Size-controlled colloidal Pd(II) catalysts for electroless Ni deposition in nanolithography applications

Journal of the Electrochemical Society

Volumn 144, Issue 10, 1997, Pages 3425-3434

  Brandow, Susan L ^a   Chen, Mu San ^b   Wang, Tina ^b   Dulcey, Charles S ^a   Calvert, Jeffrey M ^a,c   Bohland, John F ^c   Calabrese, Gary S ^c   Dressick, Walter J ^a  

^a NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b SCIENCE APPLICATIONS INTERNATIONAL CORPORATION   (United States)

^c SHIPLEY COMPANY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COLLOIDS; ELECTROLESS PLATING; LITHOGRAPHY; METALLIZING; MORPHOLOGY; NANOTECHNOLOGY; NICKEL PLATING; PALLADIUM; PALLADIUM COMPOUNDS; PARTICLE SIZE ANALYSIS; ULTRAVIOLET SPECTROSCOPY; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

NANOLITHOGRAPHY; PALLADIUM CHLORIDE;

CATALYSTS;

EID: 0031250933     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.1838028     Document Type: Article

References (48)

1. A. Viehbeck, C.A. Kovac, S. L. Buchwalter, M. J. Goldberg, and S. L. Tisdale, in Metallization of Polymers, E. Sacher, J-J. Pireaux, and S. P. Kowalczyk, Editors, Chap. 29, p. 394, A.C.S. Symposium Series 44, Washington, DC (1990).
2. G. Stremdoerfer, D. Nguyen, J. R. Martin, and P. Clechet, This Journal, 137, 256 (1990).
3. G. Stremdoerfer, C. Calais, J. R. Martin, P. Clechet, and D. Nguyen, ibid., 137, 835 (1990).
4. S. P. Murarka and M. C. Peckerar, Electronic Materials Science and Technology, Chap. 6, Academic Press, Inc., New York (1989).
5. C. H. Ting, in Electroless Deposition of Metals and Alloys, M. Paunovic, and I. Ohno, Editors, PV 88-12, p. 223, The Electrochemical Society Proceedings Series, Pennington, NJ (1988).
6. T. Osaka and H. Matsubara, J. IBM Res. Dev., 266, 244 (1982).
7. N. Feldstein and J. A. Weiner, This Journal, 119, 668 (1972).
8. N. Feldstein, J. A. Weiner, and G. L. Schnable, ibid., 119, 1486 (1972).
9. W. J. Dressick and J. M. Calvert, Jpn. J. Appl. Phys., 32, 5829 (1993) and references therein.
10. J. M. Calvert, C. S. Dulcey, M. C. Peckerar, J. M. Schnur, J. H. Georger, Jr., G. S. Calabrese, and P. Sricharoenchaikit, Solid State Technol., 34(10), 77 (1991).
11. J. M. Calvert, M-S. Chen, C. S. Dulcey, J. H. Georger, M. C. Peckerar, J. M. Schnur, and P. E. Schoen, J. Vac. Sci. Technol., B9, 3447 (1991).
12. J. M. Calvert, J. H. Georger, Jr., M. C. Peckerar, P. E. Pehrsson, J. M. Schnur, and P. E. Schoen, Thin Solid Films, 210/211, 359 (1992).
13. W. J. Dressick, C. S. Dulcey, J. H. Georger, Jr., and J. M. Calvert, Chem. Mater., 5, 148 (1993).
14. J. M. Calvert, T. S. Koloski, W. J. Dressick, C. S. Dulcey, M. C. Peckerar, F. Cerrina, J. W. Taylor, D. Suh, O. R. Wood III, A. A. McDowell, and R. D'Souza, Opt. Eng., 32, 2437 (1993).
15. J. M. Calvert, in Organic Thin Films and Surfaces, Vol. 1, A. Ulman, Editor, Academic Press, Inc., New York (1994).
16. J. M. Calvert, P. E. Pehrsson, C. S. Dulcey, and M. C. Peckerar, Proc. Mater. Res. Soc. Symp., 260, 905 (1992)
17. T. G. Vargo, J. A. Gardella, J. M. Calvert, and M-S. Chen, Science, 262, 1711 (1993).
18. D. Suh, J. K. Simons, J. W. Taylor, J. M. Calvert, and T. S. Koloski, J. Vac. Sci. Technol., B11, 2850 (1993).
19. F. K. Perkins, E. A. Dobisz, S. L. Brandow, J. M. Calvert, J. E. Kosakowski, and C. R. K. Marrian, Appl. Phys. Lett., 68, 550 (1996).
20. F. K. Perkins, E. A. Dobisz, C. R. K. Marrian, and S. L. Brandow, J. Vac. Sci. Technol., 13, 2841 (1995).
