Diffusion length and junction spectroscopy analysis of low-temperature annealing of electron irradiation-induced deep levels in 4H-SiC

Journal of Applied Physics

Volumn 99, Issue 3, 2006, Pages

  Castaldini, A ^a   Cavallini, A ^a   Rigutti, L ^a   Pizzini, S ^b   Le Donne, A ^b   Binetti, S ^b  

^a UNIVERSITY OF BOLOGNA   (Italy)

^b UNIVERSITY OF MILANO BICOCCA   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; ELECTRON IRRADIATION; ENERGY GAP; HEAT TREATMENT; SCHOTTKY BARRIER DIODES; SPECTROSCOPIC ANALYSIS;

BAND GAP; DEEP-LEVEL TRANSIENT SPECTROSCOPY; MICROSCOPIC NATURE; MINORITY-CARRIER DIFFUSION LENGTH;

SILICON CARBIDE;

EID: 33645545428     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2160708     Document Type: Article

References (24)

1. H. Itoh, N. Hayakawa, I. Nashiyama, and E. Sakuma, J. Appl. Phys. 66, 4529 (1989).
2. C. G. Hemmingsson, N. T. Son, O. Kordina, and E. Janzén, J. Appl. Phys. 91, 1324 (2002).
3. X. D. Chen, S. Fung, C. C. Ling, C. D. Beling, and M. Gong, J. Appl. Phys. 94, 3004 (2002).
4. M. L. David, G. Alfieri, E. V. Monakhov, A. Hallén, J. F. Barbot, and B. G. Svensson, Mater. Sci. Forum 433-436, 371 (2003).
5. G. Alfieri, E. V. Monakhov, and B. G. Svensson, Mater. Sci. Forum 457-460, 481 (2004).
6. H. Kortegaard Nielsen, D. M. Martin, P. Lévêque, A. Hallén, and B. G. Svensson, Physica B 340-342, 743 (2003).
7. Y. Zhang, W. J. Weber, W. Jiang, A. Hallén, and G. Possnert, J. Appl. Phys. 91, 6388 (2002).
8. A. Le Donne, S. Binetti, M. Acciarri, and S. Pizzini, Diamond Relat. Mater. 13, 414 (2004).
9. A. Castaldini, A. Cavallini, L. Rigutti, F. Nava, C. F. Pirri, and F. Giorgis, J. Appl. Phys. 98, 053706 (2005).
10. A. Castaldini, A. Cavallini, L. Rigutti, and F. Nava, Appl. Phys. Lett. 85, 3780 (2004).
11. T. Dalibor, G. Pensl, H. Matsunami, T. Kimoto, W. J. Choyke, A. Schöner, and N. Nordell, Phys. Status Solidi A 162, 199 (1997).
12. A. A. Lebedev, A. I. Veinger, D. V. Davidiv, V. V. Kozlovski, N. S. Savkina, and A. M. Strel'chuk, J. Appl. Phys. 88, 6265 (2000).
13. F. Gao and W. J. Weber, J. Appl. Phys. 94, 4348 (2003).
14. J. P. Doyle, M. K. Linnarsson, P. Pellegrino, N. Keskitalo, B. G. Svensson, A. Schöner, N. Nordell, and J. L. Lindstroem, J. Appl. Phys. 84, 1354 (1998).
15. T. Dalibor, G. Pensl, T. Kimoto, H. Matsunami, S. Sridhara, R. P. Devaty, and W. J. Choyke, Diamond Relat. Mater. 6, 1333 (1997).
16. C. G. Hemingsson, N. T. Son, O. Kordina, E. Janzén, J. L. Lindstrom, S. Savage, and N. Nordel, Mater. Sci. Eng., B B46, 336 (1997).
17. C. G. Hemingsson, N. T. Son, O. Kordina, J. P. Bergman, E. Janzén, J. L. Lindstrom, S. Savage, and N. Nordell, J. Appl. Phys. 81, 6155 (1997).
18. C. G. Hemingsson, N. T. Son, A. Ellison, J. Zhang, and E. Janzén, Phys. Rev. B 58, 10119 (1998).
19. I. Pintilie, L. Pintilie, K. Irmscher, and B. Thomas, Appl. Phys. Lett. 81, 4841 (2002).
20. T. A. G. Eberlein, R. Jones, and P. R. Briddon, Phys. Rev. Lett. 90, 225502 (2003).
21. L. Storasta, F. H. C. Carlsson, S. G. Sridhara, D. Åberg, J. P. Bergman, A. Hallén, and E. Janzén, Mater. Sci. Forum 353, 431 (2001).
22. D. Åberg, L. Storasta, A. Hallén, and B. G. Svensson, Mater. Sci. Forum 353-356, 443 (2001).
23. L. Storasta, J. P. Bergman, E. Janzén, A. Henry, and J. Lu, J. Appl. Phys. 96, 4909 (2004).
24. A. Le Donne, S. Binetti, and S. Pizzini, Diamond Relat. Mater. 14, 1150 (2005).