Self-aligned sub-10-nm nanogap electrode array for large-scale integration

Small

Volumn 7, Issue 15, 2011, Pages 2195-2200

  Gao, Pingqi ^a   Zhang, Qing ^a   Li, Hong ^a   Chan Park, Mary B ^b  

^a NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

^b Nanyang Technological University   (Singapore)

Author keywords

arrays; carbon nanotubes; field effect transistors; molecular electronics; nanogap electrodes

Indexed keywords

ARRAYS; FULLY COMPATIBLE; GAP SIZE; HIGH REPRODUCIBILITY; MICRO-FABRICATION TECHNOLOGY; NANO-METER-SCALE; NANOGAP ELECTRODES; SELF-ALIGNED; SINGLE-WALLED CARBON;

ELECTRODES; MICROANALYSIS; MICROFABRICATION; MICROMACHINING; MOLECULAR ELECTRONICS; SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES (SWCN); TRANSISTORS;

FIELD EFFECT TRANSISTORS;

CARBON NANOTUBE;

ARTICLE; CHEMISTRY; ELECTRODE; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SEMICONDUCTOR; ULTRASTRUCTURE;

ELECTRODES; MICROSCOPY, ELECTRON, SCANNING; NANOTECHNOLOGY; NANOTUBES, CARBON; TRANSISTORS, ELECTRONIC;

EID: 80051521911     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.201100448     Document Type: Article

References (45)

