Structural and optical properties of lanthanide oxides grown by atomic layer deposition (Ln = Pr, Nd, Sm, Eu, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb)

Dalton Transactions

Volumn 42, Issue 30, 2013, Pages 10778-10785

  Hansen, Per Anders ^a   Fjellvåg, Helmer ^a   Finstad, Terje ^a   Nilsen, Ola ^a  

^a UNIVERSITY OF OSLO   (Norway)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS FILMS; DEPOSITION; ERBIUM; LIGHT ABSORPTION; PRASEODYMIUM; REFRACTIVE INDEX; SAMARIUM; SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY; SUBSTRATES; YTTERBIUM;

CONSTANT GROWTH RATES; DEGREE OF CRYSTALLINITY; DEPOSITION TEMPERATURES; HIGHEST TEMPERATURE; OPTICAL ABSORPTION MEASUREMENT; SODA LIME GLASS SUBSTRATE; STRUCTURAL AND OPTICAL PROPERTIES; TEMPERATURE RANGE;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84882953441     PISSN: 14779226     EISSN: 14779234     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c3dt51270c     Document Type: Article

References (46)

1. J.-C. G. Bünzli S. Comby A.-S. Chauvin C. D. B. Vandevyver J. Rare Earths 2007 25 257 274
2. T. Jüstel H. Nikol C. Ronda Angew. Chem., Int. Ed. 1998 37 3084 3103
3. G. Bonnet M. Lachkar J. P. Larpin J. C. Colson Solid State Ionics 1994 72 Part 2 344 348
4. K. J. H. a. D. G. Schlom J. Mater. Res. 1996 11 2757 2776
5. Y. Liu M. Xu J. Heo P. D. Ye R. G. Gordon Appl. Phys. Lett. 2010 97 162910 162913
6. M. Hong J. Kwo A. R. Kortan J. P. Mannaerts A. M. Sergent Science 1999 283 1897 1900
7. A. C. Jones H. C. Aspinall P. R. Chalker R. J. Potter K. Kukli A. Rahtu M. Ritala M. Leskelä Mater. Sci. Eng., B 2005 118 97 104
8. J. Päiväsaari M. Putkonen L. Niinistö Thin Solid Films 2005 472 275 281
9. A. Kosola J. Päiväsaari M. Putkonen L. Niinistö Thin Solid Films 2005 479 152 159
10. J. Päiväsaari M. Putkonen T. Sajavaara L. Niinistö J. Alloys Compd. 2004 374 124 128
11. M. Bosund K. Mizohata T. Hakkarainen M. Putkonen M. Söderlund S. Honkanen H. Lipsanen Appl. Surf. Sci. 2009 256 847 851
12. E. Cianci A. Lamperti G. Congedo S. Spiga ECS J. Solid State Sci. Technol. 2012 1 5 10
13. K. Kukli M. Ritala T. Pilvi T. Sajavaara M. Leskela A. C. Jones H. C. Aspinall D. C. Gilmer P. J. Tobin Chem. Mater. 2004 16 5162 5168
14. H. Kondo M. Sakashita S. Zaima J. Vac. Soc. Jpn 2011 54 110 113
15. R. J. Potter P. R. Chalker T. D. Manning H. C. Aspinall Y. F. Loo A. C. Jones L. M. Smith G. W. Critchlow M. Schumacher Chem. Vap. Deposition 2005 11 159 169
16. J. Päiväsaari J. Niinistö K. Arstila K. Kukli M. Putkonen L. Niinistö Chem. Vap. Deposition 2005 11 415 419
17. R. Xu Q. Tao Y. Yang C. G. Takoudis Appl. Surf. Sci. 2012 258 8514 8520
18. K. Xu R. Ranjith A. Laha H. Parala A. P. Milanov R. A. Fischer E. Bugiel J. Feydt S. Irsen T. Toader C. Bock D. Rogalla H.-J. Osten U. Kunze A. Devi Chem. Mater. 2012 24 651 658
19. M. Malvestuto G. Scarel C. Wiemer M. Fanciulli F. D'Acapito F. Boscherini Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2006 246 90 95
