Supercritical fluid chemical deposition as an alternative process to CVD for the surface modification of materials

Chemical Vapor Deposition

Volumn 17, Issue 10-12, 2011, Pages 342-352

  Majimel, Mélanie ^a   Marre, Samuel ^a   Garrido, Elsa ^a   Aymonier, Cyril ^a  

^a UNIVERSITÉ DE BORDEAUX   (France)

Author keywords

Chemical deposition; Nanomaterials; Supercritical fluids; Surface modification

Indexed keywords

ALTERNATIVE PROCESS; CHEMICAL DEPOSITION; FLUID CHEMICALS; METAL DEPOSITION; NANO-STRUCTURED; PALLADIUM NANOPARTICLES; PLATING TECHNIQUE; SUPER-CRITICAL;

CARBON NANOTUBES; CHEMICAL MODIFICATION; EFFLUENT TREATMENT; NANOSTRUCTURES; PALLADIUM; SUPERCRITICAL FLUIDS; SURFACE TREATMENT; SURFACES;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION;

EID: 83755221162     PISSN: 09481907     EISSN: 15213862     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/cvde.201106921     Document Type: Article

References (76)

1. F. Cansell, C. Aymonier, J. Supercrit. Fluids 2009, 47, 508.
2. A. H. Romang, J. J. Watkins, Chem. Rev. 2010, 110, 459.
3. N. Kapucu, A. Guvenc, U. Mehmetoglu, A. Calimli, Rev. Chem. Eng. 1999, 15, 233;, J. M. Del Valle, J. C. De La Fuente, Crit. Rev. Food Sci. Nutr. 2006, 46, 131;, F. Sahena, I. S. M. Zaidul, S. Jinap, A. A. Karim, K. A. Abbas, N. A. N. Norulaini, A. K. M. Omar, J. Food Eng. 2009, 95, 240.
4. M. D. Bermejo, M. J. Cocero, AIChE J. 2006, 52, 3933.
5. A. Loppinet-Serani, C. Aymonier, F. Cansell, Chemsuschem 2008, 1, 486.
6. A. Loppinet-Sérani, C. Aymonier, F. Cansell, J. Chem. Technol. Biotechnol. 2010, 85, 583.
7. P. E. Savage, Chem. Rev. s 1999, 99, 603.
8. P. Stephenson, P. Licence, S. K. Ross, M. Poliakoff, Green Chem. 2004, 6, 521;, M. Chatterjee, A. Chatterjee, P. Raveendran, Y. Ikushima, Green Chem. 2006, 8, 445.
9. P. Munshi, S. Bhaduri, Curr. Sci. 2009, 97, 63;, H. Weingartner, E. U. Franck, Angew. Chem. Int. Ed. 2005, 44, 2672.
10. K. P. Johnston, S. R. P. da Rocha, J. Supercrit. Fluids 2009, 47, 523.
11. C. Aymonier, A. Loppinet-Serani, H. Reveron, Y. Garrabos, F. Cansell, J. Supercrit. Fluids 2006, 38, 242.
12. E. Reverchon, J. Supercrit. Fluids 1999, 15, 1;, E. Reverchon, R. Adami, G. Caputo, I. De Marco, J. Supercrit. Fluids 2008, 47, 70.
13. S. Marre, F. Cansell, C. Aymonier, Langmuir 2008, 24, 252.
14. S. K. Ray, C. K. Maiti, S. K. Lahiri, N. B. Chakrabarti, Adv. Mater. Opt. Electron. 1996, 6, 73.
15. J. Y. T. Chen, R. C. Henderson, J. T. Hall, J. W. Peters, J. Electrochem. Soc. 1984, 131, 2146.
16. G. H. Shang, M. J. HampdenSmith, E. N. Duesler, Chem.l Commun. 1996, 1733;, H. B. Wang, C. R. Xia, G. Y. Meng, D. K. Peng, Mater. Lett. 2000, 44, 23.
