SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Volumn 20, Issue 20, 2010, Pages 4207-4212

Rare earth scandate thin films by atomic layer deposition: Effect of the rare earth cation size

(7) Myllymäki, Pia a Roeckerath, Martin b Lopes, Joao Marcelo b Schubert, Jürgen b Mizohata, Kenichiro c Putkonen, Matti a,d Niinistö, Lauri a

a AALTO UNIVERSITY (Finland)

b FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH (Germany)

c UNIVERSITY OF HELSINKI (Finland)

d Beneq Oy (Finland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

C-V CURVE; CATION RADII; CATION SIZE; CRYSTALLIZATION TEMPERATURE; DIELECTRIC CONSTANTS; FILM PROPERTIES; METAL PRECURSOR; METAL RATIO; ORTHORHOMBIC PEROVSKITE; PULSING RATIO; RARE EARTH CATIONS; SCANDATES; TETRAMETHYL;

CRYSTALLIZATION; DEPOSITION; DIELECTRIC MATERIALS; ERBIUM; GADOLINIUM; GATE DIELECTRICS; GATES (TRANSISTOR); OXIDE MINERALS; OZONE; PEROVSKITE; POSITIVE IONS; RARE EARTHS; SCANDIUM;

CARBON FILMS;

EID: 77952415982 PISSN: 09599428 EISSN: 13645501 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c0jm00363h Document Type: Article

Times cited : (26)

References (32)

1
- 0035872897
- G. D. Wilk R. M. Wallace J. M. Anthony J. Appl. Phys. 2001 89 5243 5275
- (2001) J. Appl. Phys. , vol.89 , pp. 5243-5275
- Wilk, G.D.¹ Wallace, R.M.² Anthony, J.M.³

2
- 20244386274
- C. Zhao T. Witters B. Brijs H. Bender O. Richard M. Caymax T. Heeg J. Schubert V. V. Afanas'ev A. Stesmans D. G. Schlom Appl. Phys. Lett. 2005 86 132903
- (2005) Appl. Phys. Lett. , vol.86 , pp. 132903
- Zhao, C.¹ Witters, T.² Brijs, B.³ Bender, H.⁴ Richard, O.⁵ Caymax, M.⁶ Heeg, T.⁷ Schubert, J.⁸ Afanas'Ev, V.V.⁹ Stesmans, A.¹⁰ Schlom, D.G.¹¹

3
- 30344485735
- M. Wagner T. Heeg J. Schubert C. Zhao O. Richard M. Caymax V. V. Afanas'ev S. Mantl Solid-State Electron. 2006 50 58 62
- (2006) Solid-State Electron. , vol.50 , pp. 58-62
- Wagner, M.¹ Heeg, T.² Schubert, J.³ Zhao, C.⁴ Richard, O.⁵ Caymax, M.⁶ Afanas'Ev, V.V.⁷ Mantl, S.⁸

4
- 33646430900
- M. Wagner T. Heeg J. Schubert St. Lenk S. Mantl C. Zhao M. Caymax S. De Gendt Appl. Phys. Lett. 2006 88 172901
- (2006) Appl. Phys. Lett. , vol.88 , pp. 172901
- Wagner, M.¹ Heeg, T.² Schubert, J.³ Lenk, St.⁴ Mantl, S.⁵ Zhao, C.⁶ Caymax, M.⁷ De Gendt, S.⁸

5
- 34547284981
- P. Myllymäki M. Roeckerath M. Putkonen S. Lenk J. Schubert L. Niinistö S. Mantl Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2007 88 633 637
- (2007) Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. , vol.88 , pp. 633-637
- Myllymäki, P.¹ Roeckerath, M.² Putkonen, M.³ Lenk, S.⁴ Schubert, J.⁵ Niinistö, L.⁶ Mantl, S.⁷

6
- 33750135538
- S. Van Elshocht P. Lehnen B. Seitzinger A. Abrutis C. Adelmann B. Brijs M. Caymax T. Conard S. De Gendt A. Franquet C. Lohe M. Lukosius A. Moussa O. Richard P. Williams T. Witters P. Zimmerman M. Heyns J. Electrochem. Soc. 2006 153 F219 F224
- (2006) J. Electrochem. Soc. , vol.153
- Van Elshocht, S.¹ Lehnen, P.² Seitzinger, B.³ Abrutis, A.⁴ Adelmann, C.⁵ Brijs, B.⁶ Caymax, M.⁷ Conard, T.⁸ De Gendt, S.⁹ Franquet, A.¹⁰ Lohe, C.¹¹ Lukosius, M.¹² Moussa, A.¹³ Richard, O.¹⁴ Williams, P.¹⁵ Witters, T.¹⁶ Zimmerman, P.¹⁷ Heyns, M.¹⁸

7
- 33845384913
- R. Thomas P. Ehrhart M. Luysberg M. Boese R. Waser M. Roeckerath E. Rije J. Schubert S. Van Elshocht M. Caymax Appl. Phys. Lett. 2006 89 232902
- (2006) Appl. Phys. Lett. , vol.89 , pp. 232902
- Thomas, R.¹ Ehrhart, P.² Luysberg, M.³ Boese, M.⁴ Waser, R.⁵ Roeckerath, M.⁶ Rije, E.⁷ Schubert, J.⁸ Van Elshocht, S.⁹ Caymax, M.¹⁰

