Interaction of slow, very highly charged ions with surfaces

Progress in Surface Science

Volumn 61, Issue 2-4, 1999, Pages 23-84

  Schenkel, T ^a   Hamza, A V ^a   Barnes, A V ^a   Schneider, D H ^a  

^a LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LABORATORY   (United States)

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CHARGED PARTICLES; ELECTRON EMISSION; GOLD; INSULATING MATERIALS; MATHEMATICAL MODELS; METALS; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SURFACE TREATMENT; SURFACES; THIN FILMS; XENON;

CHARGED IONS; SURFACE ANALYSIS;

IONS;

EID: 0345201717     PISSN: 00796816     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0079-6816(99)00009-X     Document Type: Review

References (179)

1. Arnau A., Aumayr F., Echenique P.M., Grether M., Heiland W., Limburg J., Morgenstern R., Roncin P., Shippers S., Schuch R., Stolterfoht N., Varga P., Zouros T.J.M., Winter H.P. Surf. Sci. Rep. 27:1997;113.
2. Schneider D.H.G., Briere M.A. Phys. Scr. 53:1996;228.
3. Burgdörfer J., Lerner P., Meyer F.W. Phys. Rev. A. 44:1991;880.
4. Xie Z.Q., Lyneis C.M. Rev. Sci. Inst. 66:1995;4218.
5. Xie Z.Q. Rev. Sci. Inst. 69:1998;625.
6. Alton G.D., Meyer F.W., Liu Y., Beene J.R., Tucker D. Rev. Sci. Inst. 69:1998;2305.
7. Nakagawa T., Ärje J., Miyazawa Y., Hemmi M., Chiba T., Inabe N., Kase M., Kageyama T., Kamigaito O., Kidera M., Goto A., Yano Y. Rev. Sci. Inst. 69:1998;637.
8. Shirkov G., Nakagawa T. Rev. Sci. Inst. 69:1998;1141.
9. Ratliff L.P., Bell E.W., Parks D.C., Pikin A.I., Gillaspy J.D. Rev. Sci. Inst. 68:1997;1998.
10. Schenkel T., Barnes A.V., Hamza A.V., Banks J.C., Doyle B.L., Schneider D.H. Phys. Rev. Lett. 80:1998;4325.
11. J.W. McDonald, D.H. Schneider, J.P. Briand, G. Machicoane, V. Leroux, in: EBIT Annual Report 96-97, Lawrence Livermore National Laboratory, UCRL-ID-132345 1999.
12. Stöckli M.P., Abdallah M., Chen C.Y., Cocke C.L., De Paola B.D., Fry D., Gibson E., Richard P., Tipping T.N., Walch B., Winecki S., Eastman B., Gebel Th, Langer E., Lehnert U., Preusse H., Ullmann F., Georges A., Ramassamy M. Rev. Sci. Inst. 69:1998;665.
13. Stöckli M.P. Rev. Sci. Inst. 69:1998;649.
14. Demyanov A.V., Sidorov S.V., Avdeev S.A., Jatcenko B.P. Rev. Sci. Inst. 69:1998;1156.
15. Briere M.A., Schenkel T., Schneider D.H., Bauer P., Arnau A. Phys. Scr. T73:1997;324.
16. Huang W., Lebius H., Schuch R., Grether M., Stolterfoht N. Phys. Rev. A. 58:1998;2962.
17. Winecki S., Cocke C.L., Fry D., Stöckli M.P. Phys. Rev. A. 53:1996;4228.
18. Huang W., Lebius H., Schuch R., Grether M., Stolterfoht N. Phys. Rev. A. 56:1997;3777.
19. Schenkel T., Barnes A.V., Briere M.A., Hamza A.V., Schach von Wittenau A., Schneider D.H. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 125:1997;153.
20. Eder H., Vana M., Aumayr F., Winter H.P. Rev. Sci. Inst. 68:1997;165.
21. Lemell C., Stöckl J., Burgdörfer J., Betz G., Winter H.P., Aumayr F. Phys. Rev. Lett. 81:1998;1965.
22. Aumayr F., Kurz H., Schneider D., Briere M.A., McDonald J.W., Cunningham C.E., Winter H.P. Phys. Rev. Lett. 71:1993;1943.
