메뉴 건너뛰기
Journal of Materials Chemistry
Volumn 12, Issue 6, 2002, Pages 1828-1832
Cerium dioxide buffer layers at low temperature by atomic layer deposition
(3)
Päiväsaari, Jani
a
Putkonen, Matti
a
Niinistö, Lauri
a
a
AALTO UNIVERSITY
(
Finland
)
Author keywords
[No Author keywords available]
Indexed keywords
CARBON; CERIUM; FLUORINE; HYDROGEN; OZONE;
ARTICLE; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CRYSTAL; GROWTH RATE; LOW TEMPERATURE; STOICHIOMETRY; TEMPERATURE; ULTRAVIOLET SPECTROSCOPY; X RAY DIFFRACTION;
EID
:
0036273160
PISSN
:
09599428
EISSN
:
None
Source Type
:
Journal
DOI
:
10.1039/b108333c
Document Type
:
Article
Times cited : (
72
)
References (
56
)
1
0009393289
(1992)
Opt. Laser Technol.
, vol.24
, pp. 263
Wahid, P.F.
1
Sundaram, K.B.
2
Sisk, P.J.
3
2
0005285387
(1964)
Spectrochim. Acta
, vol.20
, pp. 799
McDevitt, N.T.
1
Baun, W.L.
2
3
0027152693
(1993)
Ceram. Int.
, vol.19
, pp. 269
Steele, B.C.H.
1
4
0035359295
(2001)
JOM
, vol.53
, pp. 53
Sharma, R.K.
1
Kumar, A.
2
Anthony, J.M.
3
5
0033704993
(2000)
Sens. Actuators, B
, vol.B66
, pp. 46
Fang, G.
1
Liu, Z.
2
Liu, C.
3
Yao, K.-L.
4
6
0029306435
(1995)
Sens. Actuators. B
, vol.B26
, pp. 93
Gerblinger, J.
1
Lohwasser, W.
2
Lampe, U.
3
Meixner, H.
4
7
0029290460
(1995)
Mater. Sci. Eng.
, vol.R14
, pp. 157
Qiao, J.
1
Yang, C.Y.
2
8
0035312003
(2001)
Thin Solid Films
, vol.385
, pp. 307
Moon, B.K.
1
Ishiwara, H.
2
Tokumitsu, E.
3
Yoshimoto, M.
4
9
0031123239
(1997)
J. Alloys Compd.
, vol.251
, pp. 310
Becht, M.
1
Morishita, T.
2
10
0027668706
(1993)
Supercond. Sci. Technol.
, vol.6
, pp. 627
Leskelä, M.
1
Mölsä, H.
2
Niinistö, L.
3
11
0000382759
(1996)
Appl. Phys. Lett.
, vol.68
, pp. 553
Van Wijck, M.A.A.M.
1
Verhoeven, M.A.J.
2
Reuvekamp, E.M.C.M.
3
Gerritsma, G.J.
4
Blank, D.H.A.
5
Rogalla, H.
6
12
0024683119
(1989)
Jpn. J. Appl. Phys.
, vol.28
Hayashi, S.
1
Adachi, H.
2
Setsune, K.
3
Hirao, T.
4
Wasa, K.
5
13
0342934676
(1992)
J. Appl. Phys.
, vol.71
, pp. 2380
Al-Robaee, M.S.
1
Rao, K.N.
2
Mohan, S.
3
14
0346794755
(1997)
J. Appl. Phys.
, vol.81
, pp. 3069
Zaitsev, A.G.
1
Ockenfuss, G.
2
Guggi, D.
3
Wördenweber, R.
4
Krüger, U.
5
15
0032074087
(1998)
J. Cryst. Growth
, vol.187
, pp. 211
Castel, X.
1
Guilloux-Viry, M.
2
Perrin, A.
3
Lesueur, J.
4
Lalu, F.
5
16
0032475006
(1998)
J. Cryst. Growth
, vol.192
, pp. 175
Trtik, V.
1
Aguiar, R.
2
Sánchez, F.
