Micropatterning of titanium dioxide on self-assembled monolayers using a liquid-phase deposition process

Chemistry of Materials

Volumn 11, Issue 9, 1999, Pages 2305-2309

  Koumoto, K ^a   Seo, S ^a   Sugiyama, T ^a   Seo, W S ^a   Dressick, W J ^b  

^a NAGOYA UNIVERSITY   (Japan)

^b NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000342442     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm990223s     Document Type: Article

References (61)

1. Biomimetic Materials Chemistry; Mann, S., Ed.; VCH Publishers: New York, 1996, and references therein.
2. Fendler, J. H.; Meldrum, F. C. Adv. Mater. 1995, 7, 7.
3. Ulman, A. An Introduction to Ultrathin Organic Films from Langmuir-Blodgett to Self-Assembly; Academic Press: New York, 1991; Chapter 3, and references therein.
4. Schrof, W.; Rozouvan, S.; Van Keuren, E.; Horn, D.; Schmitt, J.; Decher, G. Adv. Mater. 1998, 10, 338.
5. Lin, W. B.; Lin, W. P.; Wong, G. K.; Marks, T. J. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 8034, and references therein.
6. Roscoe, S. B.; Kakkar, A. K.; Marks, T. J.; Malik, A.; Durbin, M. K.; Lin, W. P.; Wong, G. K.; Dutta, P. Langmuir 1996, 12, 4218.
7. Jiang, H. W.; Kakkar, A. K.; Lebuis, A. M.; Zhou, H. T.; Wong, G. K. J. Mater. Chem. 1996, 6, 1075.
8. Shenoy, D.; Grueneberg, K.; Naciri, J.; Shashidhar, R. Jpn. J. Appl. Phys.- Part 2 1998, 37 (11A), L1326.
9. Evans, S. D.; Allinson, H.; Boden, N.; Flynn, T. M.; Henderson, J. R. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 2143.
10. Ichimura, K.; Tomita, H.; Kudo, K. Liq. Cryst. 1996, 20, 171.
11. Wu, C. G.; Chen, J. Y. Chem. Mater. 1997, 9, 399.
12. Huang, Z.; Wang, P.-C.; MacDiarmid, A. G.; Xia, Y.; Whitesides, G. Langmuir 1997, 13, 6480.
13. Mao, C. B.; Li, H. D.; Cui, F. Z.; Feng, Q. G.; Wang, H.; Ma, C. L. J. Mater. Chem. 1998, 8, 2795.
14. Archibald, D. D.; Qadri, S. B.; Gaber, B. P. Langmuir 1996, 12, 538.
15. Heywood, B. R.; Mann, S. Adv. Mater. 1994, 6, 9.
16. Collins, R. J.; Shin, H.; DeGuire, M. R.; Heuer, A. H.; Sukenik, C. N. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 860.
17. Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Chen, M.-S.; Calvert, J. M. Thin Solid Films 1996, 284/285, 568.
18. Jennane, J.; Boutros, T.; Giasson, R. Can. J. Chem. 1996, 74, 2509.
19. Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Georger, J. H.; Calvert, J. M. Chem. Mater. 1993, 5, 148.
20. Dressick, W. J.; Calvert, J. M. Jpn. J. Appl. Phys. 1993, 32, 5829, and references therein.
21. Mino, N.; Ozaki, S.; Ogawa, K.; Hatada, M. Thin Solid Films 1994, 243, 374.
22. Schenkel, T.; Schneider, M.; Hattass, M.; Newman, M. W.; Barnes, A. V.; Hamza, A. V.; Schneider, D. H.; Cicero, R. L.; Chidsey, C. E. D. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 3298.
23. Younkin, R.; Berggren, K. K.; Johnson, K. S.; Prentiss, M.; Ralph, D. C.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 1261.
24. Ada, E. T.; Hanley, L.; Etchin, S.; Melngailis, J.; Dressick, W. J.; Chen, M.-S.; Calvert, J. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1995, 12, 2189.
25. Brandow, S. L.; Calvert, J. M.; Snow, E. S.; Campbell, P. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1997, 15, 1455, and references therein.
26. Sugimura, H.; Nakagiri, N. J. Am. Chem. Soc. 1997, 119, 9226.
27. Chrisey, L. A.; O'Ferrall, C. E.; Spargo, B. J.; Dulcey, C. S.; Calvert, J. M. Nucleic Acids Res. 1996, 24, 3040.
