메뉴 건너뛰기




Volumn 78, Issue 9, 2008, Pages

Trapping and release of impurities in TiN: A first-principles study

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords


EID: 53849086850     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.78.094111     Document Type: Article
Times cited : (21)

References (53)
  • 1
    • 0002173308 scopus 로고    scopus 로고
    • VACUAV 0042-207X 10.1016/S0042-207X(00)00143-3
    • L. Hultman, Vacuum VACUAV 0042-207X 10.1016/S0042-207X(00)00143-3 57, 1 (2000).
    • (2000) Vacuum , vol.57 , pp. 1
    • Hultman, L.1
  • 2
    • 0008161622 scopus 로고    scopus 로고
    • PRPLCM 0370-1573 10.1016/S0370-1573(01)00018-7
    • I. Pollini, A. Mosser, and J. C. Parlebas, Phys. Rep. PRPLCM 0370-1573 10.1016/S0370-1573(01)00018-7 355, 1 (2001).
    • (2001) Phys. Rep. , vol.355 , pp. 1
    • Pollini, I.1    Mosser, A.2    Parlebas, J.C.3
  • 4
    • 84956038327 scopus 로고
    • JVTAD6 0734-2101 10.1116/1.575205
    • A. J. Perry, J. Vac. Sci. Technol. A JVTAD6 0734-2101 10.1116/1.575205 6, 2140 (1988).
    • (1988) J. Vac. Sci. Technol. a , vol.6 , pp. 2140
    • Perry, A.J.1
  • 10
    • 0034092121 scopus 로고    scopus 로고
    • SCTEEJ 0257-8972 10.1016/S0257-8972(99)00586-1
    • J. Musil, Surf. Coat. Technol. SCTEEJ 0257-8972 10.1016/S0257-8972(99) 00586-1 125, 322 (2000).
    • (2000) Surf. Coat. Technol. , vol.125 , pp. 322
    • Musil, J.1
  • 12
    • 33747846329 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.97.086102
    • S. Hao, B. Delley, S. Veprek, and C. Stampfl, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.97.086102 97, 086102 (2006).
    • (2006) Phys. Rev. Lett. , vol.97 , pp. 086102
    • Hao, S.1    Delley, B.2    Veprek, S.3    Stampfl, C.4
  • 15
    • 0040712347 scopus 로고    scopus 로고
    • MSAPE3 0921-5093 10.1016/S0921-5093(98)00731-X
    • W. Ensinger and K. Volz, Mater. Sci. Eng., A MSAPE3 0921-5093 10.1016/S0921-5093(98)00731-X 253, 234 (1998).
    • (1998) Mater. Sci. Eng., a , vol.253 , pp. 234
    • Ensinger, W.1    Volz, K.2
  • 16
    • 33751500052 scopus 로고
    • CMATEX 0897-4756 10.1021/cm00018a034
    • R. Fix, R. G. Gordon, and D. M. Hoffman, Chem. Mater. CMATEX 0897-4756 10.1021/cm00018a034 3, 1138 (1991).
    • (1991) Chem. Mater. , vol.3 , pp. 1138
    • Fix, R.1    Gordon, R.G.2    Hoffman, D.M.3
  • 20
    • 0035804052 scopus 로고    scopus 로고
    • SCTEEJ 0257-8972 10.1016/S0257-8972(01)01357-3
    • J. Probst, U. Gbureck, and R. Thull, Surf. Coat. Technol. SCTEEJ 0257-8972 10.1016/S0257-8972(01)01357-3 148, 226 (2001).
    • (2001) Surf. Coat. Technol. , vol.148 , pp. 226
    • Probst, J.1    Gbureck, U.2    Thull, R.3
  • 23
    • 0000765347 scopus 로고
    • PLYHDE 0277-5387 10.1016/S0277-5387(00)80253-3
    • D. M. Hoffman, Polyhedron PLYHDE 0277-5387 10.1016/S0277-5387(00)80253-3 13, 1169 (1994).
    • (1994) Polyhedron , vol.13 , pp. 1169
    • Hoffman, D.M.1
  • 31
  • 32
    • 24144499989 scopus 로고    scopus 로고
    • JCOMEL 0953-8984 10.1088/0953-8984/17/35/002
    • L. M. Liu, S. Q. Wang, and H. Q. Ye, J. Phys.: Condens. Matter JCOMEL 0953-8984 10.1088/0953-8984/17/35/002 17, 5335 (2005).
    • (2005) J. Phys.: Condens. Matter , vol.17 , pp. 5335
