Initial stage of Si(001) surface oxidation from first-principles calculations

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 109, Issue 37, 2005, Pages 17649-17653

  Fuchs, F ^a   Schmidt, W G ^a   Bechstedt, F ^a  

^a FRIEDRICH SCHILLER UNIVERSITY JENA   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADSORPTION; ANISOTROPY; CRYSTAL ATOMIC STRUCTURE; ELECTRONIC PROPERTIES; PROBABILITY DENSITY FUNCTION; SILICON; SPECTROSCOPY;

DIMER ATOMS; IONIZATION ENERGY; REFLECTANCE ANISOTROPY SPECTROSCOPY (RAS); SURFACE STATES;

OXIDATION;

EID: 25844519883     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp0501087     Document Type: Article

References (41)

1. Dabrowski, J.; Müssig, H.-J. Silicon Surfaces and Formation of Interfaces; World Scientific: Singapore, 2000.
2. Fujita, K.; Watanabe, H.; Ichikawa, M. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2807.
3. Harada, Y.; Niwa, M.; Nagatomi, T.; Shimizu, R. Jpn. J. Appl. Phys. 2000, 39, 560.
4. Watanabe, H.; Kato, K.; Uda, T.; Fujita, K.; Ichikawa, M.; Kawamura, T.; Terakura, K. Phys. Rev. Lett. 1998, 80, 345.
5. Kamiya, I.; Aspnes, D. E.; Tanaka, H.; Florez, L. T.; Harbison, J. P.; Bhat, R. Phys. Rev. Lett. 1992, 68, 627.
6. Aspnes, D. E. Solid State Commun. 1997, 101, 85.
7. Richter, W. Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 1993, 344, 453.
8. Schmidt, W. G.; Fuchs, F.; Hermann, A.; Seino, K.; Bechstedt, F.; Passmann, R.; Wahl, M.; Gensch, M.; Hinrichs, K.; Esser, N.; Wang, S.; Lu, W.; Bernholc, J. J. Phys.: Condens. Matter 2004, 16, S4323.
9. Yasuda, T.; Nishizawa, M.; Kumagai, N.; Yamasaki, S.; Oheda, H.; Yamabe, K. Thin Solid Films 2004, 455-456, 759.
10. Yasuda, T.; Kumagai, N.; Nishizawa, M.; Yamasaki, S.; Oheda, H.; Yamabe, K. Phys. Rev. B 2003, 67, 195338.
11. Matsudo, T.; Ohta, T.; Yasuda, T.; Nishizawa, M.; Miyata, N.; Yamasaki, S.; Shklyaev, A. A.; Ichikawa, M. J. Appl. Phys. 2002, 91, 3637.
12. Yasuda, T.; Yamasaki, S.; Nishizawa, M.; Miyata, N.; Shklyaev, A.; Ichikawa, M.; Matsudo, T.; Ohta, T. Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 037403.
13. Kageshima, H.; Shiraishi, K. Phys. Rev. Lett. 1998, 81, 5936.
14. Kato, K.; Uda, T.; Terakura, K. Phys. Rev. Lett. 1998, 80, 2000.
15. Kato, K.; Uda, T. Phys. Rev. B 2000, 62, 15978.
16. Choi, C. H.; Liu, D.-J.; Evans, J. W.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 8730.
17. Yamasaki, T.; Kato, K.; Uda, T. Phys. Rev. Lett. 2003, 91, 146102.
18. Bongiorno, A.; Pasquarello, A. Phys. Rev. Lett. 2004, 93, 086102.
19. Uchiyama, T.; Tsukada, M. Phys. Rev. B 1996, 53, 7917.
20. Nakayama, T.; Murayama, M. Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 4286.
21. Incze, A.; Del Sole, R.; Onida, G. Phys. Rev. B 2005, 71, 035350.
22. Fuchs, F.; Schmidt, W. G.; Bechstedt, F. Phys. Rev. B, in press.
23. Kresse, G.; Furthmüller, J. Comput. Mater. Sci. 1996, 6, 15.
24. Del Sole, R. Solid State Commun. 1981, 37, 537.
25. Del Sole, R.; Girlanda, R. Phys. Rev. B 1993, 48, 11789.
26. Ramstad, A.; Brocks, G.; Kelly, P. J. Phys. Rev. B 1995, 57, 14504.
27. Krüger, P.; Pollmann, J. Phys. Rev. Lett. 1995, 74, 1155.
28. Seino, K.; Schmidt, W. G.; Bechstedt, F. Phys. Rev. Lett. 2004, 93, 036101.
29. Qian, G.-X.; Martin, R. M.; Chadi, D. J. Phys. Rev. B 1988, 38, 7649.
30. Bechstedt, F. Principles of Surface Physics; Springer-Verlag: Berlin, 2003.
31. Van de Walle, C. G.; Neugebauer, J. Phys. Rev. Lett. 2002, 88, 066103.
32. Hahn, P. H.; Schmidt, W. G. Surf. Rev. Lett. 2003, 10, 163.
33. Preuss, M.; Schmidt, W. G.; Bechstedt, F. J. Phys. Chem. B 2004, 108, 7809.
34. Schmidt, W. G.; Bechstedt, F.; Srivastava, G. P. Surf. Sci. Rep. 1996, 25, 141.
35. Mönch, W. Semiconductor Surfaces and Interfaces, 3rd ed.; Series in Surface Sciences; Springer: Berlin, Heidelberg, New York, 2001; Vol. 26.
36. Law, J. T. J. Appl. Phys. 1961, 32, 600.
37. Ranke, W.; Xing, Y. R. Phys. Rev. B 1985, 31, 2246.
38. Shioda, R.; van der Weide, J. Phys. Rev. B 1998, 57, R6823.
39. Kipp, L.; Biegeisen, D. K.; Northrup, J. E.; Swartz, L.-E.; Bringans, R. D. Phys. Rev. Lett. 1996, 76, 2810.
40. Schmidt, W. G.; Bechstedt, F.; Bernholc, J. Phys. Rev. B 2001, 63, 045322.
41. Kress, C.; Shkrebtii, A. I.; Del Sole, R. Surf. Sci. 1997, 377, 398.