23. Ibach H. Electron Spectroscopy for Surface Analysis. 1977;Springer-Verlag, Berlin, Germany.
24. Neidhart T., Pichler F., Aumayr F., Winter H.P., Schmid M., Varga P. Phys. Rev. Lett. 74:1995;5280.
25. Sporn M., Libiseller G., Neidhart T., Schmid M., Aumayr F., Winter H.P., Varga P. Phys. Rev. Lett. 79:1997;945.
26. Liebbrecht K.G., Griffith J.E., Weller R.A., Tombrello T.A. Rad. Eff. 49:1980;195.
27. Banks J.C., Doyle B.L., Knapp J.A., Werho D., Gregory R.B., Anthony M., Hurd T.Q., Diebold A.C. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 138:1998;1223.
28. Schnieders A., Möllers R., Terhorst M., Cramer H-G., Niehuis E., Benninghoven A. J. Vac. Sci. Tech. B. 14:1996;2712.
29. Chapman A.J. Heat Transfer. 3rd ed. 1974;Macmillan, New York.
30. Schenkel T., Barnes A.V., Hamza A.V., Banks J.C., Doyle B.L., Schneider D.H. Phys. Rev. Lett. 81:1998;2590.
31. Benninghoven A. Surf. Sci. 299/300:1994;246.
32. Brundle C.R., Evans C.A., Wilson S. Encyclopedia of Materials Characterization. 1992;Butterworth-Heinemann, Stoneham.
33. T. Schenkel, Zur Wechselwirkung langsamer hochgeladener Ionen mit Festkörpern, dissertation, Goethe Universität Frankfurt, April 1997 (unpublished).
34. T. Schenkel, A.V. Hamza, A.V. Barnes, M.W. Newman, G. Machicoane, T. Niedermayr, M. Hattass, J.W. McDonald, K.J. Wu, R.W. Odom, D.H. Schneider, Proceedings of the IXth International Conference on the Physics of Highly Charged Ions, Bensheim, September 1998; Physica Scripta, in press.
35. Steinbauer E., Bauer P., Geretschlager M., Bortels G., Biersack J.P., Burger P. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 85:1994;642.
36. Briand J-P., d'Etat B., Schneider D., Clark M., Decaux V. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. A. 87:1994;138.
37. LeGros M., Silver E., Schneider D., McDonald J., Bardin S., Schuch R., Madden N., Beeman J. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. A. 357:1995;110.
38. Bohr N. Kgl. Danske Videnskab. Selskab. Mat.-fys. Medd. 18:(8):1948.
39. Schenkel T., Briere M.A., Schmidt-Böcking H., Bethge K., Schneider D. Phys. Rev. Lett. 78:1997;2481.
40. Grether M., Niemann D., Spieler A., Stolterfoht N. Phys. Rev. A. 56:1997;3794.
41. M. Hattass, T. Schenkel, A.V. Hamza, A.V. Barnes, M.W. Newman, J.W. McDonald, T.R. Niedermayr, G.A. Machicoane, D.H. Schneider, Phys. Rev. Lett., in press.
42. Bambynek W., et al. Rev. Mod. Phys. 44:1972;716.
43. Grey T.J., Cocke C.L., Gardner R.K. Phys. Rev. A. 16:1977;190. and references therein.
44. Loew R. Nucl. Instr. Meth. 117:1974;505.
45. Rosner B., Datz S., Wu W., Jones N.L., Schulz D.R., Reinhold C.O. Phys. Rev. A. 57:1998;2737.
46. Brandt W., Laubert R., Mourino M., Schwartzchild A. Phys. Rev. Lett. 30:1973;358.
47. Pines D. Seitz F., Turnbull D. Solid State Physics. vol. 1:1955;Academic, New York.
48. Falke U. Fresius J. Anal. Chem. 349:1994;241.
49. Karim K.R., Grabe S.R., Bhalla C.P. J. Phys. B. 29:1996;4007.
50. Briand J.P., d'Etat-Ban B., Schneider D., Briere M.A., Decaux V., McDonald J.W., Bardin S. Phys. Rev. A. 53:1996;2194.
