Density and production of NH and NH 2 in an Ar-NH 3 expanding plasma jet

Journal of Applied Physics

Volumn 98, Issue 9, 2005, Pages

  Van Den Oever, P J ^a   Van Helden, J H ^a   Lamers, C C H ^a   Engeln, R ^a   Schram, D C ^a   Van De Sanden, M C M ^a   Kessels, W M M ^a  

^a EINDHOVEN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

PLASMA CURRENTS; THERMAL PLASMAS;

ADSORPTION; BAND STRUCTURE; THERMOANALYSIS;

PLASMA JETS;

EID: 27844483460     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2123371     Document Type: Article

References (58)

1. J. E. Klemberg-Sapieha, O. M. Küttel, L. Martinu, and M. R. Wertheimer, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2975 (1991).
2. J. Kurdi, H. Ardelean, P. Marcus, P. Jonnard, and F. Arefi-Khonsari, Appl. Surf. Sci. 189, 119 (2002).
3. A. Lu and R. Sipehia, Biomaterials 22, 1439 (2001).
4. E. F. Castro Vidaurre, C. A. Achete, R. A. Simão, and A. C. Habert, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 175-177, 732 (2001).
5. E. S. Aydil, K. P. Giapis, R. A. Gottscho, V. M. Donnelly, and E. Yoon, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 195 (1993).
6. C.-M. Yu, H.-C. Lin, T.-Y. Huang, and T.-F. Lei, J. Electrochem. Soc. 150, G843 (2003).
7. Y.-S. Lai, K.-J. Chen, and J. S. Chen, J. Appl. Phys. 91, 6428 (2002).
8. J. C. Wang, D. C. Shie, T. F. Lei, and C. L. Lee, Electrochem. Solid-State Lett. 6, F34 (2003).
9. M. Chhowalla, J. Appl. Phys. 90, 5308 (2001).
10. Z. P. Huang, J. W. Xu, Z. F. Ren, J. H. Wang, M. P. Siegal, and P. N. Provencio, Appl. Phys. Lett. 73, 3845 (1998).
11. Y. J. Lee and S.-W. Kang, Thin Solid Films 446, 227 (2004).
12. H. S. Sim, J. H. Park, and Y. T. Kim, Phys. Status Solidi A 201, R92 (2004).
13. O.-K. Kwon, S.-H. Kwon, H.-S. Park, and S.-W. Kang, Electrochem. Solid-State Lett. 7, C46 (2004).
14. A. G. Aberle, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 65, 239 (2001).
15. J. Hong, W. M. M. Kessels, W. J. Soppe, A. W. Weeber, W. M. Arnoldbik, and M. C. M. van de Sanden, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2123 (2003).
16. D. Stryahilev, A. Sazonov, and A. Nathan, J. Vac. Sci. Technol. A 20, 1087 (2002).
17. G. P. Miller and J. K. Baird, J. Phys. Chem. 97, 10984 (1993).
18. S. D. Pringle, V. S. Joss, and C. Jones, Surf. Interface Anal. 24, 821 (1996).
19. E. R. Fisher, P. Ho, W. G. Breiland, and R. J. Buss, J. Phys. Chem. 96, 9855 (1992).
20. P. R. McCurdy, C. I. Butoi, K. L. Williams, and E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 103, 6919 (1999).
21. M. L. Steen, K. R. Kull, and E. R. Fisher, J. Appl. Phys. 92, 55 (2002).
22. H. Unemoto, K. Ohara, D. Morita, T. Morimoto, M. Yamawaki, A. Masuda, and H. Matsumura, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 42, 5315 (2003).
23. D. L. Smith, A. S. Alimonda, C.-C. Chen, S. E. Ready, and B. Wacker, J. Electrochem. Soc. 137, 614 (1990).
24. D. L. Smith, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 1843 (1993).
25. M. S. Bell, R. G. Lacerda, K. B. K. Teo, N. L. Rupesinghe, G. A. J. Amaratunga, and W. I. Milne, Appl. Phys. Lett. 85, 1137 (2004).
26. S. D. Rodgers and S. B. Charnley, Astrophys. J. 546, 324 (2001).
27. H. Kawakita, Science 294, 1089 (2001).
28. J. Hong, W. M. M. Kessels, F. J. H. van Assche, H. C. Rieffe, W. J. Soppe, A. W. Weeber, and M. C. M. van de Sanden, Prog. Photovoltaics 11, 125 (2003).