3
Ferrater, C.
4
Varela, M.
5
17
84984119058
(1993)
Adv. Moter. Opt. Electron.
, vol.2
, pp. 99
Sánchez, F.
1
Varela, M.
2
Queralt, X.
3
Garciá-Cuenca, M.V.
4
Palau, J.
5
Aguiar, R.
6
Morenza, J.L.
7
18
0342547802
(1996)
Thin Solid Films
, vol.281-282
, pp. 60
Ikegawa, S.
1
Motoi, Y.
2
19
0033614231
(1999)
Mater. Sci. Eng.
, vol.B58
, pp. 263
Turković, A.
1
Dubček, P.
2
Bernstorff, S.
3
20
0033798833
(2000)
Chem. Mater.
, vol.12
, pp. 701
Pollard, K.
1
Jenkins, H.A.
2
Puddephatt, R.J.
3
21
33751384908
(1993)
Chem. Mater.
, vol.5
, pp. 137
Becht, M.
1
Gerfin, T.
2
Dahmen, K.-H.
3
22
0030232307
(1996)
Chem. Vap. Deposition
, vol.2
, pp. 191
Becht, M.
1
Morishita, T.
2
23
0030286622
(1996)
Chem. Vap. Deposition
, vol.2
, pp. 244
McAleese, J.
1
Darr, J.A.
2
Steele, B.C.H.
3
24
0030197180
(1996)
Thin Solid Films
, vol.280
, pp. 152
McAleese, J.
1
Plakatouras, J.C.
2
Steele, B.C.H.
3
25
0038902930
(1998)
Chem. Vap. Deposition
, vol.4
, pp. 216
Fröhlich, K.
1
Souc, J.
2
Machajdik, D.
3
Jergel, M.
4
Snauwaert, J.
5
Hellemans, L.
6
26
0033902913
(2000)
J. Mater. Sci.
, vol.35
, pp. 1231
Takahashi, N.
1
Koukitu, A.
2
Seki, H.
3
27
0028121929
(1994)
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
, vol.355
, pp. 341
Mölsä, H.
1
Niinistö, L.
2
28
0030197829
(1996)
Adv. Mater. Opt. Electron.
, vol.6
, pp. 169
Leskelä, T.
1
Vasama, K.
2
Härkönen, G.
3
Sarkio, P.
4
Lounasmaa, M.
5
29
0000008317
(1991)
Acta Chem. Scand.
, vol.45
, pp. 1006
Leskelä, M.
1
Sillanpää, R.
2
Niinistö, L.
3
Tiitta, M.
4
30
4243658046
ed. D. A. Glocker, IOP Publishing Ltd, London
(1995)
Handbook of Thin Film Process Technology
Suntola, T.
1
31
0034452746
(2000)
Proc. Int. Semicond. Conf.
, pp. 33
Niinistö, L.
1
32
0040218501
(1999)
Chem. Vap. Deposition
, vol.5
, pp. 7
Ritala, M.
1
Leskelä, M.
2
Dekker, J.-P.
3
Mutsaers, C.
4
Soininen, P.J.
5
Skarp, J.
6
33
0032732275
(1999)
J. Mater. Chem.
, vol.9
, pp. 2449
Putkonen, M.
1
Johansson, L.-S.
2
Rauhala, E.
3
Niinistö, L.
4
34
0033847492
(2000)
J. Mater. Chem.
, vol.10
, pp. 1857
Putkonen, M.
1
Sajavaara, T.
2
Niinistö, L.
3
35
0036202258
(2002)
J. Mater. Chem.
, vol.12
, pp. 442
Putkonen, M.
1
Sajavaara, T.
2
Niinistö, J.
3
Johansson, L.-S.
4
Niinistö, L.
5
36
0034843809
(2001)
J. Mater. Chem.
, vol.11
, pp. 2340
Nieminen, M.
1
Sajavaara, T.
2
Rauhala, E.
3
Putkonen, M.
4
Niinistö, L.