51. Winecki S., Stöckli M.P., Cocke C.L. Phys. Rev. A. 56:1997;538.
52. Huang W., Lebius H., Schuch R., Grether M., Spieler A., Stolterfoht N. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 135:1998;336.
53. Meyer F.W., Yan O., Zeijlmans van Emmichovan P., Hughes I.G., Spierings G. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 125:1997;138.
54. Firsov O.B. Sov. Phys. JETP. 36:1959;1076.
55. Lindhard J., Scharff M. Phys. Rev. 124:1961;128.
56. Knipp J., Teller E. Phys. Rev. 59:1941;659.
57. Sigmund P. Phys. Rev. A. 50:1994;3197.
58. Biersack J.P. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 80/81:1993;12.
59. Lennard W.N., Jackman T.E., Phillips D. Phys. Lett. A. 79:1980;309.
60. Schenkel T., Briere M.A., Barnes A.V., Hamza A.V., Bethge K., Schmidt-Böcking H., Schneider D. Phys. Rev. Lett. 79:1997;2030.
61. Herrmann R., Cocke C.L., Ullrich J., Hagmann S., Stoeckli M., Schmidt-Böcking H. Phys. Rev. A. 50:1994;1435.
62. Juaristi J.I., Arnau A. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 115:1996;173.
63. Arnau A., Peñalba M., Echenique P.M., Flores F. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 69:1992;102.
64. Khemliche H., Limburg J., Hoekstra R., Morgenstern R., Hatke N., Luderer E., Heiland W. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 125:1997;116.
65. Arnau A. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 115:1996;2.
66. Winecki S., Stöckli M.P., Cocke C.L. Phys. Rev. A. 55:1997;4310.
67. Juaristi J.I., Arnau A., Echenique P.M., Auth C., Winter H. Phys. Rev. Lett. 82:1999;1048.
68. Khemliche H., Schlathölter T., Hoekstra R., Morgenstern R., Shippers S. Phys. Rev. Lett. 81:1998;1219.
69. Niemann D., Grether M., Rösler M., Stolterfoht N. Phys. Rev. Lett. 80:1998;3328.
70. Baragiola R.A., Dukes C.A. Phys. Rev. Lett. 76:1996;2547.
71. Diez Muino R., Stolterfoht N., Arnau A., Salin A., Echenique P.M. Phys. Rev. Lett. 76:1996;4636.
72. Diez Muino R., Salin A., Stolterfoht N., Arnau A., Echenique P.M. Phys. Rev. A. 57:1998;1126.
73. Arnau A. Phys. Scr. T73:1997;303.
74. Niemann D., Grether M., Spieler A., Stolterfoht N., Lemell C., Aumayr F., Winter H.P. Phys. Rev. A. 56:1997;4774.
75. Niemann D., Rösler M., Grether M., Stolterfoht N. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 135:1998;460.
76. Ducree J., Mrogenda J., Reckels E., Rüther M., Heinen A., Vitt Ch, Venier M., Leuker J., Andrä H.J., Diez Muino R. Phys. Rev. A. 57:1998;1925.
77. Ducree J., Mrogenda J., Reckels E., Rüther M., Heinen A., Vitt Ch, Venier M., Leuker J., Andrä H.J. Phys. Rev. A. 58:1998;R1649.
78. Thomaschewski J., Bleck-Neuhaus J., Grether M., Spieler A., Niemann D., Stohlterfoht N. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 125:1997;163.
79. Thomaschewski J., Bleck-Neuhaus J., Grether M., Spieler A., Stohlterfoht N. Phys. Rev. A. 57:1998;3665.
80. Morosov V.A., Gaboriaud M.N., Barat M., Roncin P. Nucl. Meth. Phys. Res. B. 125:1997;167.
81. Hägg L., Reinhold C.O., Burgdörfer J. Phys. Rev. A. 55:1997;2097.
82. Ducree J.J., Casali F., Thumm U. Phys. Rev. A. 57:1998;338.
83. Q. Yan, F.W. Meyer, in: Proceedings of the 13th International Conference on Defects in Insulating Materials - ICDIM 96, 1997. 239. p. 629.
