SCOPUS 정보 검색 플랫폼 - 논문 보기

메뉴 건너뛰기

Journal of Materials Chemistry

Volumn 18, Issue 28, 2008, Pages 3385-3390

Advanced cyclopentadienyl precursors for atomic layer deposition of ZrO2 thin films

(12) Niinistö, Jaakko a Kukli, Kaupo a,b Tamm, Aile b Putkonen, Matti c Dezelah, Charles L d Niinistö, Lauri e Lu, Jun f Song, Fuquan g Williams, Paul g Heys, Peter N g Ritala, Mikko a Leskelä, Markku a

a UNIVERSITY OF HELSINKI (Finland)

b UNIVERSITY OF TARTU (Estonia)

c Beneq Oy (Finland)

d Picosun USA (United States)

e AALTO UNIVERSITY (Finland)

f UPPSALA UNIVERSITY (Sweden)

g SAFC Hitech (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

PULSED LASER DEPOSITION; ZIRCONIUM ALLOYS;

ATOMIC LAYERS; CYCLOPENTADIENYL (CP);

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 47049130444 PISSN: 09599428 EISSN: 13645501 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/b802523a Document Type: Article

Times cited : (40)

References (33)

1
- 33748886538
- J.-P. Locquet C. Marchiori M. Sousa J. Fompeyrine J. W. Seo J. Appl. Phys. 2006 100 051610
- (2006) J. Appl. Phys. , vol.100 , pp. 051610
- Locquet, J.-P.¹ Marchiori, C.² Sousa, M.³ Fompeyrine, J.⁴ Seo, J.W.⁵

2
- 0035883789
- J. Chang Y.-C. Lin J. Appl. Phys. 2001 90 2964
- (2001) J. Appl. Phys. , vol.90 , pp. 2964
- Chang, J.¹ Lin, Y.-C.²

3
- 4544320429
- C. K. Maiti G. K. Dalapati S. Chatterjee S. K. Samanta S. Varma S. Patil Solid-State Electron. 2004 48 2235
- (2004) Solid-State Electron. , vol.48 , pp. 2235
- Maiti, C.K.¹ Dalapati, G.K.² Chatterjee, S.³ Samanta, S.K.⁴ Varma, S.⁵ Patil, S.⁶

4
- 0041592493
- V. A. Gritsenko K. A. Nasyrov Y. N. Novikov A. L. Aseev S. Y. Yoon J.-W. Lee E.-H. Lee C. W. Kim Solid-State Electron. 2003 47 1651
- (2003) Solid-State Electron. , vol.47 , pp. 1651
- Gritsenko, V.A.¹ Nasyrov, K.A.² Novikov, Y.N.³ Aseev, A.L.⁴ Yoon, S.Y.⁵ Lee, J.-W.⁶ Lee, E.-H.⁷ Kim, C.W.⁸

5
- 34247115566
- F. Sacconi J. M. Jancu M. Povolotskyi A. Di Carlo Microelectron. Reliab. 2007 47 694
- (2007) Microelectron. Reliab. , vol.47 , pp. 694
- Sacconi, F.¹ Jancu, J.M.² Povolotskyi, M.³ Di Carlo, A.⁴

6
- 34248679045
- G. Lucovsky J. L. Whitten Microelectron. Eng. 2007 84 2259
- (2007) Microelectron. Eng. , vol.84 , pp. 2259
- Lucovsky, G.¹ Whitten, J.L.²

7
- 0036567799
- S. Ferrari D. T. Dekadjevi S. Spiga G. Tallarida C. Wiemer M. Fanciulli J. Non-Cryst. Solids 2002 303 29
- (2002) J. Non-Cryst. Solids , vol.303 , pp. 29
- Ferrari, S.¹ Dekadjevi, D.T.² Spiga, S.³ Tallarida, G.⁴ Wiemer, C.⁵ Fanciulli, M.⁶

8
- 0036606109
- Y. Akiyama N. Imaishi Y.-S. Shin S.-C. Jung J. Cryst. Growth 2002 241 352
- (2002) J. Cryst. Growth , vol.241 , pp. 352
- Akiyama, Y.¹ Imaishi, N.² Shin, Y.-S.³ Jung, S.-C.⁴

9
- 0001027439
- L. Niinistö Curr. Opin. Solid State Mater. Sci. 1998 3 147
- (1998) Curr. Opin. Solid State Mater. Sci. , vol.3 , pp. 147
- Niinistö, L.¹

10
- 0004028474
- H. S. Nalwa, Academic Press, San Diego, pp. 103-159
- M. Ritala and M. Leskelä, in Handbook of Thin Film Materials, ed., H. S. Nalwa, Academic Press, San Diego, 2002, vol. 1, pp. 103-159
- (2002) Handbook of Thin Film Materials, Ed.
- Ritala, M.¹ Leskelä In, M.²

