Effect of the electrode materials on the drain-bias stress instabilities of In-Ga-Zn-O thin-film transistors

ACS Applied Materials and Interfaces

Volumn 4, Issue 10, 2012, Pages 5369-5374

  Bak, Jun Yong ^a   Yang, Sinhyuk ^a,b   Ryu, Min Ki ^b   Ko Park, Sang Hee ^b   Hwang, Chi Sun ^b   Yoon, Sung Min ^a  

^a Kyung Hee University   (South Korea)

^b Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

Author keywords

bias stress; device reliability; electrode; In Ga Zn O; oxide semiconductor; thin film transistor

Indexed keywords

BARRIER LAYERS; BIAS STRESS; BOTTOM-CONTACT; DEVICE RELIABILITY; DEVICE STABILITY; ELECTRODE MATERIAL; GATE-BIAS STRESS; IN-GA-ZN-O; INDIUM TIN OXIDE; NANO SCALE; NEGATIVE SHIFT; OXIDE SEMICONDUCTOR; STRESS CONDITION; TEMPERATURE ANNEALING; THIN-FILM TRANSISTOR (TFTS); TITANIUM ELECTRODES; TRANSFER CHARACTERISTICS; TYPICAL VALUES; UNDER GATE;

ELECTRODES; GALLIUM; INDIUM; SEMICONDUCTING ORGANIC COMPOUNDS; THRESHOLD VOLTAGE; TIN; TIN OXIDES; TITANIUM; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; ZINC;

THIN FILM TRANSISTORS;

EID: 84867812399     PISSN: 19448244     EISSN: 19448252     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/am301253x     Document Type: Article

References (25)

1. Nomura, K.; Ohta, H.; Takagi, A.; Kamiya, T.; Hirano, M; Hosono, H. Nature 2004, 432, 488
2. Fortunato, E.; Barquinha, P.; Martins, R. Adv. Mater. 2012, 520, 1679
3. Kamiya, T.; Nomura, K.; Hosono, H. Sci. Technol. Adv. Mater. 2010, 11, 044305
4. Park, J. S.; Maeng, W. J.; Kim, H. S. Thin Solid Films 2011, 520, 1679
5. Jeong, J. K.; Yang, H. W.; Jeong, J. H.; Mo, Y. G.; Kim, H. D. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 123508
6. Park, J. S.; Jeong, J. K.; Chung, H. J.; Mo, Y. G.; Kim, H. D. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 072104
7. Chung, W. F.; Chang, T. C.; Li, H. W.; Chen, S. C.; Chen, Y. C.; Tseng, T. Y.; Tai, Y. H. Appl. Phys. Lett. 2011, 98, 152109
8. Görrn, P.; Hölzer, P.; Riedl, T.; Kowalsky, W.; Wang, J.; Weimann, T.; Hinze, P.; Kipp, S. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 063602
9. Kim, S. W.; Kim, S. I.; Kim, C. J.; Park, J. C.; Song, I. H.; Jeon, S. H.; Ahn, S. E.; Park, J. S.; Jeong, J. K. Solid-State Electron. 2011, 62, 77
10. Ryu, B.; Noh, H. K.; Choi, E. A.; Chang, K. J. Appl. Phys. Lett. 2010, 97, 022108
11. Yang, S.; Cho, D. H.; Ryu, M. K.; Ko Park, S. H.; Hwang, C. S.; Jang, J. Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 213511
12. Ji, K. H.; Kim, J. I.; Mo, Y. G.; Jeong, J. H.; Yang, S.; Hwang, C. S.; Ko Park, S. H.; Ryu, M. K.; Lee, S. Y.; Jeong, J. K. IEEE Electron Device Lett. 2010, 31, 1404
13. Huang, S. Y.; Chang, T. C.; Chen, M. C.; Jian, F. Y.; Chen, S. C.; Chen, T. C.; Jheng, J. L.; Lou, M. J.; Yeh, F. S. Solid-State Electron. 2012, 69, 11
14. Chung, W. F.; Chang, T. C.; Lin, C. S.; Tu, K. J.; Li, H. W.; Tseng, T. Y.; Chen, Y. C.; Tai, Y. H. J. Electrochem. Soc. 2012, 159, H286
15. Tai, Y. H.; Huang, S. C.; Lin, C. W.; Chiu, H. L. J. Electrochem. Soc. 2007, 154, H611
16. Chen, T. C.; Chang, T. C.; Chen, S. C.; Hsieh, T. Y.; Jian, F. Y.; Lin, C. S.; Li, H. W.; Lee, M. H.; Chen, J. S.; Shih, C. C. IEEE Electron Device Lett. 2010, 31, 1413
17. Tai, Y. H.; Tsai, M. H.; Huang, S. C. Jpn. J. Appl. Phys. 2008, 47, 6228
18. Tai, Y. H.; Kuo, Y. F.; Lee, Y. H. IEEE Electron Device Lett. 2008, 29, 1322
19. Wager, J. F. Thin Solid Films 2008, 516, 1755
20. Yun, D. J.; Lee, D. K.; Jeon, H. K.; Rhee, S. W. Org. Electron. 2007, 8, 690
21. Shimura, Y.; Nomura, K.; Yanagi, H.; Kamiya, T.; Hirano, M.; Hosono, H. Thin Solid Films 2008, 516, 5899
22. Barquinha, P.; Vilà, A.; Gon̈alves, G.; Pereira, L.; Martins, R.; Morante, J.; Fortunato, E. Phys. Status Solidi 2008, 205, 1905
23. Barquinha, P.; Vilà, A.; Gon̈alves, G.; Pereira, L.; Martins, R.; Morante, J.; Fortunato, E. IEEE Trans. Electron Devices 2008, 55, 954
24. Ko Park, S. H.; Cho, D. H.; Hwang, C. S.; Yang, S.; Ryu, M. K.; Byun, C. W.; Yoon, S. M.; Cheong, W. S.; Cho, K. I.; Jeon, J. H. ETRI J. 2009, 31, 653
25. Ji, K. H.; Kim, J. I.; Mo, Y. G.; Jeong, J. H.; Yang, S.; Hwang, C. S.; Ko Park, S.-H.; Ryu, M. K.; Lee, S. Y.; Jeong, J. K. IEEE Electron Device Lett. 2010, 31, 1404