Cubic boron nitride thin film heteroepitaxy

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 7, 2001, Pages 3248-3254

  Feldermann, H ^a   Ronning, C ^a   Hofsass H ^a   Huang, Y L ^a   Seibt, M ^a  

^a UNIVERSITY OF GÖTTINGEN   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035476397     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1392957     Document Type: Article

References (55)

1. H. Hofsäss, H. Feldermann, M. Sebastian, and C. Ronning, Phys. Rev. B 55, 13230 (1997).
2. P. B. Mirkarimi, K. F. McCarty, and D. L. Medlin, Mater. Sci. Eng., R. 21, 47 (1997).
3. A. K. Ballal, L. Salamanca-Riba, C. A. Taylor II, and G. L. Doll, Thin Solid Films 224, 46 (1993).
4. D. L. Medlin, T. A. Friedmann, P. B. Mirkarimi, G. F. Cardinale, and K. F. McCarty, J. Appl. Phys. 79, 3567 (1996).
5. K. F. McCarty, P. B. Mirkarimi, D. L. Medlin, T. A. Friedmann, and J. C. Barbour, Diamond Relat. Mater. 5, 1519 (1996).
6. W.-L. Zhou, Y. Ikuhara, and T. Suzuki, Appl. Phys. Lett. 67, 3551 (1995).
7. J. Widany, T. Frauenheim, and W. Lambrecht, J. Mater. Chem. 6, 899 (1996).
8. C. Hu, S. Kotake, Y. Suzuki, and M. Senoo, Vacuum 59, 748 (2000).
9. C. Hu, S. Kotake, Y. Suzuki, and M. Senoo, Jpn. J. Appl. Phys. 38. 6054 (1999).
10. R. B. Heil and C. R. Aita, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 93 (1997).
11. S. Watanabe, S. Miyake, W. Zhou, Y. Ikuhara, T. Suzuki, and M. Murakawa, Appl. Phys. Lett. 66, 1478 (1995).
12. Z. Li, L. Wang, T. Suzuki, A. Argoitia, P. Pirouz, and J. C. Angus, J. Appl. Phys. 73, 711 (1993).
13. C. Ronning, E. Dreher, H. Feldermann, M. Gross, M. Sebastian, and H. Hofsäss, Diamond Relat. Mater. 6, 1129 (1997).
14. H. Feldermann, R. Merk, H. Hofsäss, C. Ronning, and T. Zheleva, Appl. Phys. Lett. 74, 1552 (1999).
15. A. Argoita, J. C. Angus, J. S. Ma, L. Wang, P. Pirouz, and W. R. L. Lambrecht, J. Mater. Res. 9, 1849 (1994).
16. T. Hartnett, R. Miller, D. Montanari, C. Willingham, and R. Tustison, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2129 (1990).
17. T. A. Friedmann, L. J. Bernardez, K. F. McCarty, E. J. Klaus, D. K. Ottesen, H. A. Johnsen, and W. M. Clift. Appl. Phys. Lett. 63, 1342 (1993).
18. M. C. Polo. G. Sánchez, W. L. Wang, J. Esteve, and J. L. Andújar, Appl. Phys. Lett. 70, 1682 (1997).
19. B. Lux, W. Kalss, R. Haubner, and T. Taniguchi, Diamond Relat. Mater. 8, 415 (1999).
20. H. Sei, M. Akaishi, H. Kanda, T. Osawa, and S. Yamaoka, in Proceedings of New Diamond Science and Technology, 1991, edited by R. Messier (Materials Research Society, Pittsburgh, 1991), p. 1057.
21. M. Okamoto, Y. Utsumi, and Y. Osaka, Jpn. J. Appl. Phys. 29, L1004 (1990).
22. H. Saitoh and W. A. Yarbrough, Appl. Phys. Lett. 58, 2482 (1991).
23. J. Narayan, H. Wu, and R. D. Vispute, J. Electron. Mater. 25, 143 (1996).
24. W. Otaño-Rivera, L. J. Pilione, J. A. Zapien, and R. Messier, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1331 (1998).
25. D. J. Kester, K. S. Ailey, D. J. Lichtenwalner, and R. F. Davis, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 3074 (1994).
