Dislocation-eliminating chemical control method for high-efficiency GaN-based light emitting nanostructures

Crystal Growth and Design

Volumn 12, Issue 3, 2012, Pages 1292-1298

  Kim, Je Hyung ^a   Oh, Chung Seok ^b   Ko, Young Ho ^a   Ko, Suk Min ^a   Park, Ki Yon ^b   Jeong, Myoungho ^a   Lee, Jeong Yong ^a   Cho, Yong Hoon ^a  

^a Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST)   (South Korea)

^b SYSNEX Co Ltd   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL CONTROLS; CHEMICAL WET ETCHING; CORE/SHELL; CRYSTAL QUALITIES; DISLOCATION-FREE; ETCHING MECHANISM; ETCHING METHOD; ETCHING TECHNIQUE; GAN LAYERS; GAN NANOSTRUCTURES; HIGH QUALITY; INGAN QUANTUM WELLS; INGAN/GAN; OPTICAL PERFORMANCE; RESIDUAL STRAINS; SELECTIVE ETCHING; STRAIN-RELAXED; VAPOR PHASE;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; NANOSTRUCTURES; SEMICONDUCTOR DEVICE STRUCTURES; SEMICONDUCTOR QUANTUM WELLS; VAPORS; WET ETCHING;

GALLIUM NITRIDE;

EID: 84863275384     PISSN: 15287483     EISSN: 15287505     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cg2013107     Document Type: Article

References (32)

1. Nakamura, S.; Mukai, T.; Senoh, M. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 1687-1689
2. Nakamura, S.; Fasol, G.; Pearton, S. J. The Blue Laser Diode: The Complete Story; Springer: Berlin, 2000.
3. Razeghi, M.; Henini, M. Optoelectronic Devices: III-nitrides 1-9; Elsevier Science Ltd: Amsterdam, 2004.
4. Morkoc, H.; Mohammad, S. N. Science 1995, 267, 51-55
5. Johnson, J. C.; Choi, H. J.; Knutsen, K. P.; Schaller, R. D.; Yang, P.; Saykally, R. J. Nat. Mater. 2002, 1, 106-109
6. Zang, K.; Chua, S. J. Phys. Status Solidi C 2010, 7, 2236-2239
7. Kim, H. M.; Cho, Y. H.; Lee, H.; Kim, S. I.; Ryu, S. R.; Kim, D. Y.; Kang, T. W.; Chung, K. S. Nano Lett. 2004, 4, 1059-1062
8. Park, Y. S.; Lee, S. H.; Oh, J. E.; Park, C. M.; Kang, T. W. J. Cryst. Growth 2005, 282, 313-319
9. Hersee, S. D.; Sun, X.; Wang, X. Nano Lett. 2006, 6, 1808-1811
10. Kuykendall, T.; Pauzauskie, P. J.; Zhang, Y.; Goldberger, J.; Sirbuly, D.; Denlinger, J.; Yang, P. Nat. Mater. 2004, 3, 524-528
11. Hahn, Y. B.; Choi, R. J.; Hong, J. H.; Park, H. J.; Choi, C. S.; Lee, H. J. J. Appl. Phys. 2002, 92, 1189-1194
12. Hennessy, K.; Badolato, A.; Tamboli, A.; Petroff, P. M.; Hu, E.; Atatüre, M.; Dreiser, J.; Imamoǧlu, A. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 021108
13. Vartuli, C. B.; Pearton, S. J.; Abernathy, C. R.; Mackenzie, J. D.; Ren, F.; Zolper, J. C.; Shul, R. J. Solid-State Electron 1997, 41, 1947-1951
14. Weyher, J. L.; Brown, P. D.; Rouviere, J. L.; Wosinski, T.; Zauner, A. R. A.; Grzegory, I. J. Cryst. Growth 2000, 210, 151-156
15. Hino, T.; Tomiya, S.; Miyajima, T.; Yanashima, K.; Hashimoto, S.; Ikeda, M. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 3421-3423
16. Ng, H. M.; Parz, W.; Weinmann, N. G.; Chowdhury, A. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, L1405-L1407
17. Mastro, M. A.; Kryliouk, O. M.; Reed, M. D.; Anderson, T. J.; Davydov, A.; Shapiro, A. Phys. Status Solidi A 2001, 188, 467-471
18. Aujol, E.; Napierala, J.; Trassoudaine, A.; Gil-Lafon, E.; Cadoret, R. J. Cryst. Growth 2001, 222, 538-548
19. Akasaka, T.; Kobayashi, Y.; Ando, S.; Kobayashi, N.; Kumagai, M. J. Cryst. Growth 1998, 260, 72-77
20. Miyake, H.; Motogaito, A.; Hiramatsu, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, L1000-L1002
21. Claudon, J.; Bleuse, J.; Malik, N. S.; Bazin, M.; Jaffrennou, P.; Gregersen, N.; Sauvan, C.; Lalanne, P.; Gerard, J. M. Nat. Photonics 2010, 4, 174-177
22. Lee, C. J.; Lee, T. J.; Lyu, S. C.; Zhang, Y.; Ruh, H.; Lee, H. J. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 3648-3650
23. Liu, H. P.; Tsay, J. D.; Liu, W. Y.; Guo, Y. D.; Hsu, J. T.; Chen, I. G. J. Cryst. Growth 2004, 260, 79-84
24. Du, D.; Srolovitz, D. J.; Coltrin, M. E.; Mitchell, C. C. Phys. Rev. Lett. 2005, 95, 155503
25. Jindal, V.; Shahedipour-Sandvik, F. J. Appl. Phys. 2009, 106, 083115
26. Sun, Q.; Yerino, C. D.; Ko, T. S.; Cho, Y. S.; Lee, I. H.; Han, J.; Coltrin, M. E. J. Appl. Phys. 2008, 189, 093523
27. Shahedipour-Sandvik, F.; Grandusky, J.; Alizadeh, A.; Keimel, C.; Ganti, S. P.; Taylor, S. T.; LeBoeuf, S. F.; Sharma, P. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 233108
28. Kisielowski, C.; Kruger, J.; Ruvimov, S.; Suski, T.; Ager, J. W., III; Jones, E.; Liliental-Weber, Z.; Rubin, M.; Weber, E. R.; Bremser, M. D.; Davis, R. F. Phys. Rev. B 1996, 54, 17745-17753
29. Shan, W.; Fischer, A. J.; Hwang, S. J.; Little, B. D.; Hauenstein, R. J.; Xie, X. C.; Song, J. J.; Kim, D. S.; Goldenberg, B.; Horning, R.; Krishnankutty, S.; Perry, W. G.; Bremser, M. D.; Davis, R. F. J. Appl. Phys. 1998, 83, 455-461
30. Li, Q.; Lin, Y.; Creighton, J. R.; Figiel, J. J.; Wang, G. T. Adv. Mater. 2009, 21, 2416-2420
31. Yamada, T.; Yamane, H.; Goto, T.; Yao, T.; Yao, Y.; Sekiguchi, T. Cryst. Res. Technol. 2007, 42, 713-717
32. Nam, O. H.; Bremser, M. D.; Zheleva, T. S.; Davis, R. F. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 2638-2640