17. T. A. Polley, W. B. Carter, D. B. Poker, Thin Solid Films 1999, 357, 132;, H. M. Yates, L. A. Brook, D. W. Sheel, I. B. Ditta, A. Steele, H. A. Foster, Thin Solid Films 2008, 517, 517;, H. Y. Xie, G. L. Gao, Z. Tian, N. Bing, L. J. Wang, Particuology 2009, 7, 204.
18. H. Itoh, M. Hatanaka, M. Hirayama, T. Matsukawa, J. Electrochem. Soc. 1987, 134, C455;, E. G. Salman, A. N. Korshunov, L. A. Borisova, Phys. Status Solidi A-Appl. Res. 1995, 149, K25.
19. S. Marre, F. Cansell, C. Aymonier, Nanotechnol. 2006, 17, 4594.
20. E. T. Hunde, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2004, 16, 498.
21. X. Y. Shan, D. P. Schmidt, J. J. Watkins, J. Supercritic. Fluids 2007, 40, 84.
22. S. Moisan, J. D. Marty, F. Cansell, C. Aymonier, Chem. Commun. 2008, 1428.
23. K. L. Choy, Prog. Mater. Sci. 2003, 48, 57.
24. N. S. Borgharkar, G. L. Griffin, H. Fan, A. W. Maverick, J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 1041.
25. A. E. Kaloyeros, B. Zheng, I. S. Lou, J. Lau, J. W. Hellgeth, Thin Solid Films 1995, 262, 20.
26. J. A. Bertrand, R. I. Kaplan, Inorg. Chem. 1966, 5, 489.
27. P. Doppelt, T. H. Baum, MRS Bull. 1994, 19, 41.
28. C. M. Chiang, T. M. Miller, L. H. Dubois, J. Phys. Chem. 1993, 97, 11781.
29. N. S. Borgharkar, G. L. Griffin, A. James, A. W. Maverick, Thin Solid Films 1998, 320, 86.
30. A. Cabanas, X. Y. Shan, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2003, 15, 2910.
31. M. Tiitta, L. Niinisto, Chem. Vap. Deposition 1997, 3, 167;, A. Grodzicki, I. Lakomska, P. Piszczek, I. Szymanska, E. Szlyk, Coord. Chem. Rev. 2005, 249, 2232.
32. C. L. Lin, P. S. Chen, Y. C. Lin, B. Y. Tsui, M. C. Chen, J. Electrochem. Soc. 2003, 150, C451.
33. V. Bhaskaran, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, Chem. Vap. Deposition 1997, 3, 85.
34. J. J. Watkins, J. M. Blackburn, T. J. McCarthy, Chem. Mater. 1999, 11, 213.
35. J. M. Blackburn, D. P. Long, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2000, 12, 2625.
36. A. O'Neil, J. J. Watkins, MRS Bull. 2005, 30, 967.
37. A. Cabanas, D. P. Long, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2004, 16, 2028.
38. J. M. Blackburn, J. Gaynor, J. Drewery, E. Hunde, J. J. Watkins, in Advanced Metallization Conf. 2003 (Eds:, G. W. Ray, T. Smy, T. Ohta, M. Tsujimura,), 2004, pp. 601-605.
39. J. M. Blackburn, D. P. Long, A. Cabanas, J. J. Watkins, Science 2001, 294, 141.
40. A. Cabanas, J. M. Blackburn, J. J. Watkins, Microelectron. Eng. 2002, 64, 53;, Y. F. Zong, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2005, 17, 560.
41. A. O'Neil, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2006, 18, 5652.
42. A. O'Neil, J. J. Watkins, Advanced metallization conference 2006 (AMC 2006) 2007, 233.
43. A. O'Neil, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2007, 19, 5460.