84. T. Niedermayr, A.V. Hamza, A.V. Barnes, T. Schenkel, M.W. Newman, J.W. McDonald, G. Machicoane, M. Hattass, (submitted for publication).
85. Stolterfoht N., Niemann D., Grether M., Spieler A., Arnau A., Lemell C., Aumayr F., Winter H.P. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 124:1997;303.
86. Lemell C., Winter H.P., Aumayr F. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 125:1997;146.
87. Winter H., Auth C., Schuch R., Beene E. Phys. Rev. Lett. 71:1993;1939.
88. Folkerts L., Morgenstern R. Salzborn E., Mokler P.H., Müller A. Atomic Physics of Highly Charged Ions, 21. Z. Phys. D. 1991;S351 Springer, Berlin.
89. Donets E.D. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 9:1985;522.
90. Briand J.-P., Mosse J.P., Indelicato P., Chevallier P., Girardvernhet D., Chetioui A., Ramos M.T., Desclaux J.-P. Phys. Rev. A. 28:1983;1413.
91. Briand J-P., de Billy L., Charles P., Essabaa S., Briand P., Geller R., Desclaus J-P., Bliman S., Ristori C. Phys. Rev. Lett. 65:1990;159.
92. Briand J-P., Thuriez S., Giardino G., Borsoni G., Froment M., Eddrief M., Sebenne C. Phys. Rev. Lett. 77:1996;1452.
93. d'Etat B., Briand J.-P., Ban G., Debilly L., Desclaux J.-P., Briand P. Phys. Rev. A. 48:1993;1098.
94. Clark M.W., Schneider D., Dewitt D., McDonald J.W., Bruch R., Safranova U.I., Tolstikhina I.Y., Schuch R. Phys. Rev. A. 47:1993;3983.
95. Schuch R., Schneider D., Knapp D.A., DeWitt D., McDonald J., Chen M.H., Clark M., Marrs R.E. Phys. Rev. Lett. 70:1993;1073.
96. Hagstrum H.D. Phys. Rev. 96:1954;325.
97. J.P. Briand et al., private communication and APS March 99 meeting, Atlanta, USA.
98. Mosse J.P., Chevallier P., Briand J.P. Z. Phys. A. 322:1985;207.
99. Vaeck N., Hansen J.E. J. Phys. B. 28:1995;3523.
100. Bhalla C.P. Phys. Rev. A. 8:1973;2877.
101. M. Chen, (personal communication).
102. Larkins F.P. J. Phys. B. 9:1971;L29.
103. Safranova U.I., Tolstikhina I.Yn. Phys. Scr. 47:1993;364.
104. Omar G., Hahn Y. Phys. Rev. A. 43:1991;4695.
105. Huang K.N., et al. Atomic Data Table. 18:1976;243.
106. Knapp D.A., Marrs R.E., Schneider M.B., Chen M.H., Levine M.A., Lee P. Phys. Rev. A. 47:1993;2039.
107. Clark M.W., Schneider D., Deveney E., Kessel Q., Pollack E., Smith W. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 79:1993;183.
108. Froese-Fischer C. Compt. Phys. Commun. 43:1987;355.
109. Andrä H.J., Simionovici A., Lamy T., Brenac A., Lamboley G., Bonnet J.J., Fleury A., Bonnefoy M., Chassevent M., Andriamonje S., Pesnelle A. Proceedings Fifth International Conference of the Physics of Highly Charged Ions, Giessen, September 1990. Z. Phys. D. 1990.
110. Ninomiya S., Yamazaki Y., Koike F., Masuda H., Azuma T., Komaki K., Kuroki K., Sekiguchi M. Phys. Rev. Lett. 78:1997;4557.
111. Ninomiya S., Yamazaki Y., Azuma T., Komaki K., Kuroki K., Sekiguchi. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 135:1998;82.
112. Briand J.P., Schneider D., Bardin S., Khemliche H., Jin J., Xie Z., Prior M. Phys. Rev. A. 55:1997;1.
113. Weathers D.L., Tombrello T.A., Prior M.H., Stokstad R.G., Tribble R.E. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 42:1989;307.