5
37
0035658676
(2001)
J. Mater. Chem.
, vol.11
, pp. 3148
Nieminen, M.
1
Lehto, S.
2
Niinistö, L.
3
38
0009346385
to be published
Kosola, A.
1
Putkonen, M.
2
Niinistö, L.
3
39
0039560613
(1965)
J. Am. Chem. Soc.
, vol.87
, pp. 5254
Eisentraut, K.J.
1
Sievers, R.E.
2
40
0027659199
(1993)
Thin Solid Films
, vol.232
, pp. 56
Ylilammi, M.
1
Ranta-Aho, T.
2
41
0030421229
(1996)
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B
, vol.119
, pp. 533
Jokinen, J.
1
Keinonen, J.
2
Tikkanen, P.
3
Kuronen, A.
4
Ahlgren, T.
5
Nordlund, K.
6
42
0002885089
(2001)
Chem. Vap. Deposition
, vol.7
, pp. 44
Putkonen, M.
1
Sajavaara, T.
2
Johansson, L.-S.
3
Niinistö, L.
4
43
0035897237
(2001)
Appl. Surf Sci.
, vol.174
, pp. 155
Nieminen, M.
1
Putkonen, M.
2
Niinistö, L.
3
44
0035669517
(2001)
Chem. Mater.
, vol.13
, pp. 4701
Putkonen, M.
1
Nieminen, M.
2
Niinistö, J.
3
Niinistö, L.
4
Sajavaara, T.
5
45
0344577134
(1996)
Chem. Mater.
, vol.8
, pp. 2755
Klingenberg, B.
1
Vannice, M.A.
2
46
0001449328
(1996)
J. Solid State Chem.
, vol.127
, pp. 256
Romero, S.
1
Mosset, A.
2
Trombe, J.C.
3
47
0001674908
(1967)
Russ. J. Inorg. Chem.
, vol.12
, pp. 924
Arkhangel'skii, I.V.
1
Komissarova, L.N.
2
Pushkina, G.Ya.
3
Teterin, E.G.
4
48
0030107544
(1996)
Chem. Vap. Deposition
, vol.2
, pp. 69
Soininen, P.
1
Nykänen, E.
2
Niinistö, L.
3
Leskelä, M.
4
49
0003998388
CRC Press, New York
(1996)
CRC Handbook of Chemistry and Physics, 77th Edn
, pp. 8-21
Lide, D.R.
1
50
0032179620
(1998)
Appl. Phys. A
, vol.67
, pp. 455
Trtik, V.
1
Sánchez, F.
2
Aguiar, R.
3
Maniette, Y.
4
Ferrater, C.
5
Varela, M.
6
51
0000984076
(1993)
Appl. Phys. Lett.
, vol.63
, pp. 1429
Copetti, C.A.
1
Soltner, H.
2
Schubert, J.
3
Zander, W.
4
Hollricher, O.
5
Buchal, Ch.
6
Schultz, H.
7
Tellmann, N.
8
Klein, N.
9
52
0032209618
(1998)
J. Appl. Phys:
, vol.84
, pp. 4935
Méchin, L.
1
Chabli, A.
2
Bertin, F.
3
Burdin, M.
4
Rolland, G.
5
Vannuffel, C.
6
Villégier, J.-C.
7
53
0032757508
(1999)
Thin Solid Films
, vol.338
, pp. 224
Tian, Y.J.
1
Linzen, S.
2
Schmidl, F.
3
Matthes, A.
4
Schneidewind, H.
5
Seidel, P.
6
54
0035064351
(2001)
Jpn. J. Appl. Phys.
, vol.40
, pp. 281
Yamada, T.
1
Wakiya, N.
2
Shinozaki, K.
3
Mizutani, N.
4
55
0028758883
(1994)
Appl. Surf Sci.
, vol.75
, pp. 333
Ritala, M.
1
Leskelä, M.
2
56
0035655349
(2001)
J. Mater. Chem.
, vol.11
, pp. 3141
Putkonen, M.
1
Niinistö, L.
2
* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.
