Micro-Raman and ultraviolet ellipsometry studies on μc-Si:H films prepared by H2 dilution to the Ar-assisted SiH4 plasma in radio frequency glow discharge

Journal of Applied Physics

Volumn 93, Issue 5, 2003, Pages 2528-2535

  Das, Debajyoti ^a  

^a DEPARTMENT OF MATERIALS SCIENCE   (India)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS SILICON; CRYSTAL DEFECTS; CRYSTALLIZATION; ELLIPSOMETRY; GLOW DISCHARGES; GRAIN GROWTH; HYDROGEN; PLASMAS; RAMAN SCATTERING; ULTRAVIOLET SPECTROSCOPY;

ULTRAVIOLET REORIENTATION;

AMORPHOUS FILMS;

EID: 0037350846     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1539292     Document Type: Article

References (47)

1. Y. Uchida, T. Ichimura, M. Ueno, and H. Haruki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 21, L586 (1986).
2. K. Prasad, F. Finger, S. Dubail, A. Shah, and M. Schubert, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 681 (1991).
3. J. Meier et al., Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 420, 3 (1996).
4. D. Das, Solid State Phenomena (Scitec, Switzerland, 1995), Vols. 44-46, pp. 227-258.
5. D. Das, Phys. Rev. B 51, 10729 (1995).
6. D. Das, Solid State Commun. 108, 983 (1998).
7. Ch. Hollenstein. W. Schwarzenbach, A. A. Howling, C. Courteille, J.-L. Dorier, and L. Sansonnens, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 535 (1996).
8. H. Shirai, Y. Sakuma, Y. Moriya, C. Fukai, and H. Ueyama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 38, 6629 (1999).
9. K. Prasad, F. Finger, H. Curtins, A. Shah, and J. Baumann, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 164, 27(1990).
10. M. Luysberg, P. Hapke, R. Carius, and F. Finger, Philos. Mag. A 75, 31 (1997).
11. K. E. Lee, W. H. Lee, S. Shin, and C. Lee, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L1241 (1996).
12. Y. Yamamoto, S. Suganuma, M. Ito, M. Hori, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 4664 (1997).
13. M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 63, 2532 (1988).
14. D. Das, M. Jana, and A. K. Barua, J. Appl. Phys. 89, 3041 (2001).
15. D. Das, M. Jana, A. K. Barua, S. Chattopadhyay, L. C. Chen, and K. H. Chen, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 41, L229 (2002).
16. M. Jana, D. Das, and A. K. Barua, J. Appl. Phys. 91, 5442 (2002).
17. D. Das, K. H. Chen, S. Chattopadhyay, and L. C. Chen, J. Appl. Phys. 91, 4944 (2002).
18. S. Veprek, F. A. Sarott, and Z. Iqbal, Phys. Rev. B 36, 3344 (1987).
19. H. S. Mavi, A. K. Shukla, S. C. Abbi, and K. P. Jain, J. Appl. Phys. 66, 5322 (1989).
20. Y. He, Y. Wei, G. Zheng, M. Yu, and M. Liu, J. Appl. Phys. 82, 3408 (1997).
21. G. Yue, J. D. Lorentzen, J. Lin, D. Han, and Q. Wang. Appl. Phys. Lett. 75, 492 (1999).
22. E. Bustarret, M. A. Hachicha, and M. Brunel, Appl. Phys. Lett. 52, 1675 (1988).
23. D. A. G. Bruggeman, Ann. Phys. (Leipzig) 24, 636 (1935).
24. D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).
25. G. E. Jellison, Jr., M. F. Chisholm, and S. M. Gorbatkin, Appl. Phys. Lett. 62, 3348 (1993).
26. S. Hamma and P. Roca i Cabarrocas, J. Non-Cryst. Solids 227-230, 852 (1998).
27. S. Hamma and P. Roca i Cabarrocas, J. Appl. Phys. 81, 7282 (1997).
28. P. Roca i Cabarrocas, S. Hamma, S. N. Sharma, G. Viera, E. Bertran, and J. Costa, J. Non-Cryst. Solids 227-230, 871 (1998).
29. Ch. Hollenstein, U. Kroll, A. A. Howling, J. Dutta, J.-L. Dorier, J. Meier, R. Tscharner, and A. Shah, Proceedings of the 11th European PVSEC, Montreux, 1992, p. 132.
30. D. Mataras, S. Cavadias, and D. Rapakoulias, J. Appl. Phys. 66, 119 (1989).
31. L. Sansonnens, A. A. Howling, Ch. Hollenstein, J.-L. Dorier, and U. Kroll, J. Phys. D 27, 1406 (1994).
32. A. Kono, N. Koike, K. Okuda, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 32, L543 (1993).
33. R. Robertson and A. Gallagher, J. Appl. Phys. 59, 3402 (1986).
34. H. Kawasaki, H. Ohkura, T. Fukuzawa, M. Shiratani, Y. Watanabe, Y. Yamamoto, S. Suganuma, M. Hori, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 4985 (1997).
35. U. K. Das, P. Chaudhuri, and S. T. Kshirsagar, J. Appl. Phys. 80, 5389 (1996).
36. K. Tanaka, S. Yamazaki, K. Nakagawa, A. Matsuda, H. Okushi, M. Matsumura, and S. Iizima, J. Non-Cryst. Solids 35, 475 (1980).
37. J. C. Knights and R. A. Lujian, Appl. Phys. Lett. 34, 244 (1979).
38. J. C. Knights, R. A. Lujian, M. P. Rosenblum, R. A. Street, D. K. Bieglesen, and J. A. Reimer, Appl. Phys. Lett. 38, 331 (1981).
39. D. Das, H. Shirai, J. Hanna, and I. Shimizu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L239 (1991).
40. H. Shirai, D. Das, J. Hanna, and I. Shimizu, Appl. Phys. Lett. 95, 1069 (1991).
41. R. Robertson and A. Gallagher. J. Chem. Phys. 85, 3623 (1986).
42. S. Veprek and F. A. Sarrot, Phys. Rev. B 36, 3344 (1987).
43. J. Zhou, K. Ikuta, T. Yasuda, T. Umeda, S. Yamasaki, and K. Tanaka, J. Non-Cryst. Solids 227-230, 857 (1998).
44. N. Layadi, P. Roca i Cabarrocas, and B. Drivillon, Phys. Rev. B 52, 5136 (1995).
45. M. Jana, D. Das, S. T. Kshirsagar, and A. K. Barua, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 38, L1087 (1999).
46. A. Matsuda, J. Non-Cryst. Solids 59-60, 767 (1983).
47. C. C. Tsai, G. B. Anderson, R. Thomson, and B. Wacker, J. Non-Cryst. Solids 114, 151 (1989).