Growth of diamond films on boron nitride thin films by bias-assisted hot filament chemical vapor deposition

Applied Physics Letters

Volumn 70, Issue 13, 1997, Pages 1682-1684

  Polo, M C ^a,b   Sanchez, G ^a   Wang, W L ^a,c   Esteve, J ^a   Andujar J L ^a  

^a UNIVERSITY OF BARCELONA   (Spain)

^b CHONGQING UNIVERSITY   (China)

^c LANZHOU UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 5944241053     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.118668     Document Type: Article

References (17)

1. L. Wang, P. Pirouz, A. Argoitia, J. S. Ma, and J. C. Angus, Appl. Phys. Lett. 63, 1336 (1993).
2. S. Koizumi and T. Inuzuka, Jpn. J. Appl. Phys. 1 32, 3920 (1993).
3. W. P. Chai, Y. S. Gu, M. Li, Z. H. Mai, Q. Z. Li, L. Yuan, and S. J. Pang, Appl. Phys. Lett. 64, 1941 (1994).
4. H. Maeda, S. Masuda, K. Kusakabe, and S. Morooka, Diam. Relat. Mater. 3, 398 (1994).
5. T. Hartnett, R. Miller, D. Montanari, C. Willingham, and R. Tustison, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2129 (1990).
6. S. M. Kanetkar, G. Matera, X. Chen, S. Pramanick, P. Tiwari, J. Narayan, G. Pfeiffer, and M. Paesler, J. Electron. Mater. 20, 141 (1991).
7. T. A. Friedmann, L. J. Bernardez, K. F. McCarty, E. J. Klaus, D. K. Ottesen, H. A. Johnsen, and W. M. Clift, Appl. Phys. Lett. 63, 1342 (1993).
8. S. J. Harris, G. L. Doll, D. C. Chance, and A. M. Weiner, Appl. Phys. Lett. 67, 2314 (1995).
9. S. Yugo, T. Kanai, T. Kimura, and T. Muto, Appl. Phys. Lett. 58, 1036 (1991).
10. B. R. Stoner, G. H. M. Ma, S. D. Wolter, and J. T. Glass, Phys. Rev. B 45, 11067 (1992).
11. X. Jiang, K. Schiffmann, and C.-P. Klages, Phys. Rev. B 50, 8402 (1994).
12. Y. H. Lee, P. D. Richard, K. J. Bachmann, and J. T. Glass, Appl. Phys. Lett. 56, 620 (1990).
13. W. Zhu, F. R. Sivazlian, B. R. Stoner, and J. T. Glass, J. Mater. Res. 10, 425 (1995).
14. Q. Chen, J. Yang, and Z. Lin, Appl. Phys. Lett. 67, 1853 (1995).
15. Q. Chen and Z. Lin, Appl. Phys. Lett. 68, 2450 (1996).
16. B. R. Stoner, G. H. Ma, S. D. Wolter, W. Zhu, Y.-C. Wang, R. F. Davis, and J. T. Glass, Diam. Relat. Mater. 2, 142 (1993).
17. S. Koizumi, T. Murakami, T. Inuzuka, and K. Suzuki, Appl. Phys. Lett. 57, 563 (1990).