Charge trapping behavior in organic-inorganic alloy films grown by molecular layer deposition from trimethylaluminum, p-phenylenediamine and water

Journal of Materials Chemistry

Volumn 22, Issue 45, 2012, Pages 23935-23943

  Zhou, Wenhao ^a   Leem, Jina ^a   Park, Inhye ^a   Li, Yinshi ^a   Jin, Zhenyu ^a   Min, Yo Sep ^a  

^a Konkuk University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALLOY FILM; CHARGE TRAPPING MEMORIES; GROWTH MECHANISMS; HYBRID FILM; HYBRID LAYER; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; ORGANIC MOIETY; ORGANIC-INORGANIC; ORGANIC-INORGANIC HYBRID; ORGANIC-INORGANIC HYBRID FILMS; P-PHENYLENE DIAMINES; STABILITY PROBLEM; STRUCTURAL FLEXIBILITIES; SUB-CYCLE; SUBCYCLES; TRAPPING ABILITY; TRIMETHYLALUMINUM;

ATOMIC LAYER DEPOSITION; CHARGE TRAPPING; DIELECTRIC PROPERTIES; FUNCTIONAL MATERIALS; LEAKAGE CURRENTS;

METALLIC FILMS;

EID: 84868159726     PISSN: 09599428     EISSN: 13645501     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c2jm35553a     Document Type: Article

References (56)

