Détermination des contraintes résiduelles et des constantes d'élasticité dans les films minces par diffraction des rayons X

Vide: Science, Technique et Applications

Volumn 3 4, Issue 301, 2001, Pages 541-564

  Goudeau, P ^a   Renault, P O ^a   Badawi, K F ^a   Villain, P ^a  

^a NONE

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Elasticity; Microstructure; Residual stresses; Thin films; X ray Diffraction

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EID: 20444402306     PISSN: 12660167     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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