Caractérisation structurale et contraintes résiduelles de films d'AlN par diffraction des rayons X

Journal De Physique. IV : JP

Volumn 8, Issue 5, 1998, Pages 153-161

  Meneau, C ^a   Goudeau, Ph ^b   Andreazza, P ^a   Andreazza Vignolle, C ^a   Pommier, J C ^c  

^a UNIVERSITÉ D'ORLÉANS   (France)

^b UNIVERSITÉ DE POITIERS   (France)

^c UNIVERSITÉ JEAN MONNET   (France)

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EID: 0003033307     PISSN: 11554339     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Article

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