11
- 3042595571
- L. Niinistö J. Päiväsaari J. Niinistö M. Putkonen M. Nieminen Phys. Status Solidi A 2004 201 1443
- (2004) Phys. Status Solidi A , vol.201 , pp. 1443
- Niinistö, L.¹ Päiväsaari, J.² Niinistö, J.³ Putkonen, M.⁴ Nieminen, M.⁵

12
- 47049111758
- S. Dueñas and H. Castán, Transworld Research Network, Kerala, pp. 1-40
- K. Kukli, M. Ritala and M. Leskelä, in New Materials and Processes for Incoming Semiconductor Technologies, ed., S. Dueñas, and, H. Castán, Transworld Research Network, Kerala, 2006, pp. 1-40
- (2006) New Materials and Processes for Incoming Semiconductor Technologies, Ed.
- Kukli, K.¹ Ritala, M.² Leskelä In, M.³

13
- 57649140120
- International Technology Roadmap for Semiconductors, Front end processes, 2007, http://public.itrs.net/
- (2007) International Technology Roadmap for Semiconductors, Front End Processes

14
- 0037463322
- P. S. Lysaght B. Foran G. Bersuker P. J. J. Chen R. W. Murto H. R. Huff Appl. Phys. Lett. 2003 82 1266
- (2003) Appl. Phys. Lett. , vol.82 , pp. 1266
- Lysaght, P.S.¹ Foran, B.² Bersuker, G.³ Chen, P.J.J.⁴ Murto, R.W.⁵ Huff, H.R.⁶

15
- 31144437717
- C. Musgrave R. G. Gordon Future Fab. Int. 2005 18 126
- (2005) Future Fab. Int. , vol.18 , pp. 126
- Musgrave, C.¹ Gordon, R.G.²

16
- 0036567715
- R. Matero M. Ritala M. Leskelä A. C. Jones P. A. Williams J. F. Bickley A. Steiner T. J. Leedham H. O. Davies J. Non-Cryst. Solids 2002 303 24
- (2002) J. Non-Cryst. Solids , vol.303 , pp. 24
- Matero, R.¹ Ritala, M.² Leskelä, M.³ Jones, A.C.⁴ Williams, P.A.⁵ Bickley, J.F.⁶ Steiner, A.⁷ Leedham, T.J.⁸ Davies, H.O.⁹

17
- 11144289175
- R. Matero M. Ritala M. Leskelä T. Sajavaara A. C. Jones J. L. Roberts Chem. Mater. 2004 16 5630
- (2004) Chem. Mater. , vol.16 , pp. 5630
- Matero, R.¹ Ritala, M.² Leskelä, M.³ Sajavaara, T.⁴ Jones, A.C.⁵ Roberts, J.L.⁶

18
- 0036799255
- D. M. Hausmann E. Kim J. Becker R. G. Gordon Chem. Mater. 2002 14 4350
- (2002) Chem. Mater. , vol.14 , pp. 4350
- Hausmann, D.M.¹ Kim, E.² Becker, J.³ Gordon, R.G.⁴

19
- 0035655349
- M. Putkonen L. Niinistö J. Mater. Chem. 2001 11 3141
- (2001) J. Mater. Chem. , vol.11 , pp. 3141
- Putkonen, M.¹ Niinistö, L.²

20
- 0942290068
- J. Niinistö M. Putkonen L. Niinistö K. Kukli M. Ritala M. Leskelä J. Appl. Phys. 2004 95 84
- (2004) J. Appl. Phys. , vol.95 , pp. 84
- Niinistö, J.¹ Putkonen, M.² Niinistö, L.³ Kukli, K.⁴ Ritala, M.⁵ Leskelä, M.⁶

21
- 34547409928
- J. Niinistö M. Putkonen L. Niinistö F. Song P. Williams P. N. Heys R. Odedra Chem. Mater. 2007 19 3319
- (2007) Chem. Mater. , vol.19 , pp. 3319
- Niinistö, J.¹ Putkonen, M.² Niinistö, L.³ Song, F.⁴ Williams, P.⁵ Heys, P.N.⁶ Odedra, R.⁷

22
- 34249022099
- K. Kukli J. Niinistö A. Tamm J. Lu M. Ritala M. Leskelä M. Putkonen L. Niinistö F. Song P. Williams P. N. Heys Microelectron. Eng. 2007 84 2010
- (2007) Microelectron. Eng. , vol.84 , pp. 2010
- Kukli, K.¹ Niinistö, J.² Tamm, A.³ Lu, J.⁴ Ritala, M.⁵ Leskelä, M.⁶ Putkonen, M.⁷ Niinistö, L.⁸ Song, F.⁹ Williams, P.¹⁰ Heys, P.N.¹¹

