Contribution of ions to the growth of amorphous, polymorphous, and microcrystalline silicon thin films

Journal of Applied Physics

Volumn 88, Issue 6, 2000, Pages 3674-3688

  Hamers, E A G ^a,b   Fontcuberta I Morral, A ^a   Niikura, C ^a   Brenot, R ^a   Roca I Cabarrocas, P ^a  

^a LABORATOIRE DE PHYSIQUE DES INTERFACES ET DES COUCHES MINCES   (France)

^b EINDHOVEN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001322657     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1289523     Document Type: Article

References (55)

1. J. Doyle, R. Robertson, G. H. Lin, M. Z. He, and A. Gallagher, J. Appl. Phys. 64, 3215 (1988).
2. B. Schröder and S. Bauer, J. Non-Cryst. Solids (to be published).
3. Ch. Hollenstein, W. Schwarzenbach, A. A. Howling, C. Courteille, J.-L. Dorier, and L. Sansonnens, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 535 (1996).
4. J. R. Doyle, D. A. Doughty, and A. Gallagher, J. Appl. Phys. 68, 4375 (1990).
5. R. A. Street, Phys. Rev. B 43, 2454 (1991).
6. A. Matsuda, Thin Solid Films 337, 1 (1999).
7. N. Layadi, P. Roca i Cabarrocas, B. Drévillon, and I. Solomon, Phys. Rev. B 52, 5136 (1995).
8. A. Matsuda, K. Nomoto, Y. Takeuchi, A. Suzuki, A. Yuuki, and J. Perrin, Surf. Sci. 227, 50 (1990).
9. M. C. M. van de Sanden, R. J. Severens, W. M. M. Kessels, R. F. G. Meulenbroeks, and D. C. Schram, J. Appl. Phys. 84, 2426 (1998).
10. G. N. Parsons, J. Non-Cryst. Solids (to be published).
11. B. Drévillon, J. Perrin, J. M. Siefert, J. Huc, A. Lloret, G. de Rosny, and J. P. M. Schmitt, Appl. Phys. Lett. 42, 801 (1983).
12. E. A. G. Hamers, W. G. J. H. M. van Sark, J. Bezemer, H. Meiling, and W. F. van der Weg, J. Non-Cryst. Solids 226, 205 (1998).
13. P. Roca i Cabarrocas, P. Morin, V. Chu, J. Conde, J. Z. Liu, H. R. Park, and S. Wagner, J. Appl. Phys. 69, 2942 (1991).
14. A. Matsuda, K. Kumagai, and K. Tanaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 22, L-34 (1983).
15. M. Kondo, M. Fukawa, L. Guo, and A. Matsuda, J. Non-Cryst. Solids (to be published).
16. R. J. Koval, J. Koh, Z. Lu, L. Jiao, R. W. Collins, and C. R. Wronski, Appl. Phys. Lett. 75, 1553 (1999).
17. P. Roca i Cabarrocas, S. Hamma, S. N. Sharma, J. Costa, and E. Bertran, J. Non-Cryst. Solids 227-230, 871 (1998).
18. E. A. G. Hamers, J. Bezemer, and W. F. van der Weg, Appl. Phys. Lett. 75, 609 (1999).
19. D. A. Doughty, J. R. Doyle, G. H. Lin, and A. Gallagher, J. Appl. Phys. 67, 6220 (1990).
20. W. M. M. Kessels, M. C. M. van de Sanden, R. J. Severens, and D. C. Schram, J. Appl. Phys. 87, 3313 (2000).
21. C. Hopf, T. Schwarz-Selinger, W. Jacob, and A. von keudell, J. Appl. Phys. 87, 2719 (2000).
22. P. Roca i Cabarrocas, J. B. Chévrier, J. Huc, A. Lloret, J. Y. Parey, and J. P. M. Schmitt, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2331 (1991).
23. A. R. Middya, J. Guillet, J. E. Bourée, and J. Perrin, Solid State Phenom. 51-52, 255 (1996).
24. S. C. Saha, J. Guillet, B. Equer, and J. E. Bourée, Thin Solid Films 337, 248 (1999).
25. D. A. G. Bruggeman, Ann. Phys. (Leipzig) 24, 636 (1935).
26. J. Macia, E. Martin, A. Pérez-Rodriguez, J. Jiménez, J. R. Morante, B. Aspar, and J. Margail, J. Appl. Phys. 82, 3730 (1997).
