GaN based laser diodes - Epitaxial growth and device fabrication

Physica Status Solidi C: Conferences

Volumn 0, Issue 6 SPEC. ISS., 2003, Pages 1846-1859

  Bottcher T ^a   Figge, S ^a   Einfeldt, S ^a   Chierchia, R ^a   Kroger R ^a   Petter, Ch ^a   Zellweger, Ch ^b   Buhlmann H J ^b   Diesselberg M ^a   Rudloff, D ^c   Christen, J ^c   Heinke, H ^a   Ryder, P L ^a   Ilegems, M ^b   Hommel, D ^a  

^a UNIVERSITY OF BREMEN   (Germany)

^b EPFL   (Switzerland)

^c OTTO VON GUERICKE UNIVERSITY   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTALLOGRAPHY; ELECTROOPTICAL DEVICES; EPITAXIAL GROWTH; ETCHING; GALLIUM NITRIDE; METALLORGANIC VAPOR PHASE EPITAXY; MOLECULAR BEAM EPITAXY; NUCLEATION; OPTIMIZATION; TENSILE STRESS;

CLADDING LAYERS; HETEROGENEOUS STRESS; HYDROGEN GAS; MIRROR FACETS;

SEMICONDUCTOR LASERS;

EID: 4744365596     PISSN: 16101634     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1002/pssc.200303128     Document Type: Conference Paper

References (54)

