Arrays of Silicon Micro/Nanostructures Formed in Suspended Configurations for Deterministic Assembly Using Flat and Roller-Type Stamps

Small

Volumn 7, Issue 4, 2011, Pages 484-491

  Yang, Yumi ^a   Hwang, Youngkyu ^a   Cho, Hyun A ^a   Song, Jung Hoon ^a   Park, Seong Ju ^a   Rogers, John A ^b   Ko, Heung Cho ^a  

^a Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)   (South Korea)

^b United States of America   (United States)

Author keywords

elastomeric transfer; perimeter pedestal; poly(dimethylsiloxane) stamp; roll printing; silicon micro nanostructures

Indexed keywords

CYLINDRICAL ROLLERS; DEVICE ENGINEERING; ELASTOMERIC TRANSFER; INORGANIC SEMICONDUCTORS; LARGE ARRAYS; MICRO/NANOSTRUCTURES; PERIMETER PEDESTAL; PRINTING CAPABILITIES; PRINTING TECHNIQUES; ROLL PRINTING; SIMPLE METHOD; SINGLE CRYSTALLINE SILICON; THIN SHEET;

CRYSTALLINE MATERIALS; CYLINDERS (SHAPES); PRINTING; ROLLERS (MACHINE COMPONENTS);

MONOCRYSTALLINE SILICON;

BAYSILON; DIMETICONE; NANOMATERIAL; SILICON;

ARTICLE; CHEMISTRY; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY;

DIMETHYLPOLYSILOXANES; NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; SILICON;

EID: 79952307332     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.201001633     Document Type: Article

References (42)

1. a) M. C. McAlpine, R. S. Friedman, S. Jin, K. Lin, W. U. Wang, C. M. Lieber, Nano Lett. 2003, 3, 1531
2. b) X. Duan, C. Niu, V. Sahi, J. Chen, J. W. Parce, S. Empedocles, J. L. Goldman, Nature 2003, 425, 274
3. c) M. C. McAlpine, R. S. Friedman, C. M. Lieber, Proc. IEEE 2005, 93, 1357
4. d) Z. Fan, J. C. Ho, Z. A. Jacobson, R. Yerushalmi, R. L. Alley, H. Razavi, A. Javey, Nano Lett. 2008, 8, 20
5. e) S. A. Fortuna, J. Wen, I. S. Chun, X. Li, Nano Lett. 2008, 8, 4421
6. f) B. P. Timko, T. Cohen-Karni, G. Yu, Q. Qing, B. Tian, C. M. Lieber, Nano Lett. 2009, 9, 914.
7. a) M. Konagai, M. Sugimoto, K. Takahashi, J. Cryst. Growth 1978, 45, 277
8. b) A. van Geelen, P. R. Hageman, G. J. Bauhuis, P. C. van Rijsingen, P. Schmidt, L. J. Giling, Mater. Sci. Eng. B 1997, 45, 162
9. c) J. J. Schermer, P. Mulder, G. J. Bauhuis, P. K. Larsen, G. Oomen, E. Bongers, Prog. Photovolt: Res. Appl. 2005, 13, 587
10. d) K.-T. Shiu, J. Zimmerman, H. Wang, S. R. Forrest, Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 223503
11. e) K. Lee, K.-T. Shiu, J. D. Zimmerman, C. K. Renshaw, S. R. Forrest, Appl. Phys. Lett. 2010, 97, 101107
12. f) J. Yoon, S. Jo, I. S. Chun, I. Jung, H.-S. Kim, M. Meitl, E. Menard, X. Li, J. J. Coleman, U. Paik, J. A. Rogers, Nature 2010, 465, 329.
13. a) E. Menard, K. J. Lee, D.-Y. Khang, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 5398
14. b) E. Menard, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 093507
15. c) K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 2005, 17, 2332
16. d) D.-Y. Khang, H. Jiang, Y. Huang, J. A. Rogers, Science 2006, 311, 208
17. e) H.-C. Yuan, Z. Ma, M. M. Roberts, D. E. Savage, M. G. Lagally, J. Appl. Phys. 2006, 100, 013708
18. f) H.-C. Yuan, Z. Ma, Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 212105
19. g) H.-C. Yuan, G. K. Celler, Z. Ma, J. Appl. Phys. 2007, 102, 034501
20. h) H.-C. Yuan, G. Qin, G. K. Celler, Z. Ma, Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 043109
21. i) G. Qin, H.-C. Yuan, G. K. Celler, W. Zhou, Z. Ma, J. Phys. D: Appl. Phys. 2009, 42, 234006
22. j) A. Ghaffari, A. Hosseini, X. Xu, D. Kwong, H. Subbaraman, R. T. Chen, Opt. Express 2010, 18, 20086.
23. a) G. Ensell, J. Micromech. Microeng. 1995, 5, 1
24. b) B. C. S. Chou, C.-N. Chen, J.-S. Shie, Sens. Actuator. AâPhys. 1999, 75, 271
25. c) S. Lee, S. Park, D. Cho, J. Microelectromech. Syst. 1999, 8, 409
26. d) S. Mack, M. A. Meitl, A. J. Baca, Z.-T. Zhu, J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 213101
27. e) H. C. Ko, A. J. Baca, J. A. Rogers, Nano Lett. 2006, 6, 2318
28. f) S.-K. Lee, H. Jang, M. Hasan, J. B. Koo, J.-H. Ahn, Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 173501.
29. a) Y. Sun, J. A. Rogers, Nano Lett. 2004, 4, 1953
30. b) Y. Sun, D.-Y. Khang, F. Hua, K. Hurley, R. G. Nuzzo, J. A. Roger, Adv. Funct. Mater. 2005, 15, 30
31. c) W. Yang, H. Yang, G. Qin, Z. Ma, J. Berggren, M. Hammar, R. Soref, W. Zhou, Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 121107.
32. M. A. Meitl, Z.-T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Nat. Mater. 2006, 5, 33.
33. a) W. Zhou, Y. Huang, E. Menard, N. R. Aluru, J. A. Rogers, A. G. Alleyne, Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 251925
34. b) Y. Y. Huang, W. Zhou, K. J. Hsia, E. Menard, J.-U. Park, J. A. Rogers, A. G. Alleyne, Langmuir 2005, 21, 8058.
35. a) U. Gösele, Q.-Y. Tong, Annu. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 215
36. b) J. Haisma, G. A. C. M. Spierings, Mater. Sci. Eng. R 2002, 37, 1.
37. a) R. Yerushalmi, Z. A. Jacobson, J. C. Ho, Z. Fan, A. Javey, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 203104
38. b) S. H. Ahn, L. J. Guo, Adv. Mater. 2008, 20, 2044
39. c) S. Tawfick, K. OBrien, A. J. Hart, Small 2009, 5, 2467
40. d) S. Bae, H. Kim, Y. Lee, X. Xu, J.-S. Park, Y. Zheng, J. Balakrishnan, T. Lei, H. R. Kim, Y. I. Song, Y.-J. Kim, K. S. Kim, B. Özyilmaz, J.-H. Ahn, B. H. Hong, S. Iijima, Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 574.
41. Z.-T. Zhu, E. Menard, K. Hurley, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 133507.
42. U. Mescheder, B. Müller, S. Baborie, P. Urbanovic, J. Micromech. Microeng. 2009, 19, 094003.