Dissociative adsorption of methylsilane on the Si(100)-2 × 1 surface

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 108, Issue 39, 2004, Pages 15103-15109

  Qu, Yong Quan ^a   Li, Jing ^a   Han, Ke Li ^a  

^a DALIAN INSTITUTE OF CHEMICAL PHYSICS   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ASSOCIATION REACTIONS; CHEMICAL BONDS; DIMERS; DISSOCIATION; MOLECULAR VIBRATIONS; POTENTIAL ENERGY; SILANES;

DISSOCIATIVE ADSORPTION; ENERGETICS; METHYLSILANES; POTENTIAL ENERGY SURFACE;

ADSORPTION;

EID: 6344228647     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp0376018     Document Type: Article

References (50)

1. Addamiano, A.; Klein, P. H. J. Cryst. Growth 1984, 70, 291.
2. Shibahara, K.; Nishino, S.; Matsunami, H. J. Cryst. Growth 1986, 78, 538.
3. Reidinger, F. G.; Marti, J. Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 1703.
4. Johnson, A. D.; Perrin, J.; Mucha, J. A.; Ibbotson, D. E. J. Phys. Chem. 1993, 97, 12937.
5. Xu, J.; Choyke, W. J.; Yates, J. T., Jr. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 6879.
6. Lee, M. S.; Bent, S. F. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 9195.
7. Yasui, K.; Asada, K.; Maeda, T.; Akahane, T. Appl. Surf. Sci. 2001, 175-176, 495.
8. Takatsuka, T.; Fujiu, M.; Sakuraba, M.; Matsuura, T.; Murota, J. Appl. Surf. Sci. 2000, 162-163, 156.
9. Shinohara, M.; Maehama, T.; Niwano, M. Appl. Surf. Sci. 2000, 162-163, 161.
10. Shinohara, M.; Kimura, Y.; Shoji, D.; Niwano, M. Appl. Surf. Sci. 2001, 175-176, 591.
11. Kim, K. C.; Nahm, K. S.; Hahn, Y. B.; Lee, Y. S.; Byun, H. S. J. Vac. Sci. Technol., A 2000, 18, 891.
12. Boo, J.; Ustin, S. A.; Ho, W. Thin Solid Films 1999, 343-344, 650.
13. Takahashi, K.; Nishino, S.; Saraie, J. J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3565.
14. Chiu, H. T.; Hsu, J. S. Thin Solid Films 1994, 252, 13.
15. Yuan, C.; Steckl, A. J.; Loboda, M. J. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 3000.
16. Lee, K. W.; Yu, K. S.; Kim, Y. J. Cryst. Growth 1997, 179, 153.
17. Boo, J. H.; Yu, K. S.; Lee, M.; Kim, Y. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 3486.
18. Mui, C.; Bent, S. F.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. A 2000, 104, 2457.
19. Barriocanal, J. A.; Doren, D. J. J. Vac. Sci. Technol., A 2000, 18, 1959.
20. Barriocanal, J. A.; Doren, D. J. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 12269.
21. Widjaja, Y.; Mysinger, M. M.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 2527.
22. Widjaja, Y.; Musgrave, C. B. Surf. Sci. 2000, 469, 9.
23. Lu, X.; Zhang, Q.; Lin, M. C. Phys. Chem. Chem. Phys. 2001, 3, 2156.
24. Wang, G. T.; Mui, C.; Musgrave, C. B.; Bent, S. F. J. Phys. Chem. B 2001, 105, 3295.
25. Lu, X.; Xu, X.; Wang, N. Q.; Zhang, Q.; Lin, M. C. J. Phys. Chem. B 2001, 105, 10069.
26. Kato, T.; Kang, S. Y.; Xu. X.; Yamabe, T. J. Phys. Chem. B 2001, 105, 10340.
27. Gladden, F. B.; Lu, X.; Lin, M. C. J. Phys. Chem. B 2001, 105, 4368.
28. Hall, M. A.; Mui, C.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2001, 105, 12068.
29. Barriocanal, J. A.; Doren, D. J. J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 7340.
30. Widjaja, Y.; Musgrave, C. B. J. Chem. Phys. 2002, 116, 5774.
31. Widjaja, Y.; Heyman, A.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2002, 106, 2643.
32. Wang, G. T.; Mui, C.; Musgrave, C. B.; Bent, S. F. J. Am. Chem. Soc. 2002, 114, 8990.
33. Lu, X. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 6384.
34. Wang, G. T.; Mui, C.; Tannaci, J. F.; Filier, M. A.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 4982.
35. Widjaja, Y.; Han, J. H.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 9319.
36. Mui, C.; Filler, M. A.; Bent, S. F.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 12256.
37. Widjaja, Y.; Musgrave, C. B. Surf. Sci. 2000, 469, 9.
38. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 1372.
39. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648.
40. Lee, C.; Yang, W.; Parr, R. G. Phys. Rev. B 1988, 37, 785.
41. Hohenberg, P.; Kohn, W. Phys. Rev. 1964, 136, B864-B871.
42. Kohn, W.; Sham, L. J. Phys. Rev. 1965, 140, A1133-A1138.
43. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Zakrzewski, V. G.; Montgomery, J. A., Jr.; Stratmann, R. E.; Burant, J. C.; Dapprich, S.; Millam, J. M.; Daniels, A. D.; Kudin, K. N.; Strain, M.; Pomelli, C.; Adamo, C.; Clifford, S.; Ochterski, J.; Petersson, G. A.; Ayala, P. Y.; Cui, Q.; Morokuma, K.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Oritz, J. V.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Gomperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Gonzalez, C.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B. G.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Head-Gordon, M.; Replogle, E. S.; Pople, J. A. Gaussian 98; Gaussian Inc.: Pittsburgh, PA, 1998.
44. Duncan, J. L.; Harvie, J. L.; Mckean, D. C. J. Mol. Struct. 1986, 145, 225.
45. Shimanouchi, T. Tables of Molecular Vibrational Frequencies Consolidated; National Bureau of Standards: Washington, DC, 1972; Vol. 1.
46. Silverstreli, P. L.; Sbraccia, C.; Ancilotto, F. J. Chem. Phys. 2002, 116, 6291.
47. Komornicki, T. J. Am. Chem. Soc. 1984, 106, 3114.
48. Breneman, C. M.; Wiberg, K. B. J. Comput. Chem. 1990, 11, 361.
49. Brown, A. R.; Doren, D. J. J. Chem. Phys. 1999, 110, 2643.
50. Kang, J. K.; Musgrave, C. B. Phys. Rev. B 2001, 64, 245330.