28. Yan, M.; Cai, S. X.; Wybourne, M. N.; Keana, J. F. W. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 814.
29. Bhatia, S.; Teixeira, J. L.; Anderson, M.; Shriver-Lake, L. C.; Calvert, J. M.; Georger, J. H.; Hickman, J. J.; Dulcey, C. S.; Schoen, P. E.; Ligler, F. S. Anal. Biochem. 1992, 208, 197.
30. Gilmer, D. C.; Colombo, D. G.; Taylor, C. J.; Roberts, J.; Haugstad, G.; Campbell, S. A.; Kim, H.-S.; Wilk, G. D.; Gribelyuk, M. A.; Gladfelter, W. A. Chem. Vap. Deposit. 1998, 4, 1.
31. Brar, B.; Wilk, C. D.; Seabaugh, A. C. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 2728.
32. Nalamasu, O.; Baiocchi, F. A.; Taylor, G. N. In Polymers in Microlithography; Reichmanis, E., MacDonald, S. A., Iwayanagi, T., Eds.; ACS Symposium Series 412; American Chemical Society: Washington, DC, 1989; p 189.
33. Eggito, F. D.; Vukanovic, V.; Taylor, G. N. In Plasma Deposition and Etching of Polymers; D'Agostino, R., Ed.; Academic Press: New York, 1990.
34. Campbell, S. A.; Gilmer, D. C.; Wang, X.-C.; Hsieh, M.-T.; Kim, H.-S.; Gladfelter, W. A.; Yan, J. IEEE Trans. Electron Devices 1997, 44, 104.
35. Kim, S.-O.; Kim, H. J. J. Vac. Sci. Technol. B 1994, 12, 3006.
36. Katz, H. E.; Schilling, M. L.; Stein, S. M.; Houlihan, F. M.; Hutton, R. S.; Taylor, G. N. Chem. Mater. 1995, 7, 1534.
37. Jeon, N. L.; Clem, P. G.; Nuzzo, R. G.; Payne, D. A. J. Mater. Res. 1995, 10, 2996.
38. Clem, P. G.; Jeon, N. L.; Nuzzo, R. G.; Payne, D. A. J. Am. Ceram. Soc. 1997, 80, 2821.
39. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1998, 37, 550.
40. Tohge, N.; Minami, T.; Matsuda, A.; Matsuno, Y.; Katayama, S.; Ikeda, Y. J. Ceram. Soc. Jpn. 1988, 96, 1127.
41. Shinmou, K.: Tohge, N.; Minami, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, L1181.
42. Ohishi, T.; Katoh, A. Brit. Ceram. Trans. J. 1993, 92, 79.
43. Yogo, T.; Takeichi, Y.; Kikuta, K.; Hirano, S. J. Am. Ceram. Soc. 1997, 80, 1649.
44. Ono, S.; Hirano, S. J. Am. Ceram. Soc. 1997, 80, 2533.
45. Shin, H.; Collins, R. J.; DeGurie, M. R.; Heuer, A. H.; Sukenik, C. M. J. Mater. Res. 1995, 10, 692.
46. Nagayama, H.; Honda, H.; Kawahara, H. J. Electrochem. Soc. 1988, 135, 2013.
47. Deki, S.; Aoi, Y.; Hiroi, O.; Kajinami, K. Chem. Lett. 1996, 433.
48. Deki, S.; Aoi, Y. J. Mater. Res. 1998, 13, 883.
49. Yao, T. J. Mater. Res. 1998, 13, 1091.
50. Shin, H.; Agarwal, M.; DeGuire, M. R.; Heuer, A. H. Acta Mater. 1998, 46, 801.
51. Nabivanets, B. I.; Kudritskaya, L. N. Russ. J. Inorg. Chem. 1967, 12, 789.
52. Matijevic, E.; Budnik, M.; Meites, L. J. Colloid Interface Sci. 1977, 61, 302.
53. Cotton, F. A.; Wilkinson, G. Advanced Inorganic Chemistry; Interscience Publishers: New York, 1972; Chapter 25A.
54. Brinker, C. J.; Scherer, G. W. Sol-Gel Science; Academic Press: New York, 1990, and references therein.
55. Kochar, H.; Figueras, F. J. Catal. 1997, 171, 420.
56. Durfor, C. N.; Turner, D. C.; Georger, J. H.; Peek, B. M.; Stenger, D. M. Langmuir 1994, 10, 148.
57. Raza, H.; Wincott, P. L.; Thornton, G.; Casanova, R.; Rodriguez, A. Surf. Sci. 1998, 404, 710.
58. Navarrete, J.; Lopez, T.; Gomez, R.; Figueras, F. Langmuir 1996, 12, 4385.
59. Nishida, K.; Ohgaki, S. Water Sci. Technol. 1994, 30, 39.
60. Brandow, S. L.; Chen, M.-S.; Wang, T.; Dulcey, C. S.; Calvert, J. M.; Bohland, J. F.; Calabrese, G. S.; Dressick, W. J. J. Electrochem. Soc. 1997, 144, 3425.
61. Brandow, S. L.; Dressick, W. J.; Marrian, C. R. K.; Chow, G.- M.; Calvert, J. M. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 2233.