Détermination des contraintes résiduelles et de la microstructure intra-granulaire dans des films minces de W déposés par pulvérisation magnétron

Journal de Physique III

Volumn 7, Issue 6, 1997, Pages 1247-1260

  Branger, V ^a   Durand, N ^a   Haghiri Gosnet, A M ^b   Badawi, K F ^a   Ravet, M F ^b  

^a Lab de Metallurgie Physique   (France)

^b CNRS   (France)

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CALCULATIONS; LATTICE CONSTANTS; MAGNETRON SPUTTERING; MICROSTRUCTURE; PHASE COMPOSITION; PHASE TRANSITIONS; RESIDUAL STRESSES; SPUTTER DEPOSITION; TUNGSTEN; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS;

COMPRESSION STRESS STATE; INTRAGRANULAR MICROSTRUCTURE; MICRODISTORTIONS; TORNTON MICROSTRUCTURAL DIAGRAMS;

THIN FILMS;

EID: 0031164893     PISSN: 11554320     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1051/jp3:1997186     Document Type: Article

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