Strain relaxation in AlGaN/GaN superlattices grown on GaN

Journal of Applied Physics

Volumn 89, Issue 4, 2001, Pages 2160-2167

  Einfeldt, S ^a   Heinke, H ^a   Kirchner, V ^a   Hommel, D ^a  

^a UNIVERSITY OF BREMEN   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0011579775     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1342020     Document Type: Article

References (37)

1. K. Itoh, K. Hiramatsu, H. Amano, and I. Akasaki, J. Cryst. Growth 104, 533 (1990).
2. M. Suzuki, J. Nishio, M. Onomura, and C. Hongo, J. Cryst. Growth 189, 511 (1998).
3. S. Nakamura et al., Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1568 (1997).
4. S. Nakamura et al., Appl. Phys. Lett. 72, 211 (1998).
5. M. Hansen et al., Phys. Status Solidi A 176, 59 (1999).
6. P. Kozodoy, M. Hansen, S. P. DenBaars, and U. K. Mishra, Appl. Phys. Lett. 74, 3681 (1999).
7. P. Kozodoy et al., Appl. Phys. Lett. 75, 2444 (1999).
8. S. Einfeldt, V. Kirchner, H. Heinke, M. Dießelberg, S. Figge, K. Vogeler, and D. Hommel, J. Appl. Phys. 88, 7029 (2000).
9. E. J. Tarsa, B. Heying, X. H. Wu, P. Fini, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 82, 5472 (1997).
10. H. Heinke, M. O. Möller, D. Hommel, and G. Landwehr, J. Cryst. Growth 135, 41 (1994).
11. A. Wright, J. Appl. Phys. 82, 2833 (1997).
12. A. D. Bykhovski, B. L. Gelmont, and M. S. Shur, J. Appl. Phys. 81, 6332 (1997).
13. Z. Sitar, M. J. Paisley, B. Yan, J. Ruan, W. J. Choyke, and R. F. Davis, J. Vac. Sci. Technol. B 8, 316 (1990).
14. Z. Sitar, M. J. Paisley, B. Yan, R. F. Davis, J. Ruan, and I. W. Choyke, Thin Solid Films 200, 311 (1991).
15. K. Itoh, T. Kawamoto, H. Amano, K. Hiramatsu, and I. Akasaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 30, 1924 (1991).
16. R. Langer, A. Barski, J. Simon, N. T. Pelekanos, O. Konovalov, R. André, and L. S. Dang, Appl. Phys. Lett. 74, 3610 (1999).
17. J. Gleize, F. Demangeot, J. Frandon, M. A. Renucci, F. Widmann, and B. Daudin, Appl. Phys. Lett. 74, 703 (1999).
18. M. Schubert, A. Kasic, T. E. Tiwald, J. A. Woollam, V. Härle, and F. Scholz, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5S1, W11.39 (2000).
19. J. W. Matthews and A. E. Blakeslee, J. Cryst. Growth 27, 118 (1974).
20. B. Jahnen, M. Albrecht, W. Dorsch, S. Christiansen, H. P. Strunk, D. Hanser, and R. F. Davis, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 3, 39 (1998).
21. S. J. Hearne, J. Han, S. R. Lee, J. A. Floro, D. M. Follstaedt, E. Chason, and I. S. T. Tsong, Appl. Phys. Lett. 76, 1534 (2000).
22. A. Atkinson, T. Johnson, A. H. Harker, and S. C. Jain, Thin Solid Films 274, 106 (1996).
23. B. Gil, Group III Nitride Semiconductor Compounds (Oxford University Press, Oxford, 1998).
24. W. Rieger, T. Metzger, H. Angerer, R. Dimitrov, O. Ambacher, and M. Stutzmann, Appl. Phys. Lett. 68, 970 (1996).
25. S. Chichibu, A. Shikanai, T. Azuhata, T. Sota, A. Kuramata, K. Horino, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 68, 3766 (1996).
26. W. Shan, R. J. Hauenstein, A. J. Fischer, J. J. Song, W. G. Perry, M. D. Bremser, R. F. Davis, and B. Goldenberg, Phys. Rev. B 54, 13460 (1996).
27. A. Shikanai, T. Azuhata, T. Sota, S. Chichibu, A. Kuramata, K. Horino, and S. Nakamura, J. Appl. Phys. 81, 417 (1997).
28. V. Yu, Davydov, N. S. Averkiev, I. N. Goncharuk, D. K. Nelson, I. P. Nikitina, A. S. Polkovnikov, A. N. Smirnov, and M. A. Jacobson, J. Appl. Phys. 82, 5097 (1997).
29. I. Lee, I. Choi, C. R. Lee, and S. K. Noh, Appl. Phys. Lett. 71, 1359 (1997).
30. A. Cremades, L. Görgens, O. Ambacher, M. Stutzmann, and F. Scholz, Phys. Rev. B 61, 2812 (2000).
31. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, Y. Sugimoto, and H. Kiyoku, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1059 (1997).
32. H. Ishikawa, N. Nakada, G. Y. Zhao, T. Egawa, T. Jimbo, and M. Umeno, in Proceedings of the 2nd International Symposium on Blue Laser and Light Emitting Diodes, edited by K. Onabe, K. Hiramatsu, K. Itaya, and Y. Nakano (Ohmsha, Tokyo, 1998), p. 727.
33. T. Someya, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 73, 3653 (1998).
34. J. L. Beuth, Jr., Int. J. Solids Struct. 29, 1657 (1992).
35. J. M. Redwing, D. A. S. Loeber, N. G. Anderson, M. A. Tischler, and J. S. Flynn, Appl. Phys. Lett. 69, 1 (1996).
36. J. W. Hutchinson, and Z. Suo, in Advances in Applied Mechanics, edited by J. W. Hutchinson and T. Wuo (Academic, New York, 1992), Vol. 29, p. 63.
37. P. Kung, X. Zhang, A. Saxler, D. Walker, M. Razeghi, W. Qian, and V. P. Dravid, J. Eur. Ceram. Soc. 17, 1781 (1997).