21. E. A. Dobisz, F. K. Perkins, S. L. Brandow, C. R. K. Marrian, W. J. Dressick, J. Kosakowski, and J. M. Calvert, Proc. Mater. Res, Soc., 380, 23 (1995).
22. F. K. Perkins, E. A. Dobisz, S. L. Brandow, T. S. Koloski, J. M. Calvert, K. W. Rhee, J. E. Kosakowski, and C. R. K. Marrian, J. Vac. Sci. Technol., B12, 3725 (1994).
23. C. R. K. Marrian, F. K. Perkins, S. L. Brandow, T. S. Koloski, E. A. Dobisz, and J. M. Calvert, Appl. Phys. Lett., 64, 390 (1994).
24. S. L. Brandow, E. S. Snow, P. M. Campbell, and J. M. Calvert, J. Vac. Sci. Technol., In press.
25. E. T. Ada, L. Hanley, S. Etchin, J. Melngailis, W. J. Dressick, M-S. Chen, and J. M. Calvert, J. Vac. Sci. Technol., B13, 2189 (1995).
26. C. S. Dulcey, J. H. Georger, Jr., V. Krauthamer, D. A. Stenger, T. L. Fare, and J. M. Calvert, Science, 252, 551 (1991).
27. S. K. Bhatia, J. L. Teixeira, M. Anderson, L. C. Shriver-Lake, J. M. Calvert, J. H. Georger, Jr., J. J. Hickman, C. S. Dulcey, P. E. Schoen, and F. S. Ligler, Anal. Biochem., 208, 197 (1993).
28. J. H. Georger, D. A. Stenger, A. S. Rudolph, J. J. Hickman, C. S. Dulcey, and T. L. Fare, Thin Solid Films, 210/211, 716 (1992).
29. L. A. Chrisey, C. E. O'Ferrall B. J. Spargo, C. S. Dulcey and J. M. Calvert, Nucleic Acids Res., 24, 3040 (1996).
30. L. A. Chrisey, G. U. Lee, and C. E. O'Ferrall, ibid., 24, 3031 (1996).
31. L. A. Chrisey, P. M. Roberts, V. I. Benezra, W. J. Dressick, C. S. Dulcey, and J. M. Calvert, Proc., Mater. Res. Soc. Proc. Symp., 330, 79 (1994).
32. W. J. Dressick, C. S. Dulcey, M-S. Chen, and J. M. Calvert, Thin Solid Films, 284/285, 568 (1996).
33. J. M. Calvert, G. S. Calabrese, J. F. Bohland, M-S. Chen, W. J. Dressick, C. S. Dulcey, J. H. Georger, Jr., J. Kosakowski, E. K. Pavelcheck, K. W. Rhee, and L. M. Shirey, J. Vac. Sci. Technol., B12, 3884 (1994).
34. S. J. Potochnik, D. S. Y. Hsu, P. E. Pehrsson, and J. M. Calvert, Langmuir, 11, 1841 (1995).
35. D. N. Leonard, M-S. Chen, S. J. Potochnik, T. McCormick, P. E. Pehrsson, J. M. Calvert, and W. J. Dressick, In preparation.
36. S. L. Brandow, W. J. Dressick, G. M. Chow, C. R. K. Marrian, and J. M. Calvert, This Journal, 142, 2233 (1995).
37. W. J. Dressick, C. S. Dulcey, J. H. Georger, Jr., G. S. Calabrese, and J. M. Calvert, ibid., 141, 210 (1994).
38. W. J. Dressick, L. M. Kondracki, M-S. Chen, S. L. Brandow, E. Matijevic, and J. M. Calvert, Colloids Surf. A, 108, 101 (1996).
39. O. F. Beumel and R. F. Harris, J. Org. Chem., 28, 2775 (1963).
40. T. S. Koloski, C. S. Dulcey, Q. J. Haralson, and J. M. Calvert, Langmuir, 10, 3122 (1994).
41. F. K. Perkins, E. A. Dobisz, and C. R. K. Marrian, J. Vac. Sci. Technol., B11, 2597 (1993).
42. S. Ross and I. D. Morrison, Colloidal Systems and Interfaces, Chap. IIIC, John Wiley & Sons, Inc., New York (1988).
43. J. V. Rund, Inorg. Chem., 9, 1211 (1970).
44. W. J. Dressick, S. L. Brandow, and J. M. Calvert, In preparation.
45. G. M. Whitesides and P. E. Laibinis, Langmuir, 6, 87 (1990).
46. D. F. Evans and H. Wennerstroem, The Colloidal Domain: Where Physics, Chemistry, Biology and Technology Meet, p. 125, VCH Publishers, Inc., New York (1994).
47. F. A. Cotton and G. Wilkinson, Advanced Inorganic Chemistry: A Comprehensive Text, 3rd ed., Chap. 5, Interscience Publishers, New York (1972).
48. J. E. Huheey, Inorganic Chemistry: Principles of Structure and Reactivity, Chap. 9, Harper and Row, Pub., New York (1972).