8
- 46849105255
- R. Thomas J. J. Saavedra-Arias N. K. Karan N. M. Murari R. S. Katiyar P. Ehrhart R. Waser Solid State Commun. 2008 147 332 335
- (2008) Solid State Commun. , vol.147 , pp. 332-335
- Thomas, R.¹ Saavedra-Arias, J.J.² Karan, N.K.³ Murari, N.M.⁴ Katiyar, R.S.⁵ Ehrhart, P.⁶ Waser, R.⁷

9
- 51849128695
- E. Durun Özben J. M. J. Lopes M. Roeckerath St. Lenk B. Holländer Y. Jia D. G. Schlom J. Schubert S. Mantl Appl. Phys. Lett. 2008 93 052902
- (2008) Appl. Phys. Lett. , vol.93 , pp. 052902
- Durun Özben, E.¹ Lopes, J.M.J.² Roeckerath, M.³ Lenk, St.⁴ Holländer, B.⁵ Jia, Y.⁶ Schlom, D.G.⁷ Schubert, J.⁸ Mantl, S.⁹

10
- 75749086785
- M. Roeckerath J. M. J. Lopes E. Durun Özben C. Urban J. Schubert S. Mantl Y. Jia D. G. Schlom Appl. Phys. Lett. 2010 96 013513
- (2010) Appl. Phys. Lett. , vol.96 , pp. 013513
- Roeckerath, M.¹ Lopes, J.M.J.² Durun Özben, E.³ Urban, C.⁴ Schubert, J.⁵ Mantl, S.⁶ Jia, Y.⁷ Schlom, D.G.⁸

11
- 70350289800
- K. A. Gschneider, Jr, L. Eyring, G. R. Choppin and G. H. Lander, North-Holland Publishing, Amsterdam
- R. G. Haire and L. Eyring, in Handbook on the Physics and Chemistry of Rare Earths, ed., K. A. Gschneider, Jr, L. Eyring, G. R. Choppin, and, G. H. Lander, North-Holland Publishing, Amsterdam, 1994, vol. 18, p. 413
- (1994) Handbook on the Physics and Chemistry of Rare Earths , vol.18 , pp. 413
- Haire, R.G.¹ Eyring In, L.²

12
- 3242689944
- R. P. Liferovich R. H. Mitchell J. Solid State Chem. 2004 177 2188 2197
- (2004) J. Solid State Chem. , vol.177 , pp. 2188-2197
- Liferovich, R.P.¹ Mitchell, R.H.²

13
- 0042796220
- J. B. Clark P. W. Richter L. du Toit J. Solid State Chem. 1978 23 129 134
- (1978) J. Solid State Chem. , vol.23 , pp. 129-134
- Clark, J.B.¹ Richter, P.W.² Du Toit, L.³

14
- 33745584842
- H. M. Cristen G. E. Jellison, Jr I. Ohkubo S. Huang M. E. Reeves E. Cicerrella J. L. Freeouf Y. Jia D. G. Schlom Appl. Phys. Lett. 2006 88 262906
- (2006) Appl. Phys. Lett. , vol.88 , pp. 262906
- Cristen, H.M.¹ Jellison Jr, G.E.² Ohkubo, I.³ Huang, S.⁴ Reeves, M.E.⁵ Cicerrella, E.⁶ Freeouf, J.L.⁷ Jia, Y.⁸ Schlom, D.G.⁹

15
- 34248388095
- T. Heeg M. Roeckerath J. Schubert W. Zander Ch. Buchal H. Y. Chen C. L. Jia Y. Jia C. Adamo D. G. Schlom Appl. Phys. Lett. 2007 90 192901
- (2007) Appl. Phys. Lett. , vol.90 , pp. 192901
- Heeg, T.¹ Roeckerath, M.² Schubert, J.³ Zander, W.⁴ Buchal, Ch.⁵ Chen, H.Y.⁶ Jia, C.L.⁷ Jia, Y.⁸ Adamo, C.⁹ Schlom, D.G.¹⁰

16
- 33644656212
- P. Myllymäki M. Nieminen J. Niinistö M. Putkonen K. Kukli L. Niinistö J. Mater. Chem. 2006 16 563 569
- (2006) J. Mater. Chem. , vol.16 , pp. 563-569
- Myllymäki, P.¹ Nieminen, M.² Niinistö, J.³ Putkonen, M.⁴ Kukli, K.⁵ Niinistö, L.⁶

17
- 10044287119
- J. Päiväsaari M. Putkonen L. Niinistö Thin Solid Films 2005 472 275 281
- (2005) Thin Solid Films , vol.472 , pp. 275-281
- Päiväsaari, J.¹ Putkonen, M.² Niinistö, L.³

18
- 0039560613
- K. J. Eisentraut R. E. Sievers J. Am. Chem. Soc. 1965 87 5254 5256
- (1965) J. Am. Chem. Soc. , vol.87 , pp. 5254-5256
- Eisentraut, K.J.¹ Sievers, R.E.²

