Masked ion beam lithography with highly charged ions

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 16, Issue 6, 1998, Pages 3294-3297

  Gillaspy, J D ^a   Parks, D C ^a   Ratliff, L P ^a  

^a NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001668565     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.590367     Document Type: Article

References (35)

1. D. H. G. Schneider and M. A. Briere, Phys. Scr. 53, 228 (1996).
2. L. P. Ratliff, E. W. Bell, D. C. Parks, A. I. Pikin, and J. D. Gillaspy, Rev. Sci. Instrum. 68, 1998 (1997).
3. H.-P. Cheng and J. D. Gillaspy, Phys. Rev. B 55, 2628 (1997).
4. A. I. Pikin, C. A. Morgan, E. W. Bell, L. P. Ratliff, D. A. Church, and J. D. Gillaspy, Rev. Sci. Instrum. 67, 2528 (1996).
5. J. Melngailis, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 80, 1271 (1993).
6. R. E. Marrs, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B (to be published).
7. D. C. Parks, R. Bastasz, R. W. Schmieder, and M. Stockli, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 941 (1995).
8. L. Folkerts, S. Schippers, D. M. Zehner, and F. W. Meyer, Phys. Rev. Lett. 74, 2204 (1995).
9. A. Arnau, F. Aumayr, P. M. Echenique, M. Grether, W. Heiland, J. Limburg, R. Morgenstern, P. Roncin, S. Schippers, R. Schuch, N. Stolterfoht, P. Varga, T. J. M. Zouros, and H. P. Winter, Surf. Sci. Rep. 27, 113 (1997).
10. M. Sporn, G. Libiseller, T. Neidhard, M. Schmid, F. Aumayr, H. P. Winter, P. Varga, M. Grether, D. Niemann, and N. Stolterfoht, Phys. Rev. Lett. 79, 945 (1997).
11. J.-P. Briand, S. Thuriez, G. Giardino, G. Borsoni, M. Froment, M. Eddrief, and C. Sebenne, Phys. Rev. Lett. 77, 1452 (1996).
12. N. Itabashi, K. Mochiji, H. Shimizu, S. Ohtani, Y. Kato, H. Tanuma, and N. Kobayashi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 6861 (1995).
13. D. C. Parks, M. P. Stockli, E. W. Bell, L. P. Ratliff, R. W. Schmieder, F. G. Serpa, and J. D. Gillaspy, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 134, 46 (1998).
14. T. Schenkel, A. V. Barnes, A. V. Hamza, D. H. Schneider, J. C. Banks, and B. L. Doyle, Phys. Rev. Lett. 80, 4325 (1998).
15. R. W. Schmieder and R. J. Bastasz, in VIth International Conference on the Physics of Highly Charged Ions, Manhattan, Kansas, 1992, edited by P. Richard, M. Stöckli, C. L. Cocke, and C. D. Lin, AIP Conf. Proc. No. 274 (AIP, New York, 1993), p. 675.
16. D. H. Schneider, M. A. Briere, J. McDonald, and J. Biersack, Radiat. Eff. Defects Solids 127, 113 (1993).
17. J. Limburg, J. Das, S. Schippers, R. Hoekstra, and R. Morgenstern, Phys. Rev. Lett. 73, 786 (1994).
18. R. Morgenstern and J. Das, Europhys. News 25, 3 (1994).
19. I. Hughes, Phys. World 8, 43 (1995).
20. J. D. Gillaspy, Y. Aglitskiy, E. W. Bell, C. M. Brown, C. T. Chantier, R. D. Deslattes, U. Feldman, L. T. Hudson, J. M. Laming, E. S. Meyer, C. A. Morgan, A. I. Pikin, J. R. Roberts, L. P. Ratliff, F. G. Serpa, J. Sugar, and E. Takacs, Phys. Scr. T59, 392 (1995).
21. N. Kakutani, T. Azuma, Y. Yamazaki, K. Komaki, and K. Kuroki, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 96, 541 (1995).
22. C. R. Musil, D. Jeggle, H. W. Lehmann, L. Scandella, J. Gobrecht, and M. Doebeli, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2781 (1995).
23. H. W. Deckman and J. H. Dunsmuir, J. Vac. Sci. Technol. B 1, 1109 (1983).
24. J. E. Griffith, L. C. Hopkins, C. E. Bryson, A. Berghaus, E. J. Snyder, J. J. Plombon, L. A. Vasiiyev, M. Hecht, and J. B. Bindell, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2189 (1997).
25. R. G. Wilson, J. Appl. Phys. 73, 2215 (1993).
26. T. Schenkel, A. V. Hamza, A. V. Barnes, D. H. Schneider, J. C. Banks, and B. L. Doyle, Phys. Rev. Lett. 81, 2590 (1998).
27. S. Matsui, K. Mori, T. Shiokawa, K. Toyoda, and S. Namba, J. Vac. Sci. Technol. B 5, 853 (1987).
28. R. Schuch, D. Schneider, D. A. Knapp, D. DeWitt, J. McDonald, M. H. Chen, M. W. Clark, and R. E. Marrs, Phys. Rev. Lett. 70, 1073 (1993).
29. E. Takacs, Z. Onodi-Szucs, L. P. Ratliff, J. D. Gillaspy, and J. Palinkas, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 124, 431 (1997).
30. S. Winecki, C. L. Cocke, D. Fry, and M. P. Stockli, Phys. Rev. A 53, 4228 (1996).
31. K. S. Golovanivsky and E. M. Omeljanovsky, U.S. Patent No. 5,327,475 (Ruxam, Inc.) (1994).
32. R. L. Kubena, J. W. Ward, F. P. Stratton, R. J. Joyce, and G. M. Atkinson, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3079 (1991).
33. M. Döbeli, F. Ames, C. R. Musil, L. Scandella, M. Suter, and H. A. Synal, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 143, 503 (1998).
34. T. Schenkel, M. A. Briere, H. Schmidt-Bocking, K. Bethge, and D. H. Schneider, Phys. Rev. Lett. 78, 2481 (1997).
35. M. Stockli (private communication).