23
- 34547689730
- J. M. Gaskell A. C. Jones K. Black P. R. Chalker T. Leese A. Kingsley R. Odedra P. N. Heys Surf. Coat. Technol. 2007 201 9095
- (2007) Surf. Coat. Technol. , vol.201 , pp. 9095
- Gaskell, J.M.¹ Jones, A.C.² Black, K.³ Chalker, P.R.⁴ Leese, T.⁵ Kingsley, A.⁶ Odedra, R.⁷ Heys, P.N.⁸

24
- 0002572435
- T. Suntola Thin Solid Films 1992 216 84
- (1992) Thin Solid Films , vol.216 , pp. 84
- Suntola, T.¹

25
- 0027659199
- M. Ylilammi T. Ranta-aho Thin Solid Films 1993 232 56
- (1993) Thin Solid Films , vol.232 , pp. 56
- Ylilammi, M.¹ Ranta-Aho, T.²

26
- 34547700874
- S. Rushworth K. Coward H. Davies P. Heys T. Leese L. Kempster R. Odedra F. Song P. Williams Surf. Coat. Technol. 2007 201 9060
- (2007) Surf. Coat. Technol. , vol.201 , pp. 9060
- Rushworth, S.¹ Coward, K.² Davies, H.³ Heys, P.⁴ Leese, T.⁵ Kempster, L.⁶ Odedra, R.⁷ Song, F.⁸ Williams, P.⁹

27
- 34247161324
- S. Rushworth H. Davies A. Kingsley T. Leese R. Odedra Microelectron. Reliab. 2007 47 718
- (2007) Microelectron. Reliab. , vol.47 , pp. 718
- Rushworth, S.¹ Davies, H.² Kingsley, A.³ Leese, T.⁴ Odedra, R.⁵

28
- 9744285720
- K. Kukli J. Aarik M. Ritala T. Uustare T. Sajavaara J. Lu J. Sundqvist A. Aidla L. Pung A. Hårsta M. Leskelä J. Appl. Phys. 2004 96 5298
- (2004) J. Appl. Phys. , vol.96 , pp. 5298
- Kukli, K.¹ Aarik, J.² Ritala, M.³ Uustare, T.⁴ Sajavaara, T.⁵ Lu, J.⁶ Sundqvist, J.⁷ Aidla, A.⁸ Pung, L.⁹ Hårsta, A.¹⁰ Leskelä, M.¹¹

29
- 0001067980
- D. P. Thompson A. M. Dickins J. S. Thorp J. Mater. Sci. 1992 25 2267
- (1992) J. Mater. Sci. , vol.25 , pp. 2267
- Thompson, D.P.¹ Dickins, A.M.² Thorp, J.S.³

30
- 12344262408
- R. Mahapatra S. Maikap G. S. Kar S. K. Ray Solid-State Electron. 2005 49 449
- (2005) Solid-State Electron. , vol.49 , pp. 449
- Mahapatra, R.¹ Maikap, S.² Kar, G.S.³ Ray, S.K.⁴

31
- 33846070188
- Y. Gomeniuk A. Nazarov Y. Vovk Y. Lu O. Buiu S. Hall J. K. Efavi M. C. Lemme Mater. Sci. Semicond. Process. 2006 2 980
- (2006) Mater. Sci. Semicond. Process. , vol.2 , pp. 980
- Gomeniuk, Y.¹ Nazarov, A.² Vovk, Y.³ Lu, Y.⁴ Buiu, O.⁵ Hall, S.⁶ Efavi, J.K.⁷ Lemme, M.C.⁸

32
- 34547170628
- P. K. Hurley K. Cherkaoui S. McDonnell G. Hughes A. W. Groenland Microelectron. Reliab. 2006 47 1195
- (2006) Microelectron. Reliab. , vol.47 , pp. 1195
- Hurley, P.K.¹ Cherkaoui, K.² McDonnell, S.³ Hughes, G.⁴ Groenland, A.W.⁵

33
- 33644913105
- M. K. Bera S. Chakraborty S. Saha D. Paramanik S. Varma S. Bhattacharya C. K. Maiti Thin Solid Films 2005 504 183
- (2005) Thin Solid Films , vol.504 , pp. 183
- Bera, M.K.¹ Chakraborty, S.² Saha, S.³ Paramanik, D.⁴ Varma, S.⁵ Bhattacharya, S.⁶ Maiti, C.K.⁷

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.