1. A. Koukitu, N. Takahashi, and H. Seki, Jpn. J. Appl. Phys. 36, L1136, (1997).
2. G. Briot, Group III Nitride Semiconductor Compounds (Clarendon Press, Oxford, 1998).
3. D. D. Koleske, A. E. Wickenden, R. L. Henry, J. C. Culbertson, and M. E. Twigg, J. Cryst. Growth 223, 466 (2001).
4. Z. A. Munir and A. W. Searcy, J. Chem. Phys. 42, 4223 (1965).
5. M. Furado and F. Jacob, J. Cryst. Growth 64, 257 (1983).
6. R. A. Logan and C. D. Thurmaond, J. Electrochem. Soc. 119, 1727 (1972).
7. M. Mayumi, F. Satoh, Y. Kumagai, K. Takemoto, and A. Koukitu, Jpn. J. Appl. Phys. 39, L707 (2000).
8. M. Mayumi, F. Satoh, Y. Kumagai, and A. Koukitu, Jpn. J. Appl. Phys. 40, L654 (2001).
9. A. Koukitu, T. Taki, N. Takahashi, and H. Seki, J. Cryst. Growth 197, 99 (1999).
10. S. Duan and D. Lu, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 81 (1997).
11. K. Hiramatsu, S. Itoh, H. Amano, I. Akasaki, N. Kuwano, T. Shiraishi, and K. Oh, J. Cryst. Growth 115, 628 (1991).
12. X. H. Wu, P. Fini, E. J. Tarsa, B. Heying, S. Keller, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Cryst. Growth 189/190, 231 (1998).
13. X. H. Wu, P. Fini, S. Keller, E. J. Tarsa, B. Heying, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Jpn. J. Appl. Phys. (Part 2) 35, 1648 (1996).
14. X. H. Wu, L. M. Brown, D. Kapolnek, S. Keller, B. Keller, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 80, 3228 (1996).
15. F. A. Ponce, MRS Bulletin 22, 51 (1997).
16. A. Munkholm, C. Thompson, C. M. Foster, J. A. Eastman, O. Auciello, G. B. Stephenson, P. Fini, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 72, 2972 (1998).
17. T. Hino, S. Tomiya, T. Miyajima, K. Yanashima, S. Hasimoto, and M. Ikeda, Appl. Phys. Lett. 76, 3421 (2000).
18. S. Figge, T. Böttcher, S. Einfeldt, and D. Hommel, J. Cryst. Growth 221, 262 (2000).
19. S. Einfeldt, T. Böttcher, S. Figge, and D. Hommel, J. Cryst. Growth 230, 357 (2000).
20. S. Hearne, E. Chson, J. Han, J. A. Floro, J. Figiel, J. Hunter, H. Amano, and I. S. T. Tsong, Appl. Phys. Lett. 74, 356 (1999).
21. J. D. Fingegan and R. W. Hoffman, J. Appl. Phys. 30, 587 (1959).
22. W. D. Nix and B. M. Clemens, J. Mater. Res. 14, 3467 (1999).
23. T. Boettcher, S. Einfeldt, S. Figge, R. Chierchia, H. Heinke, D. Hommel, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 78, 1976 (2001).
24. V. Potin, P. Ruterana, G. Nouet, R. C. Pond, and H. Morkoc, Phys. Rev. B 61, 5587 (2000).
25. U. Kaufmann, P. Schlotter, H. Obloh, K. Köhler, and M. Maier, Phys. Rev B 62, 10867 (2000).
26. L. T. Romano, M. Kneissl, J. E. Northrup, Chr. G. Van de Walle, and D. W. Treat, Appl. Phys. Lett. 79, 2734 (2001).
27. Z. Liliental-Weber, M. Benamara, W. Swider, J. Washburn, I. Grzegory, S. Porowski, D. J. H. Lambert, C. J. Eiting, and R. D. Dupuis, Appl. Phys. Lett. 75, 4159 (1999).
28. P. Vennéguès, M. Benaissa, B. Beaumont, E. Feltin, P. De Mierry, S. Dalmasso, M. Leroux, and P. Gilbart, Appl. Phys. Lett. 77, 880 (2000).
29. S. Figge, R. Kröger, T. Böttcher, P. L. Ryder, and D. Hommel, phys. stat. sol. (a) 192, 456 (2002)
30. R. Kröger, S. Figge, T. Böttcher, and D. Hommel, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 693, (2002).
31. L. T. Romano, J. E. Northrup, A. J. Ptak, and T. H. Myers, Appl. Phys. Lett. 77, 2479 (2000).
32. V. Ramachandran, R. M. Feenstra, W. L. Sarney, L. Salamanca-Riba, J. E. Northrap, L. T. Romano, and W. Greve, Appl. Phys. Lett. 75, 808 (1999).
33. S. Figge, R. Kröger, T. Böttcher, P. L. Ryder, and D. Hommel, to be published in Appl. Phys. Lett. 81, (2002).
34. S. J. Hearne, J. Han, S. R. Lee, J. A. Floro, D. M. Follstaedt, E. Chason, and I. S. T. Tsong, Appl. Phys. Lett. 76, 1534 (2000).
35. V. E. Bougrov and A. S. Zubrilov, J. Appl. Phys. 81, 2952 (1997).
36. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Jpn. J. Appl. Phys. 36, L1568 (1997).
37. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoko, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Appl. Phys. Lett. 72, 211 (1998).
38. M. Hansen, A. C. Abare, P. Kozodoy, T. M. Katona, M. D. Craven, J. S. Speck, U. K. Mishra, L. A. Coldren, and S. P. DenBaars, phys. stat. sol. (a) 176, 59 (1999).
39. P. Kozodoy, M. Hansen, S. P. DenBaars, and U. K. Mishra, Appl. Phys. Lett. 74, 3681 (1999).
40. P. Kozodoy, Y. P. Smorchkova, M. Hansen, H. Xing, S. P. DenBaars, U. K. Mishra, A. W. Saxler, R. Perrin, and W. C. Mitchel, Appl. Phys. Lett. 75, 2444 (1999).
41. J. L. Beuth, Jr., Int. J. Solids Struct. 29, 1657 (1992).
42. S. Einfeldt, V. Kirchner, H. Heinke, M. Dießelberg, S. Figge, K. Vogeler, and D. Hommel, J. Appl. Phys. 88, 7029 (2000).
43. B. R. Lawn and T. R. Wilshaw, Fracture of brittle solids (Cambridge University Press, Cambridge, 1975).
44. A. P. Parker, The mechanics of fracture and fatigue (E. & F. N. Spon Ltd, London, 1981).
45. J. E. Northrup and J. Neugebauer, Phys. Rev. B 53, R10477 (1996).
46. S. Einfeldt, H. Heinke, V. Kirchner, and D. Hommel, J. Appl. Phys. 89, 2160 (2001).
47. S. Einfeldt, M. Dießelberg, H. Heinke, D. Hommel, D. Rudloff, J. Christen, and R. F. Davis, J. Appl. Phys. 92, 118 (2002).
48. D. Rudloff, T. Riemann, J. Christen, Q. K. K. Liu, A. Kaschner, A. Hoffmann, Ch. Thomsen, M. Dießelberg, K. Vogeler, S. Einfeldt, and D. Hommel, accepted for publication in Appl. Phys. Lett.
49. T. Lei, K. F. Ludwig, and T. Moustakas, J. Appl. Phys. 74, 4430 (1993).
50. D. A. Stocker, E. F. Schubert, and J. M. Redwing, Appl. Phys. Lett. 73, 2654 (1998).
51. T. Miyajima, T. Tojyo, T. Asano, K. Yanashima, S. Kijima, T. Hino, M. Tykeya, S. Uchida, S. Tomiya, K. Funato, T. Asatsuma, T. Kobayashi, and M. Ikeda, J. Phys.: Condens. Matter 13, 7099 (2001).
52. T. Böttcher, Ch. Zellweger, S. Figge, R. Kröger, Ch. Petter, H.-J. Bühlmann, M. Ilegems, P. L. Ryder, and D. Hommel, phys. stat sol. (a) 191, R3 (2002).
53. M. S. Shur, A. D. Bykhovski, R. Gaska, J. W. Yang, G. Simin, and M. A. Khan, Appl. Phys. Lett. 76, 3061 (2000).
54. S. Figge, T. Böttcher, Ch. Zellweger, M. Illegems, and D. Hommel, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 693, 683 (2002).