Small-scale plasticity in thin Cu and Al films

Microelectronic Engineering

Volumn 70, Issue 2-4, 2003, Pages 412-424

  Dehm, Gerhard ^a   Balk, T John ^a   Edongué, Hervais ^a   Arzt, Eduard ^a  

^a MAX PLANCK INSTITUTE FOR INTELLIGENT SYSTEMS   (Germany)

Author keywords

Diffusional creep; Dislocation; Hillock; Passivation; Size effect; Thin film plasticity

Indexed keywords

COPPER; MAGNETRON SPUTTERING; METALLIC FILMS; MICROSTRUCTURE; PLASTIC DEFORMATION; PLASTIC FLOW; PLASTICITY; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

SIZE EFFECTS;

THIN FILMS;

EID: 0142086892     PISSN: 01679317     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0167-9317(03)00395-2     Document Type: Conference Paper

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