ToF-SIMS study of pulsed laser melting energy density on Ti implanted Si for intermediate band

Materials Research Society Symposium Proceedings

Volumn 1210, Issue , 2010, Pages 257-262

  Olea, Javier ^a   Pastor, David ^a   Måtil, Ignacio ^a   González Díaz, Germán ^a  

^a UNIVERSIDAD COMPLUTENSE DE MADRID   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIFFERENT EFFECTS; ENERGY DENSITY; HIGH DOSE; IMPLANTED LAYERS; IMPURITY PROFILE; INTERMEDIATE BANDS; LASER MELTING; MAXIMUM PEAKS; PULSED LASER; TOF SIMS;

ANNEALING; IMPURITIES; MELTING; SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY; SNOW;

PULSED LASERS;

EID: 78650339286     PISSN: 02729172     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (31)

1. G. F. Brown and J. Wu, Laser & Photon. Rev. 3, 394 (2009).
2. A. Luque and A. Marti, Phys. Rev. Lett. 78, 5014 (1997).
3. K. M. Yu, W. Walukiewicz, J. Wu, W. Shan, J. W. Beeman, M. A. Scarpulla, O. D. Dubon, and P. Becla, Phys. Rev. Lett. 91, 246403 (2003).
4. K. M. Yu, W. Walukiewicz, J. Wu, W. Shan, M. A. Scarpulla, O. D. Dubon, J. W. Beeman, and P. Becla, Phys. Stat. Sol. (b) 241, 660 (2004).
5. K. M. Yu, W. Walukiewicz, J. W. Ager III, D. Bour, R. Farshchi, O. D. Dubon, S. X. Li, I. D. Sharp, and E. E. Haller, Appl. Phys. Lett. 88, 092110 (2006).
6. P. Palacios, J. J. Fernández, K. Sánchez, J. C. Conesa, and P. Wahnón, Phys. Rev. B 73, 085206 (2006).
7. A. Martí, N. López, E. Antolín, E. Cánovas, C. Stanley, C. Farmer, L. Cuadra, and A. Luque, Thin Solid Films 511 - 512, 638 (2006).
8. P. Palacios, K. Sánchez, J. C. Conesa, J. J. Fernández, and P. Wahnón, Thin Solid Films 515, 6280 (2007).
9. P. Palacios, I. Aguilera, K. Sánchez, J. C. Conesa, and P. Wahnón, Phys. Rev. Lett. 101, 046403 (2008).
10. W. Wang, A. S. Lin, and J. D. Phillips, Appl. Phys. Lett. 95, 011103 (2009).
11. A. Martí, C. Tablero, E. Antolín, A. Luque, R. P. Campion, S. V. Novikov, and C. T. Foxon, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 93, 641 (2009).
12. T. G. Kim, J. M. Warrender, and M. J. Aziz, Appl. Phys. Lett. 88, 241902 (2006).
13. J. Olea, M. Toledano-Luque, D. Pastor, G. González-Díaz, and I. Mártil, J. Appl. Phys. 104, 016105 (2008).
14. E. Antolín, A. Martí, J. Olea, D. Pastor, G. González-Díaz, I. Mártil, and A. Luque, Appl. Phys. Lett. 94, 042115 (2009).
15. th IEEE Spanish Conf. Elec. Dev., (Santiago de Compostela, Spain, 2009), pp. 38-41.
16. G. González-Díaz, J. Olea, I. Mártil, D. Pastor, A. Martí, E. Antolín, and A. Luque, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 93, 1668 (2009).
17. J. Olea, G. González-Díaz, D. Pastor, and I. Mártil, J. Phys. D: Appl. Phys. 42, 085110 (2009).
18. N. F. Mott, Rev. Mod. Phys. 40, 677 (1968).
19. A. Martí, L. Cuadra, N. López, and A. Luque, Semiconductors 38, 946 (2004).
20. A. Luque, A. Martí, E. Antolín, and C. Tablero, Phys. B 382, 320 (2006).
21. K. Sánchez, I. Aguilera, P. Palacios, and P. Wahnón, Phys. Rev. B 79, 165203 (2009).
22. S. Hocine and D. Mathiot, Appl. Phys. Lett. 53, 1269 (1988).
23. D. Mathiot and D. Barbier, J. Appl. Phys. 69, 3878 (1991).
24. K. M. Yu, W. Walukiewicz, M. A. Scarpulla, O. D. Dubon, J. Wu, J. Jasinski, Z. Liliental-Weber, J. W. Beeman, M. R. Pillai, and M. J. Aziz, J. Appl. Phys. 94, 1043 (2003).
25. R. T. Young, R. F. Wood, J. Narayan, C. W. White, and W. H. Christie, Trans. Elec. Dev. 27, 807 (1980).
26. C. W. White, S. R. Wilson, B. R. Appleton, and F. W. Young, Jr., J. Appl. Phys. 51, 738 (1980).
27. J. Narayan, C. W. White, M. J. Aziz, B. Stritzker, and A. Walthuis, J. Appl. Phys. 57, 564 (1985).
28. B. R. Appleton, C. W. White, B. C. Larson, S. R. Wilson, and J. Narayan, Trans. Nucl. Sci. 26, 1686(1979).
29. P. Tsouroutas, D. Tsoukalas, I. Zergioti, N. Cherkashin, and A. Claverie, J. Appl. Phys. 105, 094910(2009).
30. C.-C. Kuo, J. Mater. Proc. Tech. 209, 2978 (2009).
31. G. J. Galvin, M. O. Thompson, J. W. Mayer, R. B. Hammond, N. Paulter, and P. S. Peercy, Phys. Rev. Lett. 48, 33 (1982).