Elastic instability of nanomechanical beams

Applied Physics Letters

Volumn 82, Issue 5, 2003, Pages 709-711

  Carr, S M ^a   Wybourne, M N ^a  

^a Dartmouth College   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BOUNDARY CONDITIONS; BUCKLING; EIGENVALUES AND EIGENFUNCTIONS; ELASTICITY; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; MICROELECTROMECHANICAL DEVICES; PLASMA ETCHING; REACTIVE ION ETCHING; RESIDUAL STRESSES; SEMICONDUCTING SILICON;

EULER BUCKLING THEORY;

SEMICONDUCTOR DEVICES;

EID: 0037416004     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1539924     Document Type: Article

References (30)

1. T. B. Hook, S. Biesemans, and J. Slinkman, IEEE Electron Device Lett. 21, 85 (2000).
2. A. Shimizu, K. Hachimine, N. Ohki, H. Ohta, M. Koguchi, Y. Nonaka, H. Sato, and F. Ootsuka, IEDM Tech. Dig. Int. 19.4.1-19.4.4 (2001).
3. P. M. Solomon, APS News 11, 6 (2002); A. Lochtefeld and D. A. Antoniadis, IEEE Electron Device Lett. 22, 591 (2001).
4. P. M. Solomon, APS News 11, 6 (2002); A. Lochtefeld and D. A. Antoniadis, IEEE Electron Device Lett. 22, 591 (2001).
5. A. Thean and J. P. Leburton, Appl. Phys. Lett. 79, 1030 (2001).
6. P. O. Vaccaro, K. Kubota, and T. Aida, Appl. Phys. Lett. 78, 2852 (2001); O. G. Schmidt and N. Y. Jin-Phillipp, ibid. 78, 3310 (2001).
7. P. O. Vaccaro, K. Kubota, and T. Aida, Appl. Phys. Lett. 78, 2852 (2001); O. G. Schmidt and N. Y. Jin-Phillipp, ibid. 78, 3310 (2001).
8. R. W. Keyes, J. Phys. D 35, L7 (2002).
9. A. Kraus, A. Erbe, R. H. Blick, G. Corso, and K. Richter, Appl. Phys. Lett. 79, 3521 (2001); A. N. Cleland and M. L. Roukes, ibid. 69, 2653 (1996); D. W. Carr, S. Evoy, L. Sekaric, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, ibid. 75, 920 (1999).
10. A. Kraus, A. Erbe, R. H. Blick, G. Corso, and K. Richter, Appl. Phys. Lett. 79, 3521 (2001); A. N. Cleland and M. L. Roukes, ibid. 69, 2653 (1996); D. W. Carr, S. Evoy, L. Sekaric, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, ibid. 75, 920 (1999).
11. A. Kraus, A. Erbe, R. H. Blick, G. Corso, and K. Richter, Appl. Phys. Lett. 79, 3521 (2001); A. N. Cleland and M. L. Roukes, ibid. 69, 2653 (1996); D. W. Carr, S. Evoy, L. Sekaric, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, ibid. 75, 920 (1999).
12. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, B. C. Stipe, and D. Rugar, J. MEMS 9, 117 (2000); B. H. Houston, D. M. Photiadis, M. H. Marcus, J. A. Bucaro, X. Liu, and J. F. Vignola, Appl. Phys. Lett. 80, 1300 (2002); S. Evoy, A. Olkhovets, L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and D. W. Carr, ibid. 77, 2397 (2000).
13. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, B. C. Stipe, and D. Rugar, J. MEMS 9, 117 (2000); B. H. Houston, D. M. Photiadis, M. H. Marcus, J. A. Bucaro, X. Liu, and J. F. Vignola, Appl. Phys. Lett. 80, 1300 (2002); S. Evoy, A. Olkhovets, L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and D. W. Carr, ibid. 77, 2397 (2000).
14. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, B. C. Stipe, and D. Rugar, J. MEMS 9, 117 (2000); B. H. Houston, D. M. Photiadis, M. H. Marcus, J. A. Bucaro, X. Liu, and J. F. Vignola, Appl. Phys. Lett. 80, 1300 (2002); S. Evoy, A. Olkhovets, L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and D. W. Carr, ibid. 77, 2397 (2000).
15. M. L. Roukes, Phys. World 14, 25 (2001).
16. S. M. Carr, W. E. Lawrence, and M. N. Wybourne, Physica B 316-317, 464 (2002); Phys. Rev. B 64, 220101(R) (2001).
17. S. M. Carr, W. E. Lawrence, and M. N. Wybourne, Physica B 316-317, 464 (2002); Phys. Rev. B 64, 220101(R) (2001).
18. 2 System, edited by P. Balk (Elsevier Science, Amsterdam, 1988), pp. 129-134; Y. P. Kim, S. K. Choi, H. K. Kim, and D. W. Moon, Appl. Phys. Lett. 71, 3504 (1997).
19. 2 System, edited by P. Balk (Elsevier Science, Amsterdam, 1988), pp. 129-134; Y. P. Kim, S. K. Choi, H. K. Kim, and D. W. Moon, Appl. Phys. Lett. 71, 3504 (1997).
20. 2 System, edited by P. Balk (Elsevier Science, Amsterdam, 1988), pp. 129-134; Y. P. Kim, S. K. Choi, H. K. Kim, and D. W. Moon, Appl. Phys. Lett. 71, 3504 (1997).
21. L. Nicu and C. Bergaud, J. Appl. Phys. 86, 5835 (1999).
22. L. Euler, in Elastic Curves, translated and annotated by W. A. Oldfather, C. A. Ellis, and D. M. Brown, reprinted from ISIS No. 58 XX(1), 1774 (Saint Catherine, Bruges, Belgium); J. L. Lagrange, in Oeuvres de Lagrange (Gauthier-Villars, Paris (1869), Vols. 2 and 3.
23. L. Euler, in Elastic Curves, translated and annotated by W. A. Oldfather, C. A. Ellis, and D. M. Brown, reprinted from ISIS No. 58 XX(1), 1774 (Saint Catherine, Bruges, Belgium); J. L. Lagrange, in Oeuvres de Lagrange (Gauthier-Villars, Paris (1869), Vols. 2 and 3.
24. L. D. Landau and E. M. Lifshitz, Theory of Elasticity (Pergamon, Oxford, 1986).
25. W. Fang and J. A. Wickert, J. Micromech. Microeng. 4, 116 (1994).
26. mid) to the effective potential energy Eq. (4).
27. L. Nicu, P. Temple-Boyer, C. Bergaud, E. Scheid, and A. Martinez, J. Micromech. Microeng. 9, 414 (1999).
28. Z. Yang, Y. H. Chen, J. Y. L. Ho, W. K. Lin, X. M. Fang, and P. J. McCann, Appl. Phys. Lett. 71, 87 (1997).
29. W. L. Fang, C. H. Lee, and H. H. Hu, J. Micromech. Microeng. 9, 236 (1999).
30. M. J. Kobrinsky, E. R. Deutsch, and S. D. Senturia, J. MEMS 9, 361 (2000).