114. Varga P., Neidhard T., Sporn M., Libiseller G., Schmid M., Aumayr F., Winter H.P. Phys. Scr. T73:1997;307.
115. Mochiji K., Itabashi N., Yamamoto S., Shimizu H., Ohtani S., Kato Y., Tanuma H., Okuno K., Kobayashi N. Surf. Sci. 357:(358):1996;673.
116. Itabashi N., Mochiji K., Shimizu H., Ohtani S., Tanuma H., Kobayashi N. J. J. Appl. Phys. Part 1. 34:1995;6861.
117. Bitenskii I.S., Parilis E.S. Atomnaya Energiya. 46:1978;269.
118. Andersen H.H., Brunelle A., Della-Negra S., Depauw J., Jacquet D., Le Beyec Y., Chaumont J., Bernas H. Phys. Rev. Lett. 80:1998;5433.
119. de Zwart S.T., Fried T., Boerma D.O., Hoekstra R., Drentje A.G., Boers A.L. Surf. Sci. 177:1986;L939.
120. Gnaser H. Low-Energy Ion Irradiation of Solid Surfaces. 1999;Springer, Berlin.
121. Kakutani N., Azuma T., Yamazaki Y., Komaki K., Kuroki K. J. J. Appl. Phys. 34:1995;L580-L583.
122. Della-Negra S., Depauw J., Joret H., Le Beyec V., Schweikert E.A. Phys. Rev. Lett. 60:1988;948.
123. Burgdörfer J., Yamazaki Y. Phys. Rev. A. 54:1996;4140.
124. Terasawa M., Sekioka T., Mitamura T., Winecki S., Stöckli M.P., Cocke C.L. Phys. Scr. T73:1997;326.
125. Parilis E.S. Z. Phys. D. 21:1991;S127. and references therein.
126. Schenkel T., Hamza A.V., Barnes A.V., Schneider D.H., Walsh D.S., Doyle B.L. J. Vac. Sci. Tech. A. 16:1998;1384.
127. Schenkel T., Barnes A.V., Hamza A.V., Schneider D.H. Euro. Phys. J. D. 1:1998;297.
128. Schenkel T., Schneider M., Hattass M., Newman M.W., Barnes A.V., Hamza A.V., Schneider D.H. J. Vac. Sci. Tech. B. 16:1998;3298.
129. Sekioka T., Terasawa M., Mitamura T., Stöckli M.P., Lehnert U., Cocke C.L. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 146:1998;172.
130. Rühlicke C., Schneider D., Schneider M., Dubois R.D., Balhorn R. Nanotechnology. 9:1998;251.
131. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids. 1985;Pergamon Press, New York.
132. Sroubeck Z., Oechsner H. Surf. Sci. 348:1996;100.
133. Sigmund P. Tolk N.H., Tully J.C., Heiland W., White C.W. Inelastic Ion-Surface Collisions. 1977;128 Academic Press, New York.
134. Bay H.L., Anderson H.H., Hofer W.O., Nielsen O. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. 132:1976;301.
135. T. Schenkel et al., (to be published).
136. Aumayr F., Burgdörfer J., Varga P., Winter H.P. Comm. At. Mol. Phys. 34:1999;201.
137. Itoh N. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 122:1997;405.
138. Pankratov O., Scheffler M. Phys. Rev. Lett. 75:1995;701.
139. Cheng H.P., Gillaspy J.D. Phys. Rev. B. 55:1997;2628.
140. Fleischer R.L., Price P.B., Walker R.M. Nuclear Tracks in Solids. 1975;UC Press, Berkeley.
141. Bitensky I.S., Parilis E., Della-Negra S., Le Beyee Y. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 72:1992;380.
