; Carpenter, D. R. J. Chem. Phys. 1955, 23, 1700.
16. Morino, Y.; Uehara, H. J. Chem. Phys. 1966, 45, 4543.
17. Ram, R. S.; Bernath, P. F. J. Mol. Spectrosc., in press).
18. Boldyrev, A. I.; Simons, J. J. Mol. Spectrosc., in press).
19. Hildenbrand, D. L. High Temp. Mater. Sci. 1996, 35, 151.
20. Hastie, J. W.; Hauge, R. H.; Margrave, J. L. High Temp. Sci. 1971, 3, 257.
21. DeVore, T. C.; Gallaher, T. N. High Temp. Sci. 1983, 16, 83.
22. Dick, D. G.; Rousseau, R.; Stephan, D. W. Can. J. Chem. 1991, 69, 357.
23. DeVore, T. C.; Gallaher, T. N. J. Chem. Phys. 1979, 70, 3497.
24. Brahbaharan, K.; Coxon, J. A.; Yamashita, A. B. Spectrochim. Acta 1985, 41A, 847.
25. Stearn, C. A.; Kohl, F. J. High Temp. Sci. 1970, 2, 146.
26. Harrison, J. F. J. Phys. Chem. 1996, 100, 3513.
27. Bauschlicher, C. W. Chem. Phys. Lett. 1983, 100, 515.
28. Bauschlicher, C. W.; Taylor, P. R.; Komornicki, A. J. Chem. Phys. 1990, 92, 3982.
29. Jonas, V.; Frenking, G.; Reetz, M. T. J. Comput. Chem. 1992, 8, 919.
30. Russo, T. V.; Martin, R. L.; Hay, P. J.; Rappé, A. K. J. Chem. Phys. 1995, 102, 9315.
31. Allendorf, M. D.; Janssen, C. L.; Colvin, M. E.; Melius, C. F.; Nielsen, I. M. B.; Osterheld, T. H.; Ho, P. Proc. Electrochem. Soc. 1995, 95-2, 393-400.
32. Cundari, T. R. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 7879. Cundari, T. R.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 4210-17. Cundari, T. R.; Morse, J. M., Jr. Chem. Mater. 1996, 8, 189-96.
33. Cundari, T. R. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 7879. Cundari, T. R.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 4210-17. Cundari, T. R.; Morse, J. M., Jr. Chem. Mater. 1996, 8, 189-96.
34. Cundari, T. R. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 7879. Cundari, T. R.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 4210-17. Cundari, T. R.; Morse, J. M., Jr. Chem. Mater. 1996, 8, 189-96.
35. Zeigler, T.; Tschinke, V.; Versluis, L.; Baerends, E. J.; Ravenek, W. Polyhedron 1988, 7, 1625.
36. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Trucks, G. W.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1991, 94, 7221. Curtiss, L. A.; Carpenter, J. E.; Raghavachari, K.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1992, 96, 9030.
37. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Trucks, G. W.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1991, 94, 7221. Curtiss, L. A.; Carpenter, J. E.; Raghavachari, K.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1992, 96, 9030.
38. Raghavachari, K.; Curtiss, L. A. In Modern Electronic Structure Theory Part II; Yarkony, D. R., Ed. World Scientific Publishing: Singapore, 1995; p 991. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Redfern, P. C.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1997, 106, 1063.
39. Raghavachari, K.; Curtiss, L. A. In Modern Electronic Structure Theory Part II; Yarkony, D. R., Ed. World Scientific Publishing: Singapore, 1995; p 991. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Redfern, P. C.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1997, 106, 1063.
40. Bauschlicher, C. W.; Partridge, H. J. Chem. Phys. 1995, 103, 1788.
41. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Gill, P. M. W.; Johnson, B. G.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Keith, T.; Petersson, G. A.; Montgomery, J. A.; Raghavachari, K.; Al-Laham, M. A.; Zakrzewski, V. G.; Ortiz, J. V.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Peng, C. Y.; Ayala, P. Y.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Replogle, E. S.; Gomperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Binkiey, J. S.; Defrees, D. J.; Baker, J.; Stewart, J. P.; Head-Gordon, M.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. GAUSSIAN 94; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 1995.
42. Becke, A. D. Phys. Rev. A 1988, 38, 3098.
43. Lee, C.; Yang W.; Parr, R. D. Phys. Rev. B 1988, 37, 785.
44. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648.
45. Krishnan, R.; Binkiey, J. S.; Seeger, R.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1980, 72, 650.
46. McLean, A. D.; Chandler, G. S. J. Chem. Phys. 1980, 72, 5639.
47. Wachters; A. J. H. J. Chem. Phys. 1970, 52, 1033. Hay, P. J. J. Chem. Phys. 1977, 66, 4377. Raghavachari, K.; Trucks, G. W. J. Chem. Phys. 1989, 91, 1062.
48. Wachters; A. J. H. J. Chem. Phys. 1970, 52, 1033. Hay, P. J. J. Chem. Phys. 1977, 66, 4377. Raghavachari, K.; Trucks, G. W. J. Chem. Phys. 1989, 91, 1062.
49. Wachters; A. J. H. J. Chem. Phys. 1970, 52, 1033. Hay, P. J. J. Chem. Phys. 1977, 66, 4377. Raghavachari, K.; Trucks, G. W. J. Chem. Phys. 1989, 91, 1062.
50. McQuarrie, D. A. Statistical Thermodynamics, University Scientific Books: Mill Valley, CA, 1973.
51. Scott, A. P.; Radom, L. J. Phys. Chem. 1996, 100, 16502.
52. Møller, C.; Plesset, M. S. Phys. Rev. 1934, 46, 618.
53. Pople, J. A.; Head-Gordon, M.; Raghavachari, K. J. Chem. Phys. 1987, 87, 5968.
54. 2, and Ti. If these excited states where used in the computation of the bond strengths, the triple bonds would be, as expected, stronger than the double bonds.