19
- 0004329596
- Omega Data systems, Veldhoven, Netherlands
- UniQuant Version 2 User Manual, Omega Data systems, Veldhoven, Netherlands, 1994
- (1994) UniQuant Version 2 User Manual

20
- 0032654553
- V. Sammelselg J. Aarik A. Aidla A. Kasikov E. Heikinheimo M. Peussa L. Niinistö J. Anal. At. Spectrom. 1999 14 523 527
- (1999) J. Anal. At. Spectrom. , vol.14 , pp. 523-527
- Sammelselg, V.¹ Aarik, J.² Aidla, A.³ Kasikov, A.⁴ Heikinheimo, E.⁵ Peussa, M.⁶ Niinistö, L.⁷

21
- 0027659199
- M. Ylilammi T. Ranta-aho Thin Solid Films 1993 232 56 62
- (1993) Thin Solid Films , vol.232 , pp. 56-62
- Ylilammi, M.¹ Ranta-Aho, T.²

22
- 24044546522
- M. Putkonen T. Sajavaara L. Niinistö J. Keinonen Anal. Bioanal. Chem. 2005 382 1791 1799
- (2005) Anal. Bioanal. Chem. , vol.382 , pp. 1791-1799
- Putkonen, M.¹ Sajavaara, T.² Niinistö, L.³ Keinonen, J.⁴

23
- 75649140552
- S. M. George Chem. Rev. 2010 110 111 131
- (2010) Chem. Rev. , vol.110 , pp. 111-131
- George, S.M.¹

24
- 0035897237
- M. Nieminen M. Putkonen L. Niinistö Appl. Surf. Sci. 2001 174 155 165
- (2001) Appl. Surf. Sci. , vol.174 , pp. 155-165
- Nieminen, M.¹ Putkonen, M.² Niinistö, L.³

25
- 0034843809
- M. Nieminen T. Sajavaara E. Rauhala M. Putkonen L. Niinistö J. Mater. Chem. 2001 11 2340 2345
- (2001) J. Mater. Chem. , vol.11 , pp. 2340-2345
- Nieminen, M.¹ Sajavaara, T.² Rauhala, E.³ Putkonen, M.⁴ Niinistö, L.⁵

26
- 0002885089
- M. Putkonen T. Sajavaara L.-S. Johansson L. Niinistö Chem. Vap. Deposition 2001 7 44 50
- (2001) Chem. Vap. Deposition , vol.7 , pp. 44-50
- Putkonen, M.¹ Sajavaara, T.² Johansson, L.-S.³ Niinistö, L.⁴

27
- 0035669517
- M. Putkonen M. Nieminen J. Niinistö T. Sajavaara L. Niinistö Chem. Mater. 2001 12 4701 4707
- (2001) Chem. Mater. , vol.12 , pp. 4701-4707
- Putkonen, M.¹ Nieminen, M.² Niinistö, J.³ Sajavaara, T.⁴ Niinistö, L.⁵

28
- 0344577134
- B. Klingenberg M. A. Vannice Chem. Mater. 1996 8 2755 2768
- (1996) Chem. Mater. , vol.8 , pp. 2755-2768
- Klingenberg, B.¹ Vannice, M.A.²

29
- 34249901778
- R. Thomas P. Ehrhart M. Roeckerath S. Van Elshocht E. Rije M. Luysberg M. Boese J. Schubert M. Caymax R. Waser J. Electrochem. Soc. 2007 154 G147 G154
- (2007) J. Electrochem. Soc. , vol.154
- Thomas, R.¹ Ehrhart, P.² Roeckerath, M.³ Van Elshocht, S.⁴ Rije, E.⁵ Luysberg, M.⁶ Boese, M.⁷ Schubert, J.⁸ Caymax, M.⁹ Waser, R.¹⁰

30
- 41049085342
- C. Adelmann S. Van Elshocht A. Franquet T. Conard O. Richard H. Bender P. Lehnen S. De Gendt Appl. Phys. Lett. 2008 92 112902
- (2008) Appl. Phys. Lett. , vol.92 , pp. 112902
- Adelmann, C.¹ Van Elshocht, S.² Franquet, A.³ Conard, T.⁴ Richard, O.⁵ Bender, H.⁶ Lehnen, P.⁷ De Gendt, S.⁸

31
- 34249929992
- J. M. J. Lopes U. Littmark M. Roeckerath St. Lenk J. Schubert S. Mantl A. Besmehn J. Appl. Phys. 2007 101 104109
- (2007) J. Appl. Phys. , vol.101 , pp. 104109
- Lopes, J.M.J.¹ Littmark, U.² Roeckerath, M.³ Lenk, St.⁴ Schubert, J.⁵ Mantl, S.⁶ Besmehn, A.⁷

32
- 0035952884
- H. Ono T. Katsumata Appl. Phys. Lett. 2001 78 1832 1834
- (2001) Appl. Phys. Lett. , vol.78 , pp. 1832-1834
- Ono, H.¹ Katsumata, T.²

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.