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Volumn 45, Issue 3, 2011, Pages 227-231

Radiofrequency induced plasma in large-scale plasma reactor

Author keywords

Gaseous plasma; Large plasma reactor; Matching network; Radiofrequency discharge

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EID: 79957994983     PISSN: 15802949     EISSN: 15803414     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
Times cited : (7)

References (52)
  • 43
    • 0037427428 scopus 로고    scopus 로고
    • M. Mozetič, Vacuum, 71 (2003), 237-240
    • (2003) Vacuum , vol.71 , pp. 237-240
    • Mozetič, M.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.