    • Liu, L.M.1    Wang, S.Q.2    Ye, H.Q.3
  • 34
    • 33645898818 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.45.13244
    • J. P. Perdew and Y. Wang, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.45.13244 45, 13244 (1992).
    • (1992) Phys. Rev. B , vol.45 , pp. 13244
    • Perdew, J.P.1    Wang, Y.2
  • 35
    • 25744460922 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.50.17953
    • P. E. Blöchl, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.50. 17953 50, 17953 (1994).
    • (1994) Phys. Rev. B , vol.50 , pp. 17953
    • Blöchl, P.E.1
  • 36
    • 0011236321 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.59.1758
    • G. Kresse and D. Joubert, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.59.1758 59, 1758 (1999).
    • (1999) Phys. Rev. B , vol.59 , pp. 1758
    • Kresse, G.1    Joubert, D.2
  • 37
    • 12344328934 scopus 로고
    • PLRBAQ 0556-2805 10.1103/PhysRevB.8.5747
    • D. J. Chadi and M. L. Cohen, Phys. Rev. B PLRBAQ 0556-2805 10.1103/PhysRevB.8.5747 8, 5747 (1973).
    • (1973) Phys. Rev. B , vol.8 , pp. 5747
    • Chadi, D.J.1    Cohen, M.L.2
  • 39
    • 44649098861 scopus 로고    scopus 로고
    • ACMAFD 1359-6454 10.1016/j.actamat.2008.02.020
    • L. Tsetseris and S. T. Pantelides, Acta Mater. ACMAFD 1359-6454 10.1016/j.actamat.2008.02.020 56, 2864 (2008).
    • (2008) Acta Mater. , vol.56 , pp. 2864
    • Tsetseris, L.1    Pantelides, S.T.2
  • 40
    • 49649157572 scopus 로고
    • SSCOA4 0038-1098 10.1016/0038-1098(71)90313-9
    • O. Jepson and O. K. Andersen, Solid State Commun. SSCOA4 0038-1098 10.1016/0038-1098(71)90313-9 9, 1763 (1971).
    • (1971) Solid State Commun. , vol.9 , pp. 1763
    • Jepson, O.1    Andersen, O.K.2
  • 44
    • 11244250899 scopus 로고    scopus 로고
    • JMREEE 0884-2914 10.1557/JMR.2004.0444
    • H. C. Barshilia and K. S. Rajam, J. Mater. Res. JMREEE 0884-2914 10.1557/JMR.2004.0444 19, 3196 (2004).
    • (2004) J. Mater. Res. , vol.19 , pp. 3196
    • Barshilia, H.C.1    Rajam, K.S.2
  • 45
    • 2342563076 scopus 로고    scopus 로고
    • THSFAP 0040-6090 10.1016/j.tsf.2003.12.043
    • S. M. Oh and T. Ishigaki, Thin Solid Films THSFAP 0040-6090 10.1016/j.tsf.2003.12.043 457, 186 (2004).
    • (2004) Thin Solid Films , vol.457 , pp. 186
    • Oh, S.M.1    Ishigaki, T.2
  • 48
    • 0027946619 scopus 로고
    • NATUAS 0028-0836 10.1038/371683a0
    • B. Silvi and A. Savin, Nature (London) NATUAS 0028-0836 10.1038/371683a0 371, 683 (1994).
    • (1994) Nature (London) , vol.371 , pp. 683
    • Silvi, B.1    Savin, A.2
  • 49
    • 0000288767 scopus 로고    scopus 로고
    • JPCAFH 1089-5639 10.1021/jp992784c
    • B. Silvi and C. Gatti, J. Phys. Chem. A JPCAFH 1089-5639 10.1021/jp992784c 104, 947 (2000).
    • (2000) J. Phys. Chem. a , vol.104 , pp. 947
    • Silvi, B.1    Gatti, C.2
  • 50
    • 0942267575 scopus 로고    scopus 로고
    • JVTBD9 1071-1023 10.1116/1.1622676
    • H. Kim, J. Vac. Sci. Technol. B JVTBD9 1071-1023 10.1116/1.1622676 21, 2231 (2003).
    • (2003) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.21 , pp. 2231
    • Kim, H.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.