1. A. Aviram, M. A. Ratner, Chem. Phys. Lett. 1974, 29, 277.
2. J. R. Heath, M. A. Ratner, Phys. Today 2003, 56, 43.
3. M. A. Reed, C. Zhou, C. J. Muller, T. P. Burgin, J. M. Tour, Science 1997, 278, 252.
4. W. Chen, H. Ahmed, K. Nakazoto, Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 3383.
5. J. Park, A. N. Pasupathy, J. I. Goldsmith, C. Chang, Y. Yaish, J. R. Petta, M. Rinkoski, J. P. Sethna, H. D. Abruna, P. L. McEuen, D. C. Ralph, Nature 2002, 417, 722.
6. A. Notargiacomo, V. Foglietti, E. Cianci, G. Capellini, M. Adami, P. Faraci, F. Evangelisti, C. Nicolini, Nanotechnology 1999, 10, 458.
7. L. D. Qin, S. Park, L. Huang, C. A. Mirkin, Science 2005, 309, 113.
8. R. Krahne, A. Yacoby, H. Shtrikman, I. Bar-Joseph, T. Dadosh, J. Sperling, Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 730.
9. S. M. Luber, F. Zhang, S. Lingitz, A. G. Hansen, F. Scheliga, E. Thorn-Csanyi, M. Bichler, M. Tornow, Small 2007, 3, 285.
10. D. C. Wei, Y. Q. Liu, L. C. Cao, Y. Wang, H. L. Zhang, G. Yu, Nano Lett. 2008, 8, 1625.
11. B. D. Gates, Q. B. Xu, M. Stewart, D. Ryan, C. G. Willson, G. M. Whitesides, Chem. Rev. 2005, 105, 1171.
12. J. Xiang, B. Liu, S. T. Wu, B. Ren, F. Z. Yang, B. W. Mao, Y. L. Chow, Z. Q. Tian, Angew. Chem. Int. Ed. 2005, 44, 1265.
13. S. H. Liu, J. B. H. Tok, Z. N. Bao, Nano Lett. 2005, 5, 1071.
14. J. A. Sioss, C. D. Keating, Nano Lett. 2005, 5, 1779.
15. Z. M. Wu, M. Steinacher, R. Huber, M. Calame, S. J. Van Der Molen, C. Schönenberger, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 053118.
16. D. E. Johnston, D. R. Strachan, A. T. Charlie Johnson, Nano Lett. 2007, 7, 2774.
17. H. Zhang, C. V. Thompson, F. Stellacci, J. T. L. Thong, Nanotechnology 2010, 21, 385303.
18. G. Esen, M. S. Fuhrer, Appl. Phys. Lett. 2002, 87, 263101.
19. M. L. Trouwborst, S. J. Van Der Molen, B. J. van Wees, J. Appl. Phys. 2006, 99, 114316.
20. D. E. Johnston, D. R. Strachan, A. T. Charlie Johnson, Nano Lett. 2006, 6, 441.
21. S. K. Kim, H. Cho, H. Park, D. Kwon, J. M. Lee, B. H. Chung, Nanotechnology 2009, 20, 455502.
22. S. Hashioka, M. Saito, E. Tamiya, H. Matsumura, Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 687.
23. Z. K. Keane, J. W. Ciszek, J. M. Tour, D. Natelson, Nano Lett. 2006, 6, 1518.
24. E. A. Osorio, K. O'Neill, N. Stuhr-Hansen, O. F. Nielsen, T. Bjornholm, H. S. J. Van Der Zant, Adv. Mater. 2007, 19, 281.
25. W. Hu, J. Jiang, H. Nakashima, Y. Luo, Y. Kashimura, K. Q. Chen, Z. Shuai, K. Furukawa, W. Lu, Y. Liu, D. Zhu, K. Torimitsu, Phys. Rev. Lett. 2006, 96, 027801.
26. H. Park, J. Park, A. K. L. Lim, E. H. Anderson, A. P. Alivisatos, P. L. McEuen, Nature 2000, 407, 57.
27. G. Maruccio, A. Biasco, P. Visconti, A. Bramanti, P. P. Pompa, F. Calabi, R. Cingolani, R. Rinaldi, S. Corni, R. Di Felice, E. Molinari, M. R. Verbeet, G. W. Canters, Adv. Mater. 2005, 17, 816.
28. G. Maruccio, P. Visconti, V. Arima, S. D'Amico, A. Blasco, E. D'Amone, R. Cingolani, R. Rinaldi, S. Masiero, T. Giorgi, G. Gottarelli, Nano Lett. 2003, 3, 479.
29. K. H. Yoo, D. H. Ha, J. O. Lee, J. W. Park, J. Kim, J. J. Kim, H. Y. Lee, T. Kawai, H. Y. Choi, Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 198102.
30. R. V. Seidel, A. P. Graham, J. Kretz, B. Rajasekharan, G. S. Duesberg, M. Liebau, E. Unger, F. Kreupl, W. Hoenlein, Nano Lett. 2005, 5, 147.
31. D. L. Klein, R. Roth, A. K. L. Lim, A. P. Alivisatos, P. L. McEuen, Nature 1997, 389, 699.
32. C. Joachim, J. K. Gimzewski, A. Aviram, Nature 2000, 408, 541.
33. T. Li, W. P. Hu, D. Zhu, Adv. Mater. 2010, 22, 286.
34. A. Nitzan, M. A. Ratner, Science 2003, 300, 1384.
35. N. Prokopuk, K. A. Son, J. Phys. Condens. Matter 2008, 20, 37.
36. N. J. Tao, Nat. Nanotechnol. 2006, 1, 173.
37. Y. Q. Xue, M. A. Ratner, Phys. Rev. B 2004, 69, 8.
38. H. Basch, R. Cohen, M. A. Ratner, Nano Lett. 2005, 5, 1668.
39. S. Wang, Q. Zeng, L. Yang, Z. Zhang, Z. Wang, T. Pei, L. Ding, X. Liang, M. Gao, Y. Li, L. M. Peng, Nano Lett. 2011, 11, 23.
40. A. Vijayaraghavan, S. Blatt, D. Weissenberger, M. Oron-Carl, F. Hennrich, D. Gerthsen, H. Hahn, R. Krupke, Nano Lett. 2007, 7, 1556.
41. J. Q. Li, Q. Zhang, N. Peng, Q. Zhu, Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 15.
42. J. Q. Li, Q. Zhang, D. J. Yang, J. Z. Tian, Carbon 2004, 42, 2263.
43. M. Bockrath, D. H. Cobden, P. L. McEuen, N. G. Chopra, A. Zettl, A. Thess, R. E. Smalley, Science 1997, 275, 1922.
44. H. Li, Q. Zhang, Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 2.
45. H. Li, Q. Zhang, N. Marzari, Nano Lett. 2008, 8, 64.