29. W. M. M. Kessels, C. M. Leewis, M. C. M. van de Sanden, and D. C. Schram, J. Appl. Phys. 86, 4029 (1999).
30. M. C. M. van de Sanden, R. J. Severens, W. M. M. Kessels, R. F. G. Meulenbroeks, and D. C. Schram, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.368977 84, 2426 (1998); M. C. M. van de Sanden, R. J. Severens, W. M. M. Kessels, R. F. G. Meulenbroeks, and D. C. Schram, J. Appl. Phys. 85, 1243 (1999).
31. M. C. M. van de Sanden, R. J. Severens, W. M. M. Kessels, R. F. G. Meulenbroeks, and D. C. Schram, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.368977 84, 2426 (1998); M. C. M. van de Sanden, R. J. Severens, W. M. M. Kessels, R. F. G. Meulenbroeks, and D. C. Schram, J. Appl. Phys. 85, 1243 (1999).
32. A. J. M. Buuron, D. K. Otorbaev, M. C. M. van de Sanden, and D. C. Schram, Phys. Rev. E 50, 1383 (1994).
33. K. W. Busch and M. A. Busch, Cavity-Ringdown Spectroscopy-An Ultratrace-Absorption Measurement Technique (American Chemical Society, Washington, 1998).
34. J. P. M. Hoefnagels, Y. Barrell, W. M. M. Kessels, and M. C. M. van de Sanden, J. Appl. Phys. 96, 4094 (2004).
35. D. Romanini and K. K. Lehmann, J. Chem. Phys. 99, 6287 (1993).
36. C. R. Brazier, R. S. Ram, and P. F. Bernath, J. Mol. Spectrosc. 120, 381 (1986).
37. J. M. Lents, J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transf. 13, 297 (1973).
38. S. C. Ross, F. W. Birss, M. Vervloet, and D. A. Ramsay, J. Mol. Spectrosc. 129, 436 (1988).
39. M. Votsmeier, S. Song, D. F. Davidson, and R. K. Hanson, Int. J. Chem. Kinet. 31, 323 (1999).
40. R. M. Green and J. A. Miller, J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transf. 26, 313 (1981).
41. W. M. M. Kessels, A. Leroux, M. G. H. Boogaarts, J. P. M. Hoefnagels, M. C. M. van de Sanden, and D. C. Schram, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 467 (2001).
42. R. Derai, G. Mauclaire, and R. Marx, Chem. Phys. Lett. 86, 275 (1982).
43. J. Perrin, O. Leroy, and M. C. Bordage, Contrib. Plasma Phys. 36, 3 (1996).
44. M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 71, 4173 (1992).
45. I. Rahinov, N. Ditzian, A. Goldman, and S. Cheskis, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 77, 541 (2003).
46. T. Ko, P. Marshall, and A. Fontijn, J. Phys. Chem. 94, 1401 (1990).
47. M. P. Skrzypkowski and R. Johnsen, Chem. Phys. Lett. 274, 473 (1997).
48. J. Öjekull, J. Chem. Phys. 120, 7391 (2004).
49. W. M. M. Kessels, J. P. M. Hoefnagels, M. G. H. Boogaarts, D. C. Schram, and M. C. M. van de Sanden, J. Appl. Phys. 89, 2065 (2001).
50. J. Benedikt, D. C. Schram, and M. C. M. van de Sanden, J. Phys. Chem. A (in press).
51. L. Vikor, Astron. Astrophys. 344, 1027 (1999).
52. R. F. G. Meulenbroeks, A. J. van Beek, A. J. G. van Helvoort, M. C. M. van de Sanden, and D. C. Schram, Phys. Rev. E 49, 4397 (1994).
53. A. Schadee, Astron. Astrophys. 41, 213 (1975).
54. A. P. Thorne, Spectrophysics (Chapman and Hall, London, 1974).
55. G. Herzberg, Spectra of Diatomic Molecules (Van Nostrand, Princeton, 1965).
56. G. Friedrichs, M. Colberg, M. Fikri, Z. Huang, J. Neumann, and F. Temps, J. Phys. Chem. A 109, 4785 (2005).
57. G. Herzberg, in Molecular Spectra and Molecular Structure, Infrared and Raman Spectra of Polyatomic Molecules Vol. II (Van Nostrand, Princeton, 1966).
58. K. Kohse-Höinghaus, D. F. Davidson, A. Y. Chang, and R. K. Hanson, J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transf. 42, 1 (1989).