44. V. Pessey, R. Garriga, F. Weill, B. Chevalier, J. Etourneau, F. Cansell, Ind. Eng. Chem. Res. 2000, 39, 4714;, V. Pessey, D. Mateos, F. Weill, F. Cansell, J. Etourneau, B. Chevalier, J. Alloys Compd 2001, 323, 412.
45. C. Aymonier, C. Elissalde, H. Reveron, F. Weill, M. Maglione, F. Cansell, J. Nanosci. Nanotechnol. 2005, 5, 980.
46. G. M. An, W. H. Ma, Z. Y. Sun, Z. M. Liu, B. X. Han, S. D. Miao, Z. J. Miao, K. L. Ding, Carbon 2007, 45, 1795;, Z. Y. Sun, X. R. Zhang, B. X. Han, Y. Y. Wu, G. M. An, Z. M. Liu, S. D. Miao, Z. J. Miao, Carbon 2007, 45, 2589.
47. A. M. Boies, J. T. Roberts, S. L. Girshick, B. Zhang, T. Nakamura, A. Mochizuki, Nanotechnology 2009, 20, 296604.
48. H. M. Cao, G. J. Huang, S. F. Xuan, Q. F. Wu, F. Gu, C. Z. Li, J. Alloys Compd. 2008, 448, 272.
49. R. A. Pai, R. Humayun, M. T. Schulberg, A. Sengupta, J. N. Sun, J. J. Watkins, Science 2004, 303, 507;, R. A. Pai, J. J. Watkins, Adv. Mater. 2006, 18, 241;, V. R. Tirumala, R. A. Pai, S. Agarwal, J. J. Testa, G. Bhatnagar, A. H. Romang, C. Chandler, B. P. Gorman, R. L. Jones, E. K. Lin, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2007, 19, 5868;, J. P. Hanrahan, M. P. Copley, K. J. Ziegler, T. R. Spalding, M. A. Morris, D. C. Steytler, R. K. Heenan, R. Schweins, J. D. Holmes, Langmuir 2005, 21, 4163.
50. Y. Wang, Z. M. Liu, B. X. Han, Z. Y. Sun, J. M. Du, J. L. Zhang, T. Jiang, W. Z. Wu, Z. J. Miao, Chem. Commun. 2005, 2948.
51. Z. J. Miao, K. L. Ding, T. B. Wu, Z. M. Liu, B. X. Han, G. M. An, S. D. Miao, G. Y. Yang, Microporous Mesoporous Mater. 2008, 111, 104.
52. S. Marre, A. Erriguible, A. Perdomo, F. Cansell, F. Marias, C. Aymonier, J. Phys. Chem. C 2009, 113, 5096.
53. Y. Zhang, C. Erkey, J. Supercrit. Fluids 2006, 38, 252.
54. A. Denis, E. Sellier, C. Aymonier, J. L. Bobet, J. Alloys Compd. 2009, 476, 152;, C. Aymonier, A. Denis, Y. Roig, M. Iturbe, E. Sellier, S. Marre, F. Cansell, J. L. Bobet, J. Supercrit. Fluids 2010, 53, 102.
55. Y. Zhang, B. Cangul, Y. Garrabos, C. Erkey, J. Supercrit. Fluids 2008, 44, 71.
56. C. D. Saquing, D. Kang, M. Aindow, C. Erkey, Microporous Mesoporous Mater. 2005, 80, 11;, Y. Zhang, D. F. Kang, M. Aindow, C. Erkey, J. Phys. Chem. B 2005, 109, 2617.
57. A. Bayrakceken, U. Kitkamthorn, M. Aindow, C. Erkey, Scr. Mater. 2007, 56, 101.
58. B. Cangul, L. C. Zhang, M. Aindow, C. Erkey, J. Supercrit. Fluids 2009, 50, 82;, S. D. Miao, C. L. Zhang, Z. M. Liu, B. X. Han, Y. Xie, S. F. Ding, Z. Z. Yang, J. Phys. Chem. C 2008, 112, 774;, M. Chatterjee, Y. Ikushima, Y. Hakuta, H. Kawanami, Adv. Synth. Catal. 2006, 348, 1580.
59. C. Erkey, J. Supercrit. Fluids 2009, 47, 517.
60. L. D. Wang, G. L. Griffin, J. Electrochem. Soc. 2006, 153, C137.
