Characterization of GaN single crystals by defect-selective etching

Physica Status Solidi C: Conferences

Volumn , Issue 3, 2003, Pages 821-826

  Weyher, J L ^a,b   MacHt, L ^b   Kamler, G ^a   Borysiuk, J ^a   Grzegory, I ^a  

^a INSTITUTE OF HIGH PRESSURE PHYSICS   (Poland)

^b RADBOUD UNIVERSITY NIJMEGEN   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEFECT-SELECTIVE ETCHING; ETCH HILLOCKS; ETCHING METHOD; INDENTATION METHOD; KOH SOLUTION; LOW-DISLOCATION DENSITY; MICRO-DEFECTS; PHOTO-ETCHING;

CALIBRATION; DEFECTS; EPITAXIAL GROWTH; ETCHING; GALLIUM NITRIDE; SEMICONDUCTOR MATERIALS;

SINGLE CRYSTALS;

EID: 84875096370     PISSN: 16101634     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1002/pssc.200306248     Document Type: Conference Paper

References (27)

1. S. Porowski, J. Cryst. Growth 166, 583 (1996).
2. I. Grzegory, J. Phys.: Condens. Matter 13, 6875 (2001).
3. I. Grzegory, M. Bockowski, S. Krukowski, B. Lucznik, M. Wroblewski, J. L. Weyher, M. Leszczynski, P. Prystawko, R. Czarnecki, J. Lehnert, G. Nowak, P. Perlin, H. Teisseyre, W. Purgal, W. Krupczynski, T. Suski, L. H. Dmowski, E. Litwin-Staszewska, C. Skierbiszewski, S. Lepkowski, and S. Porowski, Suppl. Acta Phys. Pol. A 100, 229 (2001).
4. M. Leszczynski, I. Grzegory, H. Teisseyre, T. Suski, M. Bockowski, J. Jun, J. M. Baranowski, S. Porowski, and J. Domagala, J. Cryst. Growth 169, 235 (1996).
5. P. Prystawko, M. Leszczynski, B. Beaumont, P. Gibart, E. Frassinet, W. Knap, P. Wisniewski, M. Bockowski, T. Suski, and S. Porowski, phys. stat. sol. (b) 210, 437 (1998).
6. P. Prystawko, M. Leszczynski, A. Sliwinski, H. Teisseyre, T. Suski, M. Bockowski, S. Porowski, J. Domagala, C. Kirchner, A. Pelzmann, M. Schauler, and M. Kamp, J. Cryst. Growth 198/199, 1061 (1999).
7. F. A. Ponce, D. P. Bour, W. Gotz, N. M. Johnson, H. I. Helava, I. Grzegory, J. Jun, and S. Porowski, Appl. Phys. Lett. 68, 917 (1996).
8. Z. Liliental-Weber, J. Washburn, K. Pakula, and J. Baranowski, Microsc. Microanal. 3, 436 (1997).
9. J. L. Weyher, P. D. Brown, A. R. A. Zauner, S. Muller, C. B. Boothroyd, D. T. Foord, P. R. Hageman, C. J. Humphreys, P. K. Larsen, I. Grzegory, and S. Porowski, J. Cryst. Growth, 204, 419 (1999).
10. M. Iwaya, T. Takeuchi, S. Yamaguchi, Ch. Wetzel, H. Amano and I. Akasaki, Jpn. J. Appl. Phys. 37, L316 (1998).
11. J. L. Weyher, P. D. Brown, J. L. Rouviere, T. Wosinski, A. R. A. Zauner, and I. Grzegory, J. Cryst. Growth 210, 151 (2000).
12. C. Youtsey, L. T. Romano, and I. Adesida, Appl. Phys. Lett. 73, 797 (1998).
13. J. L. Weyher, F. D. Tichelaar, H. W. Zandbergen, L. Macht, and P. R. Hageman, J. Appl. Phys. 90, 6105 (2001).
14. J. L. Weyher, L. Macht, F. D. Tichelaar, H. W. Zandbergen, P. R. Hageman, and P. K. Larsen, Mater. Sci. Eng. B 91-92, 280 (2002).
15. G. Kamler, J. L. Weyher, I. Grzegory, E. Jezierska, and T. Wosinski, J. Cryst. Growth 246, 21 (2002).
16. J. L. Weyher, M. Albrecht, T. Wosinski, G. Nowak, H. P. Strunk, and S. Porowski, Mater. Sci. Eng. B 80, 318 (2001).
17. T. Kozawa, T. Kachi, T. Ohwaki, Y. Taga, N. Koide, and M. Koike, J. Electrochem. Soc., 143, L17 (1996).
18. C. Youtsey, I. Adesida, and G. Bulman, Appl. Phys. Lett. 71, 2151 (1997).
19. C. Youtsey, L. T. Romano, R. J. Molnar, and I. Adesida, Appl. Phys. Lett. 74, 3537 (1999).
20. G. Nowak, X. H. Xia, J. J. Kelly, J. L. Weyher. and S. Porowski, J. Cryst. Growth 222, 735 (2001).
21. F. Karouta, B. Jacobs, I. Moerman, C. Jacobs, J. L. Weyher, G. Nowak, R. Crane, and P. Hageman, Mater. Res. Soc. Symp. 595, W11.76. (2000).
22. S. H. Hong, T. Yao, B. J. Kim, S. Y. Yoon, and T. I. Kim, Appl. Phys. Lett. 77, 82 (2000).
23. K. Shiojima, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 37 (2000).
24. I. Grzegory, J. A. Kozubowski, J. Borysiuk, J. L. Weyher, M. Bockowski, B. Lucznik, and S. Porowski, phys. stat. sol. (b) 216, 537 (1999).
25. Z. Liliental-Weber, M. Benamara, W. Swider, J. Washburn, I. Grzegory, S. Porowski, R. D. Dupuis, and C. J. Eiting, Physica B 273-274, 124 (1999).
26. P. Visconti, K. M. Jones, M. A. Reshchikov, R. Cingolani, H. Morkoc, and R. J. Molnar, Appl. Phys. Lett. 77, 3532 (2000).
27. P. Visconti, D. Huang, M. A. Reshchikov, F. Yun, R. Cingolani, D. J. Smith, J. Jasinski, W. Swider, Z. Liliental-Weber, and H. Morkoc, Mater. Sci. Eng. B 93, 229 (2002).