Integrated tungsten nanofiber field emission cathodes selectively grown by nanoscale electron beam-induced deposition

Applied Physics Letters

Volumn 86, Issue 18, 2005, Pages 1-3

  Yang, X ^a   Simpson, M L ^b   Randolph, S J ^b   Rack, P D ^b   Baylor, L R ^a   Cui, H ^a   Gardner, W L ^a  

^a OAK RIDGE NATIONAL LABORATORY   (United States)

^b University of Tennessee   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COLD FIELD EMISSION; DIRECT CURRENT; ELECTRON BEAM-INDUCED DEPOSITION; NANOFIBERS;

DEPOSITION; ELECTRIC CURRENTS; ELECTRIC POTENTIAL; ELECTRON BEAMS; FABRICATION; LITHOGRAPHY; NANOSTRUCTURED MATERIALS; ORGANOMETALLICS; TUNGSTEN;

FIELD EMISSION CATHODES;

EID: 20844457121     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1922568     Document Type: Article

References (35)

1. I. Brodie and P. R. Schwoebel, Proc. IEEE 82, 1006 (1994).
2. M. R. Rakhshandehroo and S. W. Pang, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 765 (1998).
3. J. L. Davidson, W. P. Kang, and A. Wisitsora-At, Diamond Relat. Mater. 12, 429 (2003).
4. L. Dvorson, I. Kymisssis, and A. I. Akinwande, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 486 (2003).
5. M. A. Guillorn, X. Yang, A. V. Melechko, D. K. Hensley, M. D. Hale, V. I. Merkulov, M. L. Simpson, L. R. Baylor, W. L. Gardner, and D. H. Lowndes, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 35 (2004).
6. M. A. Guillorn, M. D. Hale, V. I. Merkulov, M. L. Simpson, G. Y. Eres, H. Cui, A. A. Puretzky, and D. B. Geohegan, Appl. Phys. Lett. 81, 2860 (2002).
7. C. A. Spindt, I. Brodie, L. Humphrey, and E. R. Westerberg, J. Appl. Phys. 47, 5248 (1976).
8. M. Nagao, K. Utsumi, Y. Gotoh, H. Tsuji, J. Ishikawa, T. Nakatani, T. Sakashita, and K. Betsui, Appl. Surf. Sci. 146, 182 (1992).
9. C. A. Spindt, C. E. Holland, I. Brodie, J. B. Mooney, and E. R. Westerberg, IEEE Trans. Electron Devices 36, 225 (1989).
10. P. N. Lally, Y. Goren, and E. A. Nettesheim, IEEE Trans. Electron Devices 36, 2738 (1989).
11. L. R. Baylor, D. H. Lowndes, M. L. Simpson, C. E. Thomas, M. A. Guillorn, V. I. Merkulov, J. H. Whealton, E. D. Ellis, D. K. Hensley, and A. V. Melechko, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2646 (2002).
12. (unpublished).
13. T. Liang and A. Stivers, Proc. SPIE 4688, 375 (2002).
14. I. Utke, B. Dwir, K. Leifer, F. Cicoira, P. Doppelt, P. Hoffmann, and E. Kapon, Microelectron. Eng. 53, 261 (2000).
15. K. Mølhave, D. N. Madsen, A. M. Rasmussen, A. Carlsson, C. C. Appel, M. Brorson, C. J. H. Jacobsen, and P. Bøggild, Nano Lett. 3, 1499 (2003).
16. M.-Y. Yen, C.-W. Chiu, F.-R. Chen, J.-J. Kai, C.-Y. Lee, and H.-T. Chiu, Langmuir 20, 279 (2004).
17. J. Fujita, M. Ishida, T. Ichihashi, Y. Ochiai, T. Kaito, and S. Matsui, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2990 (2003).
18. S. Matsui, T. Ichihashi, and M. Mito, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 1182 (1989).
19. H. W. P. Koops, R. Weiel, and D. P. Kern, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 477 (1988).
20. P. D. Rack, S. Randolph, Y. Deng, J. Fowlkes, Y. Choi, and D. C. Joy, Appl. Phys. Lett. 82, 2326 (2003).
21. H. Hiroshima and M. Komuro, Nanotechnology 9, 108 (1998).
22. K. T. Kohlmann-von Platen, L.-M. Buchmann, H.-C. Petzold, and W. H. Brünger, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2690 (1992).
23. K. T. Kohlmann-von Platen, J. Chlebek, M. Weiss, K. Reimer, H. Oertel, and W. H. Brünger, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2219 (1993).
24. C. Schössler, A. Kaya, J. Kretz, M. Weber, and H. W. P Koops, Microelectron. Eng. 30, 471 (1996).
25. M. Takai, T. Kishimoto, H. Morimoto, Y. K. Park, S. Lipp, C. Lehrer, L. Frey, H. Ryssel, A. Hosono, and S. Kawabuchi, Microelectron. Eng. 4142, 453 (1998).
26. O. Yavas, C. Ochiai, M. Takai, A. Hosono, and S. Okuda, Appl. Phys. Lett. 76, 3319 (2000).
27. P. C. Hoyle, J. R. A. Cleaver, and H. Ahmed, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 662 (1996).
28. K. T. Kohlmann, M. Thiemann, and W. H. Brünger, Microelectron. Eng. 13, 279 (1991).
29. K. Gamo, D. Takehara, Y. Hamamura, M. Tomita, and S. Namba, Microelectron. Eng. 5, 163 (1986).
30. F. Rugamas, D. Roundy, G. Mikaelian, G. Vitug, M. Rudner, J. Shih, D. Smith, J. Segura, and M. A. Khakoo, Meas. Sci. Technol. 11, 1750 (2000).
31. K. T. Kohlmann-von Platen and W. H. Bruenger, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4262 (1996).
32. J. D. Fowlkes, S. J. Randolph, and P. D. Rack, Nanotechnology (submitted).
33. V. Semet, Vu Thien Binh, P. Vincent, D. Guillot, K. B. K. Teo, M. Chhowalla, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, P. Legagneux, and D. Pribat, Appl. Phys. Lett. 81, 343 (2002).
34. R. Collazo, R. Schlesser, and Z. Sitar, Diamond Relat. Mater. 11, 769 (2002).
35. K. Hata, A. Takakura, and Y. Saito, Surf. Sci. 490, 296 (2001).