1. S. M. George Chem. Rev. 2010 110 111
2. T. Suntola J. Antson A. Pakkala S. Lindfors SID 80 Dig. 1980 11 108
3. T. Suntola J. Hyvarinen Annu. Rev. Mater. Sci. 1985 15 177
4. S. M. George B. Yoon A. A. Dameron Acc. Chem. Res. 2009 42 498
5. T. Yoshimura S. Tatsuura W. Sotoyama Appl. Phys. Lett. 1991 59 482
6. T. Bitzer N. V. Richardson Appl. Phys. Lett. 1997 71 662
7. A. Kim M. A. Filler S. Km S. F. Bent J. Am. Chem. Soc. 2005 127 6123
8. Y. Du S. M. George J. Phys. Chem. C 2007 111 8509
9. M. Putkonen J. Harjuoja T. Sajavaara L. Niinisto J. Mater. Chem. 2007 17 664
10. N. M. Adamczyk A. A. Dameron S. M. George Langmuir 2008 24 2081
11. A. A. Dameron D. Seghete B. B. Burton S. D. Davidson A. S. Cavanagh J. A. Bertrand S. M. George Chem. Mater. 2008 20 3315
12. Q. Peng B. Gong R. M. VanGundy G. N. Parsons Chem. Mater. 2009 21 820
13. B. Yoon J. L. O'Patchen D. Seghete A. S. Cavanagh S. M. George Chem. Vap. Deposition 2009 15 112
14. S. M. George B. H. Lee B. Yoon A. I. Abdulagatov R. A. Hall J. Nanosci. Nanotechnol. 2011 11 7948
15. R. A. Hall, A. I. Abdulagatov and S. M. George, in AVS 58th Annual International Symposium and Exhibition, AVS, Nashville, Tennessee, Chico CA, October 30-November 4, 2011
16. D. B. Mitzi Chem. Mater. 2001 13 3283
17. B. H. Lee M. K. Ryu S. Y. Choi K. H. Lee S. Im M. M. Sung J. Am. Chem. Soc. 2007 129 16034
18. B. Yoon D. Seghete A. S. Cavanagh S. M. George Chem. Mater. 2009 21 5365
19. B. H. Lee K. K. Im K. H. Lee S. Im M. M. Sung Thin Solid Films 2009 517 4056
20. P. W. Loscutoff H. Zhou S. B. Clendenning S. F. Bent ACS Nano 2010 4 331
21. A. Sood P. Sundberg J. Malm M. Karppinen Appl. Surf. Sci. 2011 257 6435
22. Y. Lee B. Yoon A. S. Cavanagh S. M. George Langmuir 2011 27 15155
23. X. Liang M. Yu J. Li Y. B. Jiang A. W. Weimer Chem. Commun. 2009 7140
24. B. Yoon Y. Lee A. Derk C. B. Musgrave S. M. George ECS Trans. 2011 33 191
25. C. Y. Kao J. W. Yoo Y. Min A. J. Epstein ACS Appl. Mater. Interfaces 2012 4 137
26. T. Yoshimura C. Yoshino K. Sasaki T. Sato M. Seki IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 2011 18 1192
27. H. Zhou S. F. Bent ACS Appl. Mater. Interfaces 2011 3 505
28. B. H. Lee B. Yoon V. R. Anderson S. M. George J. Phys. Chem. C 2012 116 3250
29. Y. S. Min I. P. Asanov C. S. Hwang Electrochem. Solid-State Lett. 2006 9 G231
30. S. K. Kim G. J. Choi S. Y. Lee M. Seo S. W. Lee J. H. Han H. S. Ahn S. Han C. S. Hwang Adv. Mater. 2008 20 1429
31. M. Halik H. Klauk U. Zschieschang G. Schmid C. Dehm M. Schutz S. Maisch F. Effenberger M. Brunnbauer F. Stellacci Nature 2004 431 963
32. H. Klauk U. Zschieschang J. Pflaum M. Halik Nature 2007 445 745
33. A. A. Virkar S. Mannsfeld Z. Bao N. Stingelin Adv. Mater. 2010 22 3857
34. B. H. Lee K. H. Lee S. Im M. M. Sung J. Nanosci. Nanotechnol. 2009 9 6962
35. Y. Park K. S. Han B. H. Lee S. Cho K. H. Lee S. Im M. M. Sung Org. Electron. 2011 12 348
36. M. E. Thomas and W. J. Tropf, in Handbook of Optical Constants of Solids, ed., E. D. Palik, Academic Press, San Diego, CA, 1998, p. 653
37. G. E. Jellison, Jr. F. A. Modine Appl. Phys. Lett. 1996 69 371
38. B. E. Deal A. S. Grove J. Appl. Phys. 1965 36 3770
39. G. Beamson and D. Briggs, High Resolution XPS of Organic Polymers: The Scienta ESCA 300 Database, John Wiley and Sons, Chichester, UK, 1992
40. D. Briggs, Surface Analysis of Polymers by XPS and Static SIMS, Cambridge University Press, Cambridge, UK, 1998
41. C. H. Schmitz M. Schmid S. Gartner H. P. Steinruck J. M. Gottfried M. Sokolowski J. Phys. Chem. C 2011 115 18186
42. P. W. Wang J. C. Hsu Y. H. Lin H. L. Chen Appl. Surf. Sci. 2010 256 4211
43. P. W. Wang J. C. Hsu Y. H. Lin H. L. Chen Surf. Interface Anal. 2011 43 1089
44. J. B. Kim D. R. Kwon K. Chakrabarti C. Lee K. Y. Oh J. H. Lee J. Appl. Phys. 2002 92 6739
45. M. D. Groner J. W. Elam F. H. Fabreguette S. M. George Thin Solid Films 2002 413 186
46. Y. S. Min Y. J. Cho C. S. Hwang Chem. Mater. 2005 17 626
47. S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, John Wiley and Sons, New Jersey, 3rd edn, 2007, p. 197
48. D. K. Schroder, Semiconductor Material and Device Characterization, John Wiley and Sons, New Jersey, 3rd edn, 2006, p. 319
49. D. R. Lide, CRC Handbook of Chemistry and Physics, CRC Press, Boca Ranton, Fl, 86th edn, 2004, pp. 12-114
50. T. Hori, Gate Dielectrics and MOS ULSIs, Springer, Berlin, 1997, p. 23
51. D. H. Lee H. D. Jeong J. Phys. Chem. C 2008 112 16984
52. S. Yoshida T. Ono M. Esashi Nanotechnology 2011 22 335302
53. P. C. Y. Chen IEEE Trans. Electron Devices 1977 ED-24 584
54. K. S. Seol K. S. Cho B. K. Kim J. Y. Choi K. E. Lee Y. S. Min J. B. Park S. H. Choi J. Korean Phys. Soc. 2007 50 49
55. A. J. Hong E. B. Song H. S. Yu M. J. Allen J. Kim J. D. Fowler J. K. Wassei Y. Park Y. Wang J. Zou R. B. Kaner B. H. Weiller K. L. Wang ACS Nano 2011 5 7812
56. J. K. Choi S. Jang K. J. Kim H. Sohn H. D. Jeong J. Am. Chem. Soc. 2011 133 7764