High-temperature heat-treatment of c-, a-, r -, and m-plane sapphire substrates in mixed gases of H2 and N2

Japanese Journal of Applied Physics

Volumn 52, Issue 8 PART 2, 2013, Pages

  Nomura, Kazushiro ^a   Hanagata, Shoko ^a   Kunisaki, Atsushi ^a   Togashi, Rie ^a   Murakami, Hisashi ^a   Kumagai, Yoshinao ^a   Koukitu, Akinori ^a  

^a TOKYO UNIVERSITY OF AGRICULTURE AND TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

A-PLANE SAPPHIRE; ALN; HIGH TEMPERATURE; M-PLANE; MIXED GAS; ORIENTATION DEPENDENT; SAPPHIRE SUBSTRATES; TEMPERATURE RANGE;

ALUMINUM NITRIDE; DECOMPOSITION;

SAPPHIRE;

EID: 84883196629     PISSN: 00214922     EISSN: 13474065     Source Type: Journal    
DOI: 10.7567/JJAP.52.08JB10     Document Type: Article

References (16)

1. N. Fujimoto, T. Kitano, G. Narita, N. Okada, K. Balakrishnan, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, K. Shimono, T. Noro, T. Takagi, and A. Bandoh: Phys. Status Solidi C 3 (2006) 1617.
2. M. Imura, K. Nakano, N. Fujimoto, N. Okada, K. Balakrishnan, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, T. Noro, T. Takagi, and A. Bandoh: Jpn. J. Appl. Phys. 46 (2007) 1458.
3. K. Tsujisawa, S. Kishino, Y. H. Liu, H. Miyake, K. Hiramatsu, T. Shibata, and M. Tanaka: Phys. Status Solidi C 4 (2007) 2252.
4. Y. Kumagai, J. Tajima, M. Ishizuki, T. Nagashima, H. Murakami, K. Takada, and A. Koukitu: Appl. Phys. Express 1 (2008) 045003.
5. F. Brunner, H. Protzmann, M. Heuken, A. Knauer, M. Weyers, and M. Kneissl: Phys. Status Solidi C 5 (2008) 1799.
6. K. Akiyama, T. Araki, H. Murakami, Y. Kumagai, and A. Koukitu: Phys. Status Solidi C 4 (2007) 2297.
7. J. Tajima, Y. Kubota, R. Togashi, H. Murakami, Y. Kumagai, and A. Koukitu: Phys. Status Solidi C 5 (2008) 1515.
8. Y. Kumagai, T. Igi, M. Ishizuki, R. Togashi, H. Murakami, K. Takada, and A. Koukitu: J. Cryst. Growth 350 (2012) 60.
9. Y. Takagi, R. Miyagawa, H. Miyake, and K. Hiramatsu: Phys. Status Solidi C 8 (2011) 470.
10. J. Tajima, R. Togashi, H. Murakami, Y. Kumagai, K. Takada, and A. Koukitu: Phys. Status Solidi C 8 (2011) 2028.
11. N. Okada, M. Imura, T. Nagai, K. Balakrishnan, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Maruyama, T. Noro, T. Takagi, and A. Bandoh: Phys. Status Solidi C 4 (2007) 2528.
12. J. J. Wu, Y. Katagiri, K. Okuura, D. B. Li, H. Miyake, and K. Hiramatsu: J. Cryst. Growth 311 (2009) 3801.
13. J. Tajima, C. Echizen, R. Togashi, H. Murakami, Y. Kumagai, K. Takada, and A. Koukitu: Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 055501.
14. J. Stellmach, M. Frentrup, F. Mehnke, M. Pristovsek, T. Wernicke, and M. Kneissl: J. Cryst. Growth 355 (2012) 59.
15. C. B. Vartuli, S. J. Pearton, J. W. Lee, C. R. Abernathy, J. D. Mackenzie, J. C. Zolper, R. J. Shul, and F. Ren: J. Electrochem. Soc. 143 (1996) 3681.
16. K. Akiyama, H. Murakami, Y. Kumagai, and A. Koukitu: Jpn. J. Appl. Phys. 47 (2008) 3434.