20. J. Paivasaari I. V. C. L. Dezelah D. Back H. M. El-Kaderi M. J. Heeg M. Putkonen L. Niinisto C. H. Winter J. Mater. Chem. 2005 15 4224 4233
21. A. Tamm M. Heikkilä M. Kemell J. Kozlova K. Kukli V. Sammelselg M. Ritala M. Leskelä Thin Solid Films 2010 519 666 673
22. J. J. Montiel i Ponsoda L. Norin C. Ye M. Bosund M. J. Söderlund A. Tervonen S. Honkanen Opt. Express 2012 20 25085 25095
23. B. Toomey K. Cherkaoui S. Monaghan V. Djara É. O'Connor D. O'Connell L. Oberbeck E. Tois T. Blomberg S. B. Newcomb P. K. Hurley Microelectron. Eng. 2012 94 7 10
24. P. Myllymaki M. Roeckerath J. M. Lopes J. Schubert K. Mizohata M. Putkonen L. Niinisto J. Mater. Chem. 2010 20 4207 4212
25. C. Adelmann J. Swerts O. Richard T. Conard M. Popovici J. Meersschaut V. V. Afanas'ev L. Breuil A. Cacciato K. Opsomer B. Brijs H. Tielens G. Pourtois H. Bender M. Jurczak J. V. Houdt S. V. Elshocht J. A. Kittl J. Electrochem. Soc. 2011 158 H778 H784
26. K. Uusi-Esko M. Karppinen Chem. Mater. 2011 23 1835 1840
27. R. Xu ECS J. Solid State Sci. Technol. 2012 1 N107
28. J. M. Gaskell S. Przybylak A. C. Jones H. C. Aspinall P. R. Chalker K. Black R. J. Potter P. Taechakumput S. Taylor Chem. Mater. 2007 19 4796 4803
29. P. de Rouffignac R. G. Gordon Chem. Vap. Deposition 2006 12 152 157
30. N. A. Stafford R. Katamreddy L. Guerin B. Feist C. Dussarrat V. Pallem C. Weiland R. Opila ECS Trans. 2009 19 525 536
31. C. Wiemer L. Lamagna M. Fanciulli Semicond. Sci. Technol. 2012 27 074013
32. J. Hoang R. N. Schwartz K. L. Wang J. P. Chang J. Appl. Phys. 2012 112 063117 063111
33. J. Hoang R. N. Schwartz K. L. Wang J. P. Chang J. Appl. Phys. 2012 112 023116 023116
34. J. Hoang T. T. Van M. Sawkar-Mathur B. Hoex M. C. M. V. d. Sanden W. M. M. Kessels R. Ostroumov K. L. Wang J. R. Bargar J. P. Chang J. Appl. Phys. 2007 101 123116
35. C. P. Michael H. B. Yuen V. A. Sabnis T. J. Johnson R. Sewell R. Smith A. Jamora A. Clark S. Semans P. B. Atanackovic O. Painter Opt. Express 2008 16 19649 19666
36. H. Bommer Z. Anorg. Allg. Chem. 1939 241 273 280
37. A. Bartos K. P. Lieb M. Uhrmacher D. Wiarda Acta Crystallogr., Sect. B: Struct. Sci. 1993 49 783 783
38. E. N. Maslen V. A. Streltsov N. Ishizawa Acta Crystallogr., Sect. B: Struct. Sci. 1996 52 414 422
39. Y. A. Malinowskii O. S. Bondareva Kristallografiya 1991 36 1558 1560
40. J. Blanusa M. Mitric D. Rodic A. Szytula M. Slaski J. Magn. Magn. Mater. 2000 213 75 81
41. G. Will N. Masciocchi M. Hart W. Parrish Acta Crystallogr., Sect. A: Fundam. Crystallogr. 1987 43 677 683
42. P. Aldebert J. P. Traverse Mater. Res. Bull. 1979 14 303 323
43. G. Chen J. R. Peterson K. E. Brister J. Solid State Chem. 1994 113 451 451
44. E. D. Guth L. Eyring J. Am. Chem. Soc. 1954 76 5242 5244
45. J. Zhang R. B. VonDreele L. Eyring J. Solid State Chem. 1996 122 53 58
46. A. F. Andreeva I. Y. Gilman M. Y. Gamarnik V. I. Dekhtyaruk Inorg. Mater. 1986 22 1155 1160