61. V. G. Courtecuisse, J. F. Bocquet, K. Chhor, C. Pommier, J. Supercrit. Fluids 1996, 9, 222.
62. P. Lalanne, J. M. Andanson, J.-C. Soetens, T. Tassaing, Y. Danten, M. Besnard, J. Phys. Chem. A 2004, 108, 3902;, M. I. Cabaco, Y. Danten, T. Tassaing, S. Longelin, A. Besnard, Chem. Phys. Lett. 2005, 413, 258;, P. Lalanne, T. Tassaing, Y. Danten, F. Cansell, S. C. Tucker, M. Besnard, J. Phys. Chem. A 2004, 108, 2617.
63. E. G. Gamaly, T. W. Ebbesen, Phys. Rev. B 1995, 52, 2083.
64. M. Yudasaka, F. Kokai, K. Takahashi, R. Yamada, N. Sensui, T. Ichihashi, S. Iijima, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 3576;, T. Guo, P. Nikolaev, A. Thess, D. T. Colbert, R. E. Smalley, Chem. Phys. Lett. 1995, 243, 49.
65. M. Kumar, Y. Ando, J. Nanosci. Nanotechnol. 2010, 10, 3739.
66. R. H. Baughman, A. A. Zakhidov, W. A. de Heer, Science 2002, 297, 787.
67. S. Banerjee, T. Hemraj-Benny, S. S. Wong, Adv. Mater. 2005, 17, 17.
68. E. Carreno-Morelli, J. Yang, E. Couteau, K. Hernadi, J. W. Seo, C. Bonjour, L. Forro, R. Schaller, Phys. Status Solidi (A) 2004, 201, R53;, H. L. Zhuang, G. P. Zheng, A. K. Soh, Comput. Mater. Sci. 2008, 43, 823. W. M. Daoush, B. K. Lim, C. B. Mo, D. H. Nam, S. H. Hong, Mater. Sci. Eng. A 2009, 513-14, 247;, C. B. Mo, S. I. Cha, K. T. Kim, K. H. Lee, S. H. Hong, Mater. Sci. Eng. A 2005, 395, 124.
69. W. J. Xia, L. J. Meng, L. Liu, Q. H. Lu, Prog. Chem. 2010, 22, 2298;, G. M. An, P. Yu, L. Q. Mao, Z. Y. Sun, Z. M. Liu, S. D. Miao, Z. J. Miao, K. L. Ding, Carbon 2007, 45, 536;, A. Bayrakceken, A. Smirnova, U. Kitkamthorn, M. Aindow, L. Turker, I. Eroglu, C. Erkey, J. Power Sources 2008, 179, 532;, V. Lordi, N. Yao, J. Wei, Chem. Mater. 2001, 13, 733.
70. H. J. Jiang, Y. Zhao, H. Yang, D. L. Akins, Mater. Chem. Phys. 2009, 114, 879.
71. X. R. Ye, Y. H. Lin, C. M. Wang, M. H. Engelhard, Y. Wang, C. M. Wai, J. Mater. Chem. 2004, 14, 908.
72. Y. H. Lin, X. L. Cui, C. H. Yen, C. M. Wai, Langmuir 2005, 21, 11474.
73. R. Q. Yu, L. W. Chen, Q. P. Liu, J. Y. Lin, K. L. Tan, S. C. Ng, H. S. O. Chan, G. Q. Xu, T. S. A. Hor, Chem. Mater. 1998, 10, 718;, N. N. Kariuki, J. Luo, M. M. Maye, S. A. Hassan, T. Menard, H. R. Naslund, Y. H. Lin, C. M. Wang, M. H. Engelhard, C. J. Zhong, Langmuir 2004, 20, 11240;, A. M. Showkat, K. P. Lee, A. I. Gopalan, S. H. Choi, Y. C. Nho, Diamond Relat. Mater. 2007, 16, 1688;, B. Xue, P. Chen, Q. Hong, J. Y. Lin, K. L. Tan, J. Mater. Chem. 2001, 11, 2378.
74. J. P. Cheng, X. B. Zhang, Y. Ye, J. Solid State Chem. 2006, 179, 91.
75. Z. M. Liu, B. X. Han, Adv. Mater. 2009, 21, 825.
76. X. R. Ye, Y. H. Lin, C. M. Wai, Chem. Commun. 2003, 642;, Y. H. Lin, X. L. Cui, X. R. Ye, Electrochem. Commun. 2005, 7, 267.