26. J. Pascallon, V. Stambouli, S. Ilias, D. Bouchier, G. Nouet, F. Silva, and A. Gicquel, Diamond Relat. Mater. 8, 325 (1999).
27. T. A. Friedmann (private communication).
28. H. M. Naguib and R. Kelly, Radiat. Eff. 25. 1 (1974).
29. P. Reinke, G. Francz, P. Oelhafen, and J. Ullmann, Phys. Rev. B 54, 7067 (1996).
30. K. Kimura, A. Agarwal, H. Toyofuku, K. Nakajima, and H.-J. Gossmann, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 148, 284 (1999).
31. A. Barna, B. Pécz, and M. Menyhard, Ultramicroscopy 70, 161 (1998).
32. M. Ferhat, A. Zaoui, M. Certier, and H. Aourag. Physica B 252, 229 (1998).
33. K. Karch, F. Bechstedt, P. Pavone, and D. Strauch. Phys. Rev. B 53, 13400 (1996).
34. P. B. Mirkarimi, D. L. Medlin, K. F. McCarty, and J. C. Barbour, Appl. Phys. Lett. 66, 2813 (1995).
35. P. B. Mirkarimi, K. F. McCarty, G. F. Cardinale, D. L. Medlin, D. K. Ottesen, and H. A. Johnsen. J. Vac. Sci. Technol. A 14, 251 (1996).
36. R. M. Desrosiers, D. W. Greve, and A. J. Gellman, Mater. Sci. Eng., B 46, 84 (1997).
37. T. Ikeda, Y. Kawate, and Y. Hirai, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 3168 (1990).
38. A. Garcia and M. L. Cohen, Phys. Rev. B 47, 4215 (1993).
39. J. S. Williams, Mater. Sci. Eng., A 253, 8 (1998).
40. C. H. Wei and J. H. Edgar, J. Cryst. Growth 208, 179 (2000).
41. J. H. Edgar, D. T. Smith, C. R. Eddy, C. A. Carosella, and B. D. Sartwell, Thin Solid Films 298, 33 (1997).
42. A. Kolitsch, X. Wang, D. Manova, W. Fukarek, W. Möller, and S. Oswald, Diamond Relat. Mater. 8, 386 (1999).
43. T. W. Weeks, Jr., M. D. Bremser, K. S. Ailey, E. Carlson, W. G. Perry, E. L. Piner, N. A. El-Masry, and R. F. Davis, J. Mater. Res. 11, 1011 (1996).
44. H. Hofsäss, H. Binder, T. Klumpp, and E. Recknagel, Diamond Relat. Mater. 3, 137 (1994).
45. R. W. Hunt, L. Vanzetti, T. Castro, K. M. Chen, L. Sorba, P. I. Cohen, W. Cladfelter, J. M. van Hove, J. N. Kuznia, M. A. Khan, and A. Franciosi, Physica B 185, 415 (1993).
46. H. Hofsäss, C. Ronning, U. Griesmeier, M. Gross, S. Reinke, and M. Kuhr, Appl. Phys. Lett. 67, 46 (1995).
47. H. Feldermann, M. Sebastian, R. Merk, M. Restle, C. Ronning, and H. Hofsäss, in Hard Coatings Based on Borides, Carbides & Nitrides, edited by A. Kumar, Y. Chung, and R. W. J. Chia (TMS Minerals Metals and Materials Society, Warrendale, 1998), p. 143.
48. P. Scheible and A. Lunk, Thin Solid Films 364, 40 (2000).
49. P. Widmayer, P. Ziemann, and H.-G. Boyen, Diamond Relat. Mater. 7, 385 (1998).
50. H. Hobert, H. H. Dunken, J. Meinschien, and H. Stafast, Vib. Spectrosc. 19, 205 (1999).
51. A. V. Kurdyumov, V. F. Britun, and J. A. Petrusha, Diamond Relat. Mater. 5, 1229 (1996).
52. A. Y. Polyakov, M. Shin, W. Qian, and M. Skowronski, J. Appl. Phys. 81. 1715 (1997).
53. H. Hofsäss, H. Feldermann, R. Merk, M. Sebastian, and C. Ronning, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 66, 153 (1998).
54. A. Klett, R. Freudenstein, M. F. Plass, and W. Kulisch, Surf. Coat. Technol. 116, 86 (1999).
55. D. R. McKenzie, W. D. McFall, W. G. Sainty, C. A. Davis, and R. E. Collins, Diamond Relat. Mater. 2, 970 (1993).