27. W. B. Jackson and N. Amer, Phys. Rev. B 25, 5559 (1982).
28. R. Brenot, P. Bulkin, P. Roca i Cabarrocas, B. Drévillon, and R. Vanderhaghen, J. Non-Cryst. Solids 227-230, 1001 (1998).
29. A. M. Brockhoff, E. H. C. Ullersma, H. Meiling, F. H. P. M. Habraken, and W. F. van der Weg, Appl. Phys. Lett. 73, 3244 (1998).
30. R. Tsu, J. Gonzales-Hernandez, S. S. Chao, S. C. Lee, and K. Tanaka, Appl. Phys. Lett. 40, 534 (1982).
31. J. Perrin, M. Shiratani, P. Kae-Nune, H. Videlot, J. Jolly, and J. Guillon, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 278 (1998).
32. P. Kae-Nune, J. Perrin, J. Guillon, and J. Jolly, Plasma Sources Sci. Technol. 4, 250 (1995).
33. Ch. Hollenstein, A. A. Howling, C. Courteille, J.-L. Dorier, L. Sansonnens, B. Magni, and H. Müller, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 507, 547 (1998).
34. W. M. M. Kessels, C. M. Leeuwis, M. C. M. van de Sanden, and D. C. Schramm, J. Appl. Phys. 86, 4029 (1999).
35. In order to take the collisions mathematically correctly into account, the integral in the second term of Eq. (1), which describes the ion contribution, should contain a factor exp(-r/λ). Here we made the approximation that r≈a.
36. J. Perrin, O. Leroy, and M. C. Bordage, Contrib. Plasma Phys. 36, 3 (1996).
37. E. Anastassakis, A. Pinczuk, E. Burstein, F. H. Pollak, and M. Cardona, Solid State Commun. 8, 133 (1970).
38. P. Roca i Cabarrocas, S. Hamma, S. N. Sharma, J. Costa, and E. Bertran, J. Non-Cryst. Solids 227-230, 871 (1998).
39. J. P. Kleider, C. Longeaud, M. Gauthier, M. Meaudre, R. Meaudre, R. Butté, S. Vignoli, and P. Roca i Cabarrocas, Appl. Phys. Lett. 75, 3351 (1999).
40. A. Fontcuberta i Morral, R. Brenot, E. A. G. Hamers, R. Vanderhaghen, and P. Roca i Cabarrocas, J. Non-Cryst. Solids (to be published).
41. I. An, Y. M. Li, C. R. Wronski, and R. W. Collins, Phys. Rev. B 48, 4464 (1993).
42. P. Kae-Nune, J. Perrin, J. Guillon, and J. Jolly, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4303 (1994).
43. P. Ho, W. G. Breiland, and R. J. Buss, J. Chem. Phys. 91, 2627 (1989).
44. M. Hertl and J. Jolly, J. Phys. D: Appl. Phys. 33, 381 (2000).
45. J. Perrin and T. Broekhuizen, Appl. Phys. Lett. 50, 433 (1987).
46. A. Matsuda and T. Goto, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 164, 3 (1990).
47. E. C. Molenbroek, A. H. Mahan, E. J. Johnson, and A. C. Gallagher, J. Appl. Phys. 79, 7278 (1996).
48. Low Energy Ion-Surface Interactions, edited by J. W. Rabalais (J. Wiley, Chichester, 1994).
49. A. Manenschijn and W. J. Goedheer, J. Appl. Phys. 69, 2923 (1991).
50. W. N. Allen, T. M. H. Cheng, and F. W. Lampe, J. Chem. Phys. 66, 3371 (1977).
51. G. J. Nienhuis, W. J. Goedheer, E. A. G. Hamers, W. G. J. H. M. van Sark, and J. Bezemer, J. Appl. Phys. 82, 2060 (1997).
52. W. J. Goedheer, private communication.
53. P. Roca i Cabarrocas, J. Non-Cryst. Solids 164-166, 37 (1993).
54. E. A. G. Hamers, PhD thesis, Utrecht University, the Netherlands (1998).
55. A. Bouchoule and P. Ranson, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 317 (1991).