142. Bitensky I.S., Murakhmetov M.N., Parilis E.S. Sov. Phys. Tech. Phys. 24:1979;618.
143. Herrmann R.F.W., Gerlach J., Campbell E.E.B. Appl. Phys. A. 66:1998;35.
144. G. Schiwietz, private communication.
145. Bitensky I.S., Parilis E.S. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 21:1987;26.
146. Hamza A.V., Schenkel T., Barnes A.V. Eur. Phys. J. D. 6:1999;83.
147. Urbassek H.M. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 31:1987;541.
148. Rühlicke C., Briere M.A., Schneider D. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 99:1995;528.
149. Parilis E. Nucl. Instr. Meth. B. 116:1996;478.
150. McDonald J.W., Schneider D., Clark M.W., Dewitt D. Phys. Rev. Lett. 68:1992;2297.
151. Stampfli P. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 107:1996;138.
152. Huang L., Callan J.P., Glezer E.N., Mazur E. Phys. Rev. Lett. 80:1998;185.
153. Yamamura Y., Nakagawa S.T., Tawara H. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 98:1995;400.
154. Madey T.E. Surf. Sci. 300:1994;824.
155. Hamza A.V., Schenkel T., Barnes A.V., Schneider D.H. J. Vac. Sci. Tech. A. 17:1999;303.
156. A.V. Barnes, E. Magee, A.V. Hamza, T. Schenkel, D.H. Schneider, to be published.
157. Marrs R.E., Schneider D.H., McDonald J.W. Rev. Sci. Inst. 69:1998;204.
158. McPherson A., Thompson B.D., Borisov A.B., Boyler K., Rhodes C.K. Nature. 370:1994;631.
159. Parks D.C., Stöckli M.P., Bell E.W., Ratliff L.P., Schnieder R.W., Serpa F.G., Gillaspy J.D. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 134:1998;46.
160. Parks D.C., Bastasz R., Schmeider R.W., Stöckli M.P. J. Vac. Sci. Tech. B. 13:1995;941.
161. M.W. Newman, A.V. Hamza, T. Schenkel, A.V. Barnes, A. Machicoane, M. Hattass, T. Neidermayr, J.W. McDonald, to be published.
162. Gillaspy J.D., Parks D.C., Ratliff L.P. J. Vac. Sci. Tech. B. 16:1998;3294.
163. Suzuki K., Itabashi N. Pure Appl. Chem. 68:1996;1011.
164. T. Schenkel, M.A. Briere, H. Schmidt-Böcking, K. Bethge, D. Schneider, Mat. Sci. Forum 248-249 (1997) 413.
165. Neidhart T., Pichler F., Aumayr F., Winter H.P., Schmid M., Varga P. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 98:1996;465.
166. Komarov F.F., Kumakhov M.A. Phys. Stat. Sol. B. 58:1973;389.
167. Schenkel T., Hamza A.V., Barnes A.V., Schneider D.H. Phys. Rev. A. 56:1997;R1701.
168. Arnau A., Peñalba M., Echenique P.M., Flores F. Phys. Rev. Lett. 65:1990;1024.
169. Briand J-P., de Billy L., Charles P., Essabaa S., Briand P., Geller R., Desclaux J-P., Bliman S., Ristori C. Phys. Rev. A. 43:1991;565.
170. Aumayr F., Winter H.P., Limburg J., Hoekstra R., Morgenstern R. Phys. Rev. Lett. 79:1997;2590.
171. Briand J.P., Thuriez S., Giardino G., Borsoni G., Froment M., Eddrief M., Sebenne C. Phys. Rev. Lett. 79:1997;2591.
172. Mochiji K., Itabashi N., Yamamoto S., Shimizu H., Ohtani S., Kato Y., Tanuma H., Okuno K., Kobayashi N. J. J. Appl. Phys. 34:1995;6861.
173. Kakutani N., Azuma T., Yamazaki Y., Komaki K., Kuroki K. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B. 96:1995;541.
174. Sigmund P. Appl. Phys. Lett. 25:1974;169.
175. Sigmund P. Appl. Phys. Lett. 27:1975;521.
176. Baudin K., Brunelle A., Della-Negra S., Depauw J., Le Beyec Y. Gillen G., Lareau R., Bennett J., Stevie F. Secondary Ion Mass Spectrometry XI. 1998;596 Wiley, Chichester.
177. Cheng H.P., Gillaspy J.D. Comp. Mat. Sci. 9:1998;285.
178. Schneider D., Briere M.A., Clark M.W., McDonald J.W., Biersack J., Siekhaus W. Surf. Sci. 294:1993;403.
179. Stampfli P., Bennemann K.